SIMULART CORPORATION

Corrección Análisis de datos de entrada

En el Excel adjunto se pueden ver los datos de entrada del enunciado. Esos datos se analizaron con Input Analyzer
(una herramienta de Arena) con respecto a lo que se indicaba en la siguiente tabla. Por tanto, tras ese proceso, se
pudo completar esta tabla:

Tiempo de Servicio Tiempo de Servicio Tiempo de Servicio

Estación 1 Estación 2 Estación 3
Hipótesis Nula WEIBULL ERLANG ERLANG
Nivel de significancia (a) 0,02 0,02 0,02
P-value 0.02 0.15 0.55
Parámetros Weibull{12.50, 4.37} Erlang{9.06, 2.00} Erlang{12.20, 2.00}
Tiempo de Servicio Tiempo de Servicio Tiempo de Servicio
Estación 4 Estación 5 Estación 6
Hipótesis Nula WEIBULL NORMAL WEIBULL
Nivel de significancia (a) 2% 2% 2%
P-value 0.05 0.75 0.05
Parámetros Weibull{11.80, 4.78} Normal{15.10, 2.94} Weibull{8.81, 4.47}
Tabla 1. Resumen planteamiento prueba de bondad de ajuste para tiempo de servicio en las 3 estaciones del
sistema actual

Descripción construcción modelo sistema actual en Arena®

En nuestra simulación se usaron múltiples módulos. En la siguiente tabla se muestra la función general de algunos
de ellos:

Módulo de Arena Empleado Descripción del Módulo Empleado

“Create” es el módulo que crea las entidades. En nuestro caso, esas entidades
son los soportes.

“Dispose” es el módulo que saca a las entidades de la simulación. En nuestro

caso, le da salida a los soportes y waffers cuando el proceso acaba.

“Process” es el módulo que aplica algún cambio sobre la entidad. En nuestro

caso, son las estaciones de cada uno de los 6 procesos que reciben los soportes.

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Módulo de Arena Empleado Descripción del Módulo Empleado

“Separate” es el módulo que separa a los waffer de los soportes o, en general,

separa entidades unas de otras.

“Move” es el módulo que mueve a las entidades por el sistema.

“Transport” es el módulo que transporta a las entidades entre estaciones de

proceso.

Tabla 2. Descripción de los módulos empleados en la construcción del modelo de simulación del sistema actual

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Resultados del Modelo de Simulación (Sistema con 10 soportes AK)

Hicimos 10 réplicas de la simulación en Arena (que está también adjunta) y completamos la tabla:

Intervalo de Confianza
Indicadores Half
Promedio Lim. Inferior Lim. Superior
Width
Tiempo de ciclo promedio de una
252.150 6.725 115.980 418.030
Waffer
Tiempo promedio de transferencia de
23.500 0 23.495 23.500
una Waffer
Tiempo promedio de fabricación de
89.339 0.908 42.975 187.650
una Waffer
Tiempo promedio total de espera de
139.310 6.183 0 314.040
una Waffer
Tiempo promedio de espera, de una
111.790 9.461 0 291.920
Waffer, en la estación cuello de botella
Factor de utilización de la estación de
47% 0 41.490% 53.876%
Cleaning
Factor de utilización de la estación de
72% 0 69.980% 74.009%
Oxidation
Factor de utilización de la estación de
98% 0 95.910% 99.869%
Lithography
Factor de utilización de la estación de
44% 0 42.500% 45.500%
Etching
Factor de utilización de la estación de
60% 0 58.000% 62.105%
Ion Implantation
Factor de utilización de la estación de
32% 0 30.980% 35.871%
Photoresist Strip

Throughput (waffers/hora) 2.412 0 2.400 2.424

Tabla 3. Resumen resultados preliminares modelo de simulación sistema actual

Referencias
 Simulación en Software Rockwell Arena. Recuperado de
http://bibing.us.es/proyectos/abreproy/70447/fichero/Capitulo+5.pdf.

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