Instituto Tecnológico de Morelia

“José María Morelos y Pavón”

Técnica y progreso de México

BioMEMS
Instrumentación Biomédica I
Ingeniería en Electrónica

PROFESOR:
Rodolfo Serafin Gonzalez Garza

ALUMNO:
Francisco Javier Guzmán León N° de control: 12121120
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Índice
1. Mems .......................................................................................................................... 2
1.1 Fabricación............................................................................................................... 3
1.1.1 Micromaquinado de superficie ........................................................................... 3
1.1.2 Micromaquinado mayor...................................................................................... 4
1.1.3 Unión de sustrato ............................................................................................... 4
1.2 Aplicaciones ............................................................................................................. 5
1.2.1 Biotecnología ..................................................................................................... 5
1.2.2 Medicina ............................................................................................................ 5
1.2.3 Comunicaciones ................................................................................................ 6
2. BioMEMS.................................................................................................................... 7
2.1 Historia ................................................................................................................ 9
2.2 Fabricación............................................................................................................. 10
2.2.1 Microfabricación con silicón ............................................................................. 11
2.3 Aplicaciones ........................................................................................................... 12
2.3.1 Sensores de Moléculas Biológicas ................................................................... 15
2.3.2 Glucómetro ...................................................................................................... 15
2.3.3 Microfluídicos ................................................................................................... 16
2.3.4 ADN (ácido desoxirribonucleico) y BioMEMS .................................................. 17
2.3.5 Proteína y BioMEMS ........................................................................................ 18
2.3.6 Sistemas de Entrega de Medicamentos ........................................................... 19
2.3.7 Aplicación al medio ambiente........................................................................... 20
2.3.8 DARPA ............................................................................................................ 21
2.4 Sistemas integrados de BioMEMS ......................................................................... 22
2.4.1 Micro-jeringa .................................................................................................... 22
2.4.2 Micro-Mixer ...................................................................................................... 23
2.4.3 Sensor de glucosa ........................................................................................... 24
2.5 Microactuadores Biomédicos.................................................................................. 24
2.5.1 Micromanipuladores ......................................................................................... 24
2.5.2 Microinstrumentos quirúrgicos ........................................................................ 25
2.5.3 Mcrovalvulas, microfiltros, microvalvulas.......................................................... 26
Referencias ..................................................................................................................... 28

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1. Mems

Los Sistemas Micro-Electro-Mecánicos, o MEMS, son una tecnología que en su forma

más general puede definirse como elementos mecánicos y electromecánicos
miniaturizados (es decir, dispositivos y estructuras) que se hacen usando las técnicas de
microfabricación.

Las dimensiones físicas críticas de los dispositivos MEMS pueden variar desde muy por
debajo de un micrón, hasta llegar a varios milímetros. Del mismo modo, los tipos de
dispositivos MEMS pueden variar desde estructuras relativamente simples que no tienen
elementos móviles hasta sistemas electromecánicos extremadamente complejos con
múltiples elementos móviles bajo el control de la microelectrónica integrada. [1]

El criterio principal de MEMS es que hay al menos algunos elementos que tienen algún
tipo de funcionalidad mecánica independientemente de si estos elementos pueden
moverse o no. Los elementos funcionales de los MEMS son estructuras miniaturizadas,
sensores, actuadores y microelectrónica, los más notables son los microsensores y los
microactuadores. Donde los Microsensores y microactuadores se clasifican
adecuadamente como "transductores".[11]

[Figura 1.1 Sensores con tecnología MEMS]

Existen diferentes tamaños de empresas con importantes programas MEMS. Las

empresas más grandes se especializan en la fabricación de componentes de bajo costo
alto volumen o paquetes de soluciones para los mercados finales como el automotriz,
biomedicina, y electrónica. El éxito de las pequeñas empresas es ofrecer valor en
soluciones innovadoras y absorber el costo de fabricación con altos márgenes de ventas.
Tanto las grandes como las pequeñas empresas realizan trabajos de I + D para explorar
la tecnología MEMS. [2]

Uno de los mayores problemas de los MEMS autónomos es la ausencia de micro fuentes
de energía con alta densidad de corriente, potencia y capacidad eléctrica.

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1.1 Fabricación

La fabricación de la tecnología MEMS tiene una complejidad debido a la naturaleza

personalizada de las tecnologías de proceso y la diversidad de capacidades de
procesamiento. La fabricación de MEMS utiliza muchas de las mismas técnicas que se
usan en el dominio de circuitos integrados tales como oxidación, difusión, implantación
iónica, LPCVD, pulverización catódica, etc., y combina estas capacidades con procesos
de micromecanización altamente especializados.

Los procesos y materiales adicionales utilizados en MEMS:

 Grabado anisotrópico en húmedo de silicio monocristalino; aguafuerte ion-reactivo

profundo o DRIE; radiografía litografía; galvanoplastia; películas LPCVD de bajo
estrés; película gruesa resistente (SU-8); bastidor de vuelta; micromoldeado; lotes
de micromontaje.

 Películas piezoeléctricas tales como PZT; películas magnéticas tal como Ni, Fe,
Co, y aleaciones de tierras raras; materiales a alta temperatura, tales como SiC y
cerámica; aleaciones de aluminio mecánicamente robustos; acero inoxidable;
platino; oro; hoja de vidrio; plásticos tales como PVC y PDMS.

Los métodos utilizados para integrar materiales con múltiples patrones juntos para fabricar
un dispositivo MEMS completo son tan importantes como el proceso individual y los
propios materiales. [4]

A continuación se describen algunos de los procesos de micromaquinado más

ampliamente utilizados.

1.1.1 Micromaquinado de superficie

En pocas palabras, el micromaquinado de superficie es un método de producir MEMS

mediante el depósito, el patrón, y grabado de una secuencia de capas delgadas,
típicamente menores a una micra de grosor. Una de las etapas de procesamiento más
importantes que es requerida de un dispositivo MEMS es el remover selectivamente una
capa inferior, referida como “capa de sacrificio”, sin afectar la capa superior, referida como
“capa estructural”, usada para crear las partes mecánicas. El micromaquinado de
superficie ha sido utilizado para producir una amplia variedad de BioMEMS para
diferentes aplicaciones.

Algunos de ellos son producidos en grandes volúmenes comercialmente (más de 1 millón

de partes por mes) [6]

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[Figura 1.2 Micromaquinado de superficie]

1.1.2 Micromaquinado mayor

El micromaquinado mayor se diferencia del micromaquinado de superficie en el material

de sustrato, que es típicamente silicon de un solo cristal. Está formado y patronado para
formar un importante componente del dispositivo resultante (el sustrato de silicón no actúa
simplemente como una base mecánica rígida como es el caso típico en el
micromaquinado de superficie). Explotando el grabado anisotrópico de predecibles
características del silicio monocristalino, varias complejas formas tridimensionales de alta
precisión.

[Figura 1.3 Micromaquinado mayor]

1.1.3 Unión de sustrato

El Silicón, vidrio, metal y sustratos poliméricos pueden ser unidos mediante una variedad
de procesos. Típicamente por lo menos uno de los sustratos unidos ha sido previamente
micromaquinado. La unión de sustrato es típicamente echa para conseguir una estructura
que es difícil de formar de otro modo (grandes cavidades que deben ser selladas
herméticamente o un complejo sistema de canales cerrados) o simplemente para agregar
un soporte mecánico y protección.

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[Figura 1.4 Unión de sustrato]

1.2 Aplicaciones

Existen numerosas aplicaciones posibles para MEMS y nanotecnología. Como tecnología

de punta, lo que permite una asociación entre los campos previamente no relacionados,
como la biología y la microelectrónica. Muchos nuevos MEMS y aplicaciones de la
nanotecnología va a surgir, expandiéndose más allá de lo que se identifica o se sabe
actualmente.

1.2.1 Biotecnología

MEMS y nanotecnología está permitiendo a los nuevos descubrimientos de la ciencia y la

ingeniería, tales como la Reacción en Cadena de la Polimerasa (PCR) microsistemas
para la amplificación del ADN y la identificación, ligado a enzimas (ELISA), electroforesis
capilar, electroporación, microscopios de efecto túnel micromecanizadas (STM), los
biochips para detección de agentes químicos y biológicos peligrosos, y microsistemas
para la detección de drogas de alto rendimiento y selección.

[Figura 1.5 Mems en aplicación biotecnológica]

1.2.2 Medicina

Hay una amplia variedad de aplicaciones para MEMS en la medicina. La primera y, con
mucho, la aplicación más exitosa de MEMS en medicina (por lo menos en términos de
número de dispositivos y el tamaño del mercado) son sensores de presión MEMS, que

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han estado en uso durante varias décadas. El mercado de estos sensores de presión es
extremadamente diversa y altamente fragmentada, con unos mercados de gran volumen y
muchas de las de menor volumen. Algunas de las aplicaciones de sensores de presión
MEMS en medicina incluyen:

- sensores MEMS de presión se utilizan para medir la presión intrauterina durante el

parto.
- sensores de presión MEMS son utilizados en hospitales y ambulancias como
monitores de signos vitales de un paciente, específicamente la presión arterial del
paciente y la respiración
- Los sensores MEMS de presión en el monitoreo respiratorio se utilizan en los
ventiladores para monitorizar la respiración del paciente.
- sensores MEMS presión se utilizan para la cirugía ocular para medir y controlar el
nivel de vacío para extraer el líquido del ojo
- sensores de presión MEMS se utilizan en inhaladores para controlar ciclo de
respiración del paciente y liberar el medicamento en el momento apropiado en el
ciclo respiratorio para un efecto óptimo.
- sensores de presión MEMS se utilizan en la diálisis renal para controlar las
presiones de entrada y salida de sangre y la solución de diálisis y para regular las
velocidades de flujo durante el procedimiento.
- sensores de presión MEMS se utilizan en las bombas de infusión de fármacos de
muchos tipos para controlar la velocidad de flujo y detectar si hay obstrucciones y
bloqueos que indican que el medicamento no está siendo entregado
correctamente al paciente.

-
[Figura 1.6 Mems en aplicaciones medicas]

1.2.3 Comunicaciones

Los componentes eléctricos, tales como inductores y condensadores sintonizables

pueden mejorarse significativamente en comparación con sus homólogos integrados si se
hacen usando MEMS y nanotecnología. Con la integración de tales componentes, el
rendimiento de los circuitos de comunicación va a mejorar, mientras que el área total del
circuito, el consumo de energía y el costo se reducirá. Además, el interruptor mecánico,
desarrollada por varios grupos de investigación, es un componente clave con un enorme
potencial en varios circuitos de RF y de microondas. Las muestras demostradas de los
interruptores mecánicos tienen factores de calidad mucho más altos que cualquier cosa

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disponible anteriormente. Otra aplicación exitosa de RF MEMS está en resonadores como

filtros mecánicos para los circuitos de comunicación. [5]

[Figura 1.7 Mems en aplicaciones de comunicación]

2. BioMEMS

La tecnología MEMS se basa en una serie de herramientas y metodologías que se utilizan

para formar pequeñas estructuras con dimensiones en la escala del micrómetro. Es una
tecnología relativamente nueva, heredada de la tecnología de circuitos integrados (IC), en
la cual la mayoría de los dispositivos están construidos en obleas de silicio.

En el ámbito médico, las intervenciones terapéuticas tempranas podrían dar lugar a

mayores tasas de supervivencia, mejor calidad de vida para el paciente y disminución en
los costos para el sistema de salud. Como consecuencia de ello, se necesita un cambio
de paradigma en tecnología médica hacia dispositivos más fiables, más rápidos, capaces
de ser controlados en forma activa y de bajo costo. Afortunadamente ya existen este tipo
de tecnologías en el mercado: los BioMEMS.

BioMEMS, o “sistemas biomédicos microelectromecanicos” (biomedical

microelectromechanical systems), es un término que emergió como un área específica de
los MEMS para aplicaciones en investigaciones biomédicas y dispositivos médicos.

Una amplia definición de BioMEMS puede ser usada para referirse a la ciencia y
tecnología de operar a micro escala por aplicaciones biológicas o biomédicas, que pueden
o no incluir alguna función eléctrica o mecánica.

Los BioMEMS tienen un considerable parecido y a veces son considerados sinónimos con
los “lab-on-a-chip” (LOC) y los “micro total analysis systems” (uTAS). BioMEMS está
enfocado más típicamente en partes mecánicas y tecnologías de micro fabricación
diseñadas para aplicaciones biológicas. Por otro lado, los lab-onchip tienen que ver con la
miniaturización e integración de procesos de laboratorio y experimentos en un solo chip.

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[Figura 2.1 Biomems vs Lab-onChip- μTAS]

Dentro de los BIOMEMS, la detección y caracterización de microorganismos es una de las

posibilidades que generan mayor expectativa; y para conseguir dispositivos que se
adapten de forma eficiente y confiable a los requerimientos de estas aplicaciones, es
necesario conocer y estudiar fenómenos físicos que sean factibles de emplearse en la
manipulación de biopartículas. Actualmente, desde el punto de vista físico se pueden
utilizar fuerzas ópticas, ultrasónicas, magnéticas y eléctricas como mecanismo de
actuación para el manejo de micropartículas (Fernández & Samitier, 1999). Sin embargo,
los campos eléctricos no uniformes presentan enormes ventajas a la hora de diseñar
dispositivos manipuladores de micropartículas, ya que solo requieren la fabricación de
electrodos, con la geometría adecuada y con un tamaño comparable al de las partículas
que se desea controlar. En el proceso de desarrollo de BIOMEMS es indispensable
calcular la distribución del campo eléctrico sobre los electrodos con el fin de predecir las
regiones donde las partículas serán atrapadas o aglomeradas, permitiendo de esta
manera establecer la funcionalidad de la microestructura. [4]

El carácter interdisciplinario de BioMEMS combina las ciencias de materiales, ciencias

clínicas, la medicina, la cirugía, ingeniería eléctrica, ingeniería mecánica, ingeniería
óptica, la ingeniería química y la ingeniería biomédica.

La industria de los BioMEMS está creciendo rápidamente con un ratio de crecimiento de

un 11.4%, con unos ingresos aproximados de $850 millones de dólares en 2003 a casi
1,000 millones de dólares en el 2006.

Según el pronóstico del mercado mundial de dispositivos BIO-MEMS, 2012-2018, "se

espera que el mercado de bioMEMS crezca" de $ 2.3 mil millones en 2013 a $ 6.6 mil
millones en 2018, a un CAGR (tasa de crecimiento anual compuesta) de alrededor del
23%. "Este informe analizó" el mercado de dispositivos por productos tales como DNA-
Chips, Lab-on-chips, sistemas de suministro de fármacos, Biosensores, Dispositivos
Microfluídicos, Implantes Biomems, Micrófonos de Silicio, Acelerómetros, Giroscopios y
Microactuadores . "

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Este aumento está impulsado en parte por el aumento de la reserva de pacientes, nuevos
dispositivos diagnósticos y terapéuticos y tratamientos avanzados para cardiología,
neurología y oncología.

[Figura 2.2 BioMEMS en glóbulo ocular]

2.1 Historia

Durante las últimas décadas los investigadores y desarrolladores de MEMS han fabricado
un número extremadamente elevado de microsensores para casi todas las modalidades
posibles de detección incluyendo la temperatura, la presión, las fuerzas de inercia,
química, campos magnéticos, radiación, etc. Sorprendentemente, muchos de estos
sensores micromecanizados han demostrado que sus actuaciones mejoran las de sus
homólogos a macroescala. Es decir, la versión micromecanizada de, por ejemplo, un
transductor de presión, por lo general supera a un sensor de presión fabricado utilizando
las más precisas técnicas de mecanizado a nivel de macroescala. No sólo el rendimiento
de los dispositivos MEMS es excepcional, sino que su método de producción aprovecha
las técnicas de fabricación de un mismo lote utilizadas en la industria de circuitos
integrados traduciéndose en bajos costes de producción por dispositivo, así como muchos
otros beneficios. En consecuencia, no es de extrañar que los microsensores hayan sido
rápidamente objeto de explotación comercial y que el mercado de estos dispositivos siga
creciendo a un ritmo elevado.

Hoy en día, muchos aspectos de la mecánica están siendo reinventados, aunque a

escalas variables. El rápido desarrollo del campo de los MEMS iguala al progreso en
microelectrónica de hace treinta años que condujo a los modernos microprocesadores de
alta potencia y computadoras ultrarápidas.

Entre 1960 y 1970 se desarrollaron sensores de presión gracias a la evolución en el

grabado de las obleas de silicio. En la década de 1960, se fabricaron transistores de silicio
mediante el proceso químico de grabado isotrópico de silicio. Al utilizarse tanto el grabado
isotrópico como anisotrópico se provocó un gran impulso en el desarrollo de MEMS al
poderse crear una gran variedad de estructuras.

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[Figura 2.3 Diferentes tipos de grabado (Húmedo, sueco, etc)]

2.2 Fabricación

Las técnicas de fabricación tradicionales previamente importadas de la industria de

manufactura de circuitos integrados a los dispositivos MEMS tuvo sin embargo otra
transición a los dispositivos BioMEMS, con una creciente conciencia de la física de micro
fluidos y de la ciencia del silicón, vidrio, polímeros y cerámicos. La modificación de
superficies para ensayos biomédicos y biocompatibilidad ha emergido como una ciencia
compleja, con abundantes oportunidades para la creación de novedosas técnicas y
aplicaciones que pueden ser patentadas para posteriormente ser introducidas al mercado.

Nuevas técnicas están siendo desarrolladas para el modelado, replicación, fundición y

unión que son esenciales para la producción masiva y funcionalidad a un relativamente
bajo costo, que son vitales para los mercados médicos. Además, la construcción en 3D de
los dispositivos BioMEMS, no solo en forma, sino en características electromecánicas,
químicas y materiales biológicos llegan más allá de los conceptos básicos de los típicos
dispositivos MEMS. [9]

El grabado electroquímico anisotrópico es importante en la fabricación de microsistemas,

ya que es la base del proceso de micromecanizado en volumen. Desde su creación, el
micromecanizado en volumen sigue siendo un método muy poderoso para la fabricación
de elementos de micromecánica, tales como canales microhidráulicos, boquillas,
membranas, suspensión de vigas y otros elementos móviles o estructurales.

- Procesos de Deposición

Uno de los elementos básicos en el procesamiento de MEMS es la capacidad de depósito

de películas delgadas de materiales. En este texto asumimos que una fina película puede
tener un espesor de entre unos pocos nanómetros a unos 100 micrómetros. Los procesos

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de deposición de uso común son: Electroenchapado (Electroplating), Deposición

pulverizada (Sputter deposition), la deposición física de vapor (PVD) y deposición química
de vapor (CVD).

- Fotolitografía

Litografía en el contexto MEMS es, por lo general la transferencia de un patrón a un

material fotosensible por exposición selectiva a una fuente de radiación, como la luz. Un
material fotosensible es un material que experimenta un cambio en sus propiedades
físicas cuando es expuesto a una fuente de radiación. Si nosotros exponemos
selectivamente un material fotosensible a la radiación (por ejemplo, mediante el
enmascaramiento de algo de la radiación) el patrón de la radiación sobre el material es
transferido al material expuesto, resultando en que las propiedades de las regiones
expuestas y no expuestas difieren.

Esta región expuesta puede luego ser eliminada o tratada proveyendo una máscara para
el sustrato subyacente. La Fotolitografía es típicamente usada con metal u otra deposición
de película delgada, en procesos de grabado secos o mojados.

2.2.1 Microfabricación con silicón

El desarrollo de BioMEMS ha contribuido significativamente a las técnicas de

microfabricación sin silicón. Dos prominentes ejemplos son LIGA y el modelado plástico
de sustratos micromaquinados.

- LIGA

LIGA es el acrónimo alemán para “Lithographie galvanoformung (plating), and abformung

(molding)”. Sin embargo, en la práctica LIGA esencialmente representa un proceso que
combina películas extremadamente gruesas y litografía de rayos x, que puede hacer
gruesos patrones resistivos con una gran fidelidad y resultados en paredes verticales.
Aunque algunas aplicaciones podrían requerir solamente las altas estructuras
estampadas, otras aplicaciones se benefician por usar las estructuras gruesas como
moldes.

- SU-8

Una alternativa barata reciente al LIGA, con prácticamente el mismo rendimiento ha sido
desarrollada. La solución es usar una resina epóxica, llamada SU-8 que puede ser hilada
en las capas más gruesas (>500um), estampado con herramientas comúnmente
disponibles de litografía, y aun puede lograr paredes laterales verticales.

- Modelado plástico con PDMS

Polydimethylsiloxane (PDMS) es un elastómero que puede ser vertido en un molde,

polimerizado, y luego removido simplemente pelándolo del sustrato del molde. Las
ventajas de este proceso incluyen 1. Varias PDMS baratas pueden ser fabricadas de un

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solo molde, 2. Los PDMS harán una reproducción fiel del molde, 3. PDMS es
biocompatible y por tanto puede ser utilizado en una gran variedad de BioMEMS, 4. Ya
que el PDMS es transparente, tejidos, células y otros materiales pueden ser visualizados
fácilmente a través de él.

2.3 Aplicaciones

Los investigadores todavía están descubriendo nuevas maneras de combinar sensores

MEMS y actuadores con las nuevas tecnología bioMEMS. Se están desarrollando
microdispositivos que permiten obtener información del cuerpo humano: como
microsensores de visión, medidores de glucosa, de presión sanguínea, de oxígeno en
sangre, endoscopios, sistemas de diagnosis genética, etc. Otra área en la que los MEMS
dan lugar a importantes mejoras es la cirugía mínimamente invasiva. Esto es posible
gracias a los nuevos dispositivos e instrumentos miniaturizados, que incorporan
microestructuras mecánicas, componentes microópticos y de fibra óptica, microsensores
táctiles y de presión, entre otros. Los motores lineales para microcirugía controlan la
posición de instrumentos quirúrgicos a muy pequeña escala (en el orden de la micra)
mejorando los resultados de la mayoría de las técnicas quirúrgicas actuales.

Los BioMEMS para aplicaciones terapéuticas son altamente reproducibles, podrían

integrarse con la electrónica y controlado activamente y los costos se abaratarían
notablemente al fabricarse en serie. El desarrollo de la tecnología MEMS y la generación
de nuevos materiales permiten abordar el desarrollo de microdispositivos implantables
con mejoras en la biocompatibilidad debido a la reducción del tamaño y del daño
ocasionado en el procedimiento quirúrgico.

En las últimas décadas se ha investigado y desarrollado sensores y actuadores basados

en el uso de materiales electroactivos, siendo el polipirrol (PPy) uno de los más utilizados.
Las características más sobresalientes del mismo son que presenta grandes
deformaciones cuando es estimulado con pequeñas tensiones o corrientes. Los
actuadores construidos con polímeros electroactivos.

Las aplicaciones de los dispositivos BioMEMS existen en la medicina clínica, el análisis

ambiental, biológico y químico. Las aplicaciones de un área a menudo se superponen con
otras áreas. Las aplicaciones pueden colocarse ampliamente en las categorías de:

- Diagnóstico y terapéutica clínica

- Aplicaciones medioambientales, incluyendo la Seguridad Interna
- Seguridad alimentaria
- Bioprocesamiento.

Además, hay aplicaciones de investigación básica que informan y conducen las

aplicaciones en otras áreas.

BioMEMS están revolucionando el campo de la medicina. Las aplicaciones clínicas de

BioMEMS incluyen diagnósticos (por ejemplo, utilizando micro sensores y transductores) y

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aplicaciones terapéuticas (por ejemplo, actuadores de suministro de fármacos, monitores

de enfermedades). [5]

La colocación del sensor BioMEMS depende del dispositivo y de su aplicación. Un sensor

puede ser:

- Tópico (aplicado a la piel o colocado en la boca)

- Conectados externamente (in vitro o externos con un dispositivo in vivo o interno)
- Dispositivos implantados (totalmente in vivo)

Sensores Tópicos

Los sensores tópicos son los que se aplican a la piel o se colocan en la boca. Un
dispositivo familiar es el termómetro utilizado para medir la temperatura corporal.
Termistores desechables de película gruesa e infrarrojos. Los termómetros del oído han
substituido en gran parte el termómetro del mercurio.

[Figura 2.4 Termómetro para medir temperatura corporal]

Sensores Conectados Externamente

Los sensores conectados externamente son dispositivos que pueden contener tanto una
parte “in vivo” como una parte externa.

Un ejemplo de tal dispositivo es el implante coclear. Estos dispositivos contienen un

micrófono, un procesador de voz, un transmisor y un receptor / estimulador, y

Matriz de electrodos. El micrófono capta los sonidos y selecciona y organiza los sonidos
para el transmisor. Una vez recibido del transmisor, el receptor / estimulador convierte
estas señales en impulsos eléctricos que se utilizan para estimular la matriz. La matriz
luego estimula diferentes regiones del nervio auditivo.

El implante no restaura la audición normal, pero sí da a una persona sorda una

representación útil de su entorno y le ayuda a entender el habla.

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[Figura 2.5 Implante coclear]

Dispositivos implantados (totalmente in vivo)

La tercera categoría de sensor es el dispositivo completamente implantado. Esta área de

bioMEMS tiene numerosas posibilidades, pero pocos de estos dispositivos han llegado al
mercado. Los bioMEMS implantables que han estado en el mercado durante años son
desfibriladores y marcapasos.

Otras aplicaciones emergentes para dispositivos implantables incluyen implantes neurales

y estimuladores de la médula espinal para tratar dolor y espasticidad intratables. Los
microelectrodos implantables para aplicaciones neuronales están basados en láminas de
polímero de película delgada con microelectrodos empotrados para grabación y
estimulación.

Se están probando sensores de presión implantables que pueden usarse en

monitorización cardiovascular, monitorización del glaucoma y monitorización de la presión
intracraneal.

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[Figura 2.6 (A) Desfibrilador y (B) Marca pasos]

De la figura anterior:

(A) Desfibrilador implantable (utilizado para controlar los latidos cardíacos irregulares
peligrosos)

(B) Marcapasos implantable (utilizado para controlar los latidos cardíacos irregulares
menos peligrosos o para

2.3.1 Sensores de Moléculas Biológicas

Las moléculas biológicas tienen la capacidad de detectar y reconocer otras biomoléculas.

Esta característica de biomoléculas ha proporcionado la ciencia que ha permitido el
desarrollo de biosensores que detectan, capturan y analizan analitos específicos (es decir,
partículas o moléculas diana).

Un ejemplo es una prueba de embarazo casera, la cual que emplea anticuerpos como
biosensores. Los anticuerpos tienen un grupo indicador, que detecta una pequeña
proteína producida durante el embarazo y presente en la orina.

[Figura 2.7 Prueba de embarazo]

2.3.2 Glucómetro

El glucómetro externo requiere que el paciente coloque una gotita de sangre en el sensor
BioMEMS. Para obtener la muestra de sangre, el paciente debe pinchar un dedo. La
glucosa en la sangre reacciona con las enzimas en el revestimiento del biosensor y por
ende, la gluconolactona se produce liberando un electrón.

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[Figura 2.8 Glucómetro externo]

Otro biosensor muy exitoso es el glucómetro que controla los niveles de glucosa en la
sangre de los diabéticos. La unidad del glucómetro contiene una tira impregnada con
enzimas que reaccionan con la glucosa, y un electrodo que realiza un seguimiento de los
cambios químicos a través de las fluctuaciones de la corriente (electrones en movimiento).
Los glucómetros proporcionan una medición sensible de los niveles de glucosa en sangre
de una sola gota de sangre.

El glucómetro es estrictamente un sensor de diagnóstico. Sin embargo, los dispositivos

implantables pueden cruzar la frontera entre los diagnósticos en terapéuticos no sólo
utilizando un sensor, sino también incorporando un actuador o microbomba que
administra el fármaco necesario, tal como la insulina.

[Figura 2.9 Glucómetro controlador de niveles de glucosa]

De la imagen anterior:

- El glucómetro mostrado en la imagen monitorea la glucosa (C)

- Ssando un transductor químico, y suministra insulina según sea necesario usando
una microbomba (A / B)
- (D) es el transmisor que transmite la información desde el sensor de glucosa (C ),
Al ordenador (A)

2.3.3 Microfluídicos

Otra plataforma MEMS utilizada en el diagnóstico de bioMEMS hace uso de componentes

microfluídicos. Los microchips fluidos integrados permiten separaciones, reacciones
químicas y mediciones analíticas sin calibración para ser realizadas directamente en
cantidades muy pequeñas de muestras complejas tales como sangre entera y muestras
ambientales contaminadas.

Esta tecnología se presta a aplicaciones como el diagnóstico clínico (incluyendo la

detección de marcadores tumorales) y la detección del medio ambiente en lugares
remotos. Lab-on-a-Chip (LOC), las cuales permiten el manejo de muestras, la mezcla, la

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dilución, la electroforesis y la separación cromatográfica, la obtención y la detección en

sistemas individuales, micro-integrados.

[Figura 2.10 Microfluídico]

2.3.4 ADN (ácido desoxirribonucleico) y BioMEMS

El Proyecto del Genoma Humano introdujo una era en la cual los enfoques
individualizados a la medicina son posibles a través de un análisis del ADN de una
persona.

Estos dispositivos se utilizan no sólo para la investigación básica, sino también en el

campo de la medicina forense y la predicción de la enfermedad.

El microarrays (Chip de ADN) en los usos gráficos. Sondas de ADN de cadena sencilla
para unirse con el ADN monocatenario complementario en la muestra, permitiendo así
que el microarray de ADN identifique el ADN.

Las microarrays de ADN son herramientas utilizadas para identificar genes específicos y
mutaciones genéticas, así como analizar y medir la actividad de los genes.

Los investigadores pueden usar microarrays y otros métodos para medir cambios en la
expresión génica (actividad) y así aprender cómo las células responden a una
enfermedad o en algunas otras situaciones

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[Figura 2.11 Microarray ADN]

Los microarrays de la figura anterior (derecha de la imagen) miden decenas de millares de

genes encendidos.

Un único microarrays y proporcionar a los científicos los datos para entender los procesos
reguladores a nivel celular.

[Figura 2.12 Resultante de los microarrays]

La resultante de los microarrays puede representarse como mapas de calor o mapas

ópticos para visualizar los resultados de los análisis.

- El verde representa la expresión génica o actividad del ADN en una muestra de

control.
- El Rojo representa la actividad del ADN en un objetivo muestra.
- El negro indica que no hay actividad del ADN. Ya sea en el control de la muestra o
en el objetivo.

2.3.5 Proteína y BioMEMS

Al igual que los microarrays de ADN, los microarrays de proteínas permiten el análisis
simultáneo de miles de proteínas dentro de un solo experimento. Los microarrays de la
proteína proporcionan un medio para el estudio del alto rendimiento de la abundancia y de
la función de la proteína.

La tecnología de microarrays de proteínas permite la creación de microarrays de

antígenos para el desarrollo de vacunas y el diagnóstico de enfermedades infecciosas.

Microarrays manchado con proteínas tumorales proporcionan un mecanismo para el perfil

de antígenos tumorales, lo que permite un mejor tratamiento para el paciente.

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[Figura 2.13 Microarray de proteinas]

2.3.6 Sistemas de Entrega de Medicamentos

Los sistemas de administración de fármacos son una aplicación terapéutica de bioMEMS.

Las bombas que suministran insulina en dispositivos implantables son ejemplos de un
sistema de administración de fármacos.

Otros ejemplos incluyen la bomba Medtronic SynchroMed que administra morfina dentro
de la columna vertebral, y dispositivos de bombeo activados piezoelécticamente utilizados
para aplicaciones de administración de fármacos.

Los investigadores también están examinando la integración a largo plazo de células

vivas con materiales inorgánicos creando una plataforma de detección y entrega tanto in
vitro como in vivo. La aplicación in vivo crea un nuevo ambiente de aislamiento inmune
para las células. Este sistema podría proporcionar un medio para evitar una respuesta de
rechazo inmune con trasplantes. También podría permitir el trasplante de células del
donante al huésped con el fin de obtener productos secretores para el huésped.

Se están desarrollando microchips que contienen matrices de micro-depósitos, cada uno

de los cuales puede contener combinaciones de fármacos, biosensores o reactivos/
productos químicos. Un ejemplo de este tipo es el sistema de administración de fármaco
activo MicroCHIPS en la figura. "Esta tecnología es única en su uso de la señalización
inalámbrica, su sistema de depósitos que permite una entrega de sólidos, líquidos o geles,
y su pequeño tamaño. No se espera que reemplace todas las píldoras u otras formas de
administración de fármacos. Más bien, entregará proteínas, moléculas pequeñas y otros
fármacos que son muy potentes, tienen una estabilidad limitada y deben administrarse en
dosis precisas en momentos específicos”.

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[Figura 2.13 Bomba de insulina para el sistema de administración de fármacos]

Otro tipo de sistema de suministro de fármacos que se investiga y explota es el uso de

microesferas como portadores de fármacos. Algunas microesferas han sido diseñadas
para permanecer en el sitio de administración durante periodos prolongados de tiempo,
proporcionando una liberación lenta del fármaco. Actualmente, se añaden microesferas al
torrente sanguíneo para proporcionar una liberación controlada de fármacos tales como
antibióticos.

[Figura 2.14 Microesferas en el organismo]

2.3.7 Aplicación al medio ambiente

Las aplicaciones medioambientales son una parte cada vez mayor del campo del
bioMEMS. En un ejemplo, un gen de una luciérnaga se añade a células de mamífero de
modo que las células brillan cuando se exponen a la toxina dioxina. A medida que
aumenta la cantidad de dioxina, las células brillan más intensamente.

Otra aplicación utiliza células de mamífero cultivadas para predecir la toxicidad letal de los
productos químicos en seres humanos.

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[Figura 2.15 Células expuestas a la toxina dioxina]

Por otro lado, los investigadores han desarrollado microsistemas que concentran los
componentes específicos de ciertos patógenos, luego liberarlos a un microgás
cromatografía de manera que los componentes se pueden separar.

Los componentes separados se pasan a una matriz de sensores de ondas acústicas de

superficie (SAW) para la identificación de componentes.

Por mencionar un ejemplo. Un sistema desarrollado por Sandia National Labs

proporcionará portátil, detección rápida y alerta temprana de la presencia de patógenos
en el aire o en el agua.

[Figura 2.16 Sistema de sensor basado en ondas acústicas (SAW)]

2.3.8 DARPA

Los chips “Bio-Fluidic” de la Agencia de Proyectos de Investigación Avanzada de Defensa

(DARPA) representan otra aplicación de BioMEMS. El objetivo de BioFlips es el
diagnóstico presintomático (se refiere a la identificación de individuos saludables que
pueden haber heredado un gen determinístico para una enfermedad) a través de
detectores de "laboratorio en un chip" (tamaño de reloj de pulsera). Estos chips bio-fluidic
integran diagnósticos, detección rápida y tratamiento potencial en un solo chip.

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Las aplicaciones incluyen la monitorización continua de pacientes de alto riesgo (Después

de la cirugía por ejemplo) y crónicamente enfermos, pacientes así como individuos en
ambientes potencialmente peligrosos. La adquisición de muestras y la administración de
fármacos. [10]

Cuando esté completamente desarrollado, BioFlips avanzará las tecnologías de

vanguardia para combinar el diagnóstico “in vitro” con “in vivo”.

[Figura 2.17 BioFlips]

De la figura 2.17 se observa que los chips biofluídicos son chips que integran
diagnósticos, detección rápida y potencial.

Otras aplicaciones de bioMEMS están emergiendo constantemente:

- Cirugía mínimamente invasiva con retroalimentación háptica

- Diagnóstico clínico del punto de atención (POC)
- Microesferas magnéticas en preparaciones de muestras para pruebas clínicas
- Sondas neurales (imagen izquierda arriba)
- Regeneración nerviosa
- Implantes de la retina
- Herramientas de dermabrasión miniaturizadas
- Biosensores basados en células
- Sensores olfativos
- Dispositivos mínimamente invasivos de endoscopia / técnicas de colonoscopia
- Ingeniería de tejidos

2.4 Sistemas integrados de BioMEMS

2.4.1 Micro-jeringa

Los micro-jeringas han sido desarrollados para la administración de fármacos liofilizó o

secas. El fármaco es administrado en una solución no acuosa debajo de la piel donde se
disuelve por el fluido intersticial y absorbido por los vasos sanguíneos capilares. Todo

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este proceso se da por encima de las terminaciones nerviosas por lo que no se pierde
nada.

El objetivo general de este proyecto es ser capaz de distribuir de manera efectiva las
vacunas en zonas remotas que no cuentan con suficiente atención médica.

[Figura 2.18 Micro-jeringa]

2.4.2 Micro-Mixer

El micro-mixer continuo fue nuestro elsistema de fluidos integrado. Este dispositivo

requiere sólo potencia y una fuente de fluido. El bombeo, válvulas y mezcla son todas
realizadas por los componentes MEMS en el chip.

El sistema contiene dos bombas de desplazamiento positivo (cada uno con 2 válvulas de
retención). Donde las bombas proporcionan un flujo alterno en el canal central que
formarán una interfaz que se estira como el flujo cambia. El rápido aumento de área
interfacial acelera la mezcla.

[Figura 2.19 Cambio de flujo visto con un Micro-Mixer]

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2.4.3 Sensor de glucosa

Este sensor de glucosa a diferencia de los ya mencionados anteriormente, cuenta con

cuatrocientos microagujas para la adquisición de líquido intersticial.

[Figura 2.20 Sensor de glucosa con micro-agujas]

2.5 Microactuadores Biomédicos

Los microactuadores son útiles en aplicaciones biomédicas cuando los objetos biológicos
o su entorno deben ser controlados en una escala microscópica. La habilidad para
integrar varios microactuadores tan fácil hace posible producir microsistemas complejos
capaces de controlar varios parámetros.

2.5.1 Micromanipuladores

Para manipular células, tejidos, y otros objetos biológicos, los micromanipuladores deben
ser controlados por un mecanismo capaz de operar en una solución conductiva.

Algunos micromanipuladores puedes ser:

- Magnéticos
- Neumáticos
- Térmicos
- De memoria de actuación de aleación

[Figura 2.21 Micromanipulador mecánico]

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El microactuador magnético es usado para manipular células individualmente en

soluciones salinas. La forma de la memoria permite al microactuador captar tejidos
durante procedimientos quirúrgicos endoscópicos.

2.5.2 Microinstrumentos quirúrgicos

La capacidad de la mayoría de los microactuadores para interactuar quirúrgicamente con

tejidos biológicos es inherente a su inhabilidad de resistir fuerzas en escala menor a 1mN.
Los usos más efectivos de los microactuadores en aparatos quirúrgicos emplean grandes
fuerzas y poco desplazamiento con motores a pasos o microestructuras resonantes. La
tecnología de MEMS puede ser usada para añadir una variedad de capacidades a los
instrumentos quirúrgicos (microcalentadores, microsensores, suministro de fluidos,
extracción de fluidos, retroalimentación y control)

- Un bisturí controlado por un microactuador piezoeléctrico es un ejemplo del uso de la

tecnología de BioMEMS en herramientas quirúrgicas. El motor a pasos piezoeléctrico
permite que la posición del bisturí sea controlada precisamente. Integrando la habilidad
para medir la presión que experimenta el bisturí mientras corta, la fuerza de corte puede
ser cuantificada y controlada.

[Figura 2.22 Bisturí controlado por microactuador]

- Una herramienta de corte ultrasónico es otro buen ejemplo del uso de la tecnología de
MEMS en instrumentos quirúrgicos. El material piezoeléctrico se encuentra pegado al
cortador para resonar la punta de la herramienta a frecuencias ultrasónicas.

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[Figura 2.23 Herramienta de corte ultrasónico]

2.5.3 Mcrovalvulas, microfiltros, microvalvulas

Claramente la necesidad de controlar precisamente el flujo de gas y fluido para el

diagnóstico y sistemas biomédicos terapéuticos. Con esto como motivación, han habido
muchos esfuerzos para desarrollar microfiltros y microvalvulas viables, de bajo costo y de
alta precisión.

2.5.3.1 Microfiltros

El proceso usado para producir los filtros convencionales capaces de lograr escalas en el
rango de los micrones. El micromecanizado y la tecnología de MEMS ha sido utilizada
para realizar filtros que son precisos y uniformemente maquinados, que logran reducir la
variación estática en los objetos que pasan a través de ella.

2.5.3.2 Microvalvulas

Varios tipos diferentes de microválvulas han sido microfabricados, incluyendo las

normalmente abiertas y las normalmente cerradas hechas para controlar gases o fluidos.

El mecanismo actuador usado en cada válvula es el mismo, una pequeña cantidad de

fluido inerte es calentado con una resistencia integrada hasta que la fase de cambio es
inducida y genera una gran fuerza.

El desempeño de las microválvulas se compara favorablemente con las válvulas de mayor

tamaño. En particular, las microválvulas típicamente operan más rápido y tienen mayor
tiempo de vida operacional. Sin embargo ya que las microválvulas son controladas por
actuadores térmicos, su consumo energético sigue siendo relativamente alto. Se debe
tener cuidado para prevenir que la temperatura de la válvula exceda la tolerada por el
fluido o gas que está siendo controlado.

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2.5.3.3 Microbombas

Varios métodos de microactuación han sido usados para controlar microbombas: fuerzas
electroestáticas, magnéticas, pizoelectricas.

Un ejemplo de estas es una microbomba controlada electroestáticamente. En donde el

proceso crea una cavidad de bombeo con una membrana deformable y dos válvulas.

Cuando se designan microbombas para aplicaciones biomédicas, se debe poner atención

a los medios que están siendo bombeados. Algunos fluidos, como la insulina, no pueden
tolerar mecanismos de bombeo agresivos sin degradarse.

Los electrodos son fabricados dentro de una segunda cavidad aislada formada arriba de
la membrana deformable, para que estén sellados separados de las soluciones
conductivas que están siendo bombeadas. Aunque la microbomba funciona bien, requiere
voltajes mayores a 100v para que ocurra un bombeado significante.

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Referencias

[1] "BioMEMS for medicine: On-chip cell characterization and implantable

microelectrodes". Karen C. Cheung. Solid-State Electronics. Volume 50, Issue 4, April
2006, Pages 551-557.

[2] "Biomedical Applications for MEMS and Microfabrication". An interview with Dr.
Leslie Field and Neha Choksi. MEMS Investor Journal. August 10, 2006.

[3] Bionanotechnology: Lessons from Nature. 2004. David S. Goodsell. Wiley-Liss

Press.

[4] S. Saliterman, "Introduction to BioMEMS,". BioMEMS and Medical Mcrodevices,

SPIE PRESS, Wiley-Interscience Bellingham, Washington, USA, 2006, pp 1-14

[5] H. Stieve, “Sensors of Biological Organisms – Biological Transducers”, Sensors

and Actuators, vol. 4, no. 4, Dec. 1983, pp. 689-704

[6] G.T.A. Kovacs, C.W. Storment, M. Halks-Miller, C.R. Belczynski, C.C.D. Santina,
E.R. Lewis, N.I. Maluf, “Silicon-substrate micro-electrode arrays for parallel recording of
neural activity in peripheral and cranial nerves”, IEEE Transactions on Biomedical
Engineering, vol. 41, no. 6, June 1994, pp. 567-57

[7] U.S. Patent 5,629,577 – Piezoelectric microactuator useful in a force-balanced

scalpel

[8] R. Zengerle, J. Ulrich, S. Kluge M. Richter, A. Richter, “A bidirectional silicon

micropump”, Sensors and Actuators A (Physical), vol. A50, no. 1-2, Aug. 1995, pp. 81-86.

[9] Fundamentals of BioMEMs and Medical Microdevices 2006. Steven S. Saliterman.

WileyInterscience Press.

[10] "BioFlips: Healthcare for the Future". (Defense Sciences Office. DARPA.) Valeo. J.
Haulsee. Darts. University of Baltimore. 2011.

[11] Rebello K. 2004. Applications of MEMS in surgery. Proceedings of the IEEE 92:
43-55.

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