Gua bsica a la tecnologa de partculas

Steven D. Kochevar, enero 2006

Parte I. Partculas
En esta parte se describe la naturaleza fsica, los orgenes y el comportamiento de las partculas.

Partculas
Tipos y fuentes
Generalmente, hay tres tipos de partculas: orgnicas inertes, orgnicas viables e inorgnicas inertes. Las partculas orgnicas inertes provienen de materiales orgnicos no reactivos, que son materiales derivados de organismos vivientes e incluyen los compuestos de carbono. Las partculas orgnicas viables son capaces de vivir, desarrollarse o germinar conforme a condiciones favorables; las bacterias y los hongos son ejemplos de compuestos orgnicos viables. Las partculas inorgnicas inertes son materiales no reactivos como arena, sal, hierro, sales de calcio y otros materiales basados en minerales. En general, las partculas orgnicas provienen de materia viva a base de carbono, como animales y plantas, si bien no necesariamente las partculas estn todava vivas. Las partculas inorgnicas provienen de materia que nunca estuvo viva, como los minerales. La clula de piel muerta es una partcula orgnica inerte, un protozoario es una partcula orgnica viable y un grano de polvo cprico es una partcula inorgnica inerte. Las partculas se generan a partir de una gran variedad de fuentes. Por lo general, las partculas inertes se desarrollan cuando se frota un elemento contra otro, como el polvo que se produce cuando se corta un trozo de madera. Los seres humanos despedimos muchos miles de partculas inertes a travs de la muda continua de piel muerta. Los motores elctricos generan partculas inertes cuando sus cepillos de alambre frotan contra los componentes giratorios. Los plsticos, cuando son expuestos a la luz ultravioleta, liberan lentamente partculas inertes.

Tamao
En el contexto de los mtodos de fabricacin contemporneos, las partculas ms pequeas lo son tanto que no se pueden considerar como contaminacin destructiva. Esas partculas pequeas son muchas veces ms pequeas que un tomo; se llaman partculas subatmicas. La siguiente familia ms grande de partculas es la de los tomos, seguida de las molculas, que son grupos de tomos. La contaminacin molecular es de particular inters en los entornos de fabricacin de semiconductores que siguen la ley de Moore. En 1965, Gordon E. Moore (cofundador de Intel Corporation) afirm que el nmero de transistores en un circuito integrado se duplica casi cada dos aos. Al tener una superficie fija en el circuito integrado, la nica forma de duplicar el nmero de transistores es achicando su tamao. Esos transistores se reducen rpidamente a tamaos moleculares y la contaminacin molecular puede limitar la eficacia de la fabricacin. Despus de la contaminacin molecular, varias de las aplicaciones de fabricacin se concentran en partculas medidas en micrones. Estas partculas varan en tamao desde bien debajo de un micrn (m) hasta unos 100 m. La longitud de un micrn es equivalente a la milsima parte de un milmetro. Comparativamente hablando, 25.400 m son iguales a una pulgada, un solo grano de sal mide unos 60 m y un cabello humano mide entre 50 y 150 m. El ojo humano medio no puede ver partculas ms pequeas que 40 m. Es que las partculas ms grandes que 100 m y ms pequeas que 0,01 m interesan muy poco en la mayor parte de los procesos de fabricacin modernos. Las partculas ms grandes que 100 m se filtran fcilmente y las menores que 0,01 m son demasiado pequeas como para causar daos. Adems, la Organizacin internacional de normalizacin (ISO) no cuenta con disposiciones para clasificar partculas menores que 0,1 m

(llamadas partculas ultrafinas) ni partculas mayores que 5,0 m (llamadas macropartculas). En la tabla 1 se enumeran algunas partculas comunes y sus tamaos relativos. Contenido de partculas Cabello Visible Virus de la influenza Polen Partculas de estornudo Polvo Bacterias Tamao de partcula (en micrones) 50 - 150 m 50 m 0,07 m 7 - 100 m 10 - 300 m 0,1 - 100 m 1,0 - 10 m

Tabla 1: Tamaos de partculas comunes

Hay varias formas diferentes de medir una partcula. En la figura 1 se muestran los mtodos normales que se emplean. Una esfera, perfilada abajo en lnea de rayas, representa la partcula de una esfera de ltex de poliestireno (PSL): una partcula sinttica empleada para calibrar contadores de partculas y filtros de prueba.

Figura 1: Dimensiones de partculas

El trmino cientfico para cada tipo de medicin es til en diferentes contextos, en especial en microscopa. El dimetro de Feret es la distancia medida entre lneas paralelas hipotticas que se trazan tangencialmente al perfil de partcula y perpendicular a la escala ocular. Las partculas que caen sobre una superficie adoptarn su estado mecnicamente ms estable, lo que significa que presentarn su superficie ms grande al observador y, en consecuencia, su dimensin ms larga. Algunas partculas pueden cambiar en tamao. Una partcula orgnica viable como un paramecio es un microorganismo que, como casi todos los animales, est compuesto mayormente de agua.

Si el paramecio se diseca (se seca), ser mucho ms pequeo que lo que era cuando estaba hidratado (lleno de agua). El tamao de las partculas es relevante en los procesos de fabricacin. Segn el proceso de limpieza, hay tamaos de partculas especficos que pueden causar daos. En la industria de los semiconductores, las partculas submicrnicas afectan la cantidad de chips que se pueden producir. En la industria de las unidades de disco, las partculas pueden daar los cabezales de lectura/escritura. En la industria farmacutica, las partculas ms grandes pueden afectar la interaccin de la droga con el cuerpo. Debido a que confiamos en que los filtros eliminen la mayor parte de la contaminacin particular, conocer el tamao de partcula relevante permitir comprar filtros con el tamao de porosidad correcto para eliminar la contaminacin y aumentar la productividad.

Distribucin en campana (distribucin gausiana)

Desde un punto de vista realista, los patrones de partculas rara vez tienen el tamao exacto dentro de un canal de tamao particular. Al utilizar partculas de 0,3 m como ejemplo, la mayora de las partculas son un poco ms grandes o un poco ms pequeas que ese valor. Decimos que 0,3 m es el tamao nominal de la partcula porque es conveniente (en lugar de llamarlas, por ejemplo, partculas de 0,2547 m a 0,3582 m). La cantidad que una partcula del tamao nominal es la variancia. La variancia es igual al valor de la desviacin normal elevado al cuadrado. Si se mide con exactitud un nmero de partculas a un tamao nominal de 0,3 m y se grafican los resultados, el dibujo sera como el grfico 3.

Grfico 3: Distribucin gausiana (curva en campana)

En el grfico, la mayor parte de las partculas se concentran en 0,30 m, con nmeros menores de partculas ms grandes o ms pequeas que 0,30 m. En un contador de partculas, aquellas que no caen dentro de la distribucin normal (gausiana) sern incluidas en el siguiente depsito de partculas de tamao ms grande o ms pequeo. Concentraciones Tpicamente, en un pie cbico normal de aire interior, podemos esperar 1.000.000 de partculas mayores que 0,5 m. Comparativamente hablando, en el medio del ocano o en montaas elevadas, un pie cbico de aire contiene slo 34 partculas o 169 partculas (respectivamente), superiores a 0,5 m.

En los lquidos, un solo milmetro de agua ultra pura de una sala blanca contiene mucho menos que 1 partcula mayor que 0,05 m. Sin embargo, un milmetro de agua potable puede contener 1.200.000 partculas mayores que 0,05 m. Al producir concentraciones de partculas significativas, los seres humanos desprenden alrededor de 1 onza de partculas cutneas por da. El simple proceso de exhalar aire puede producir varios miles de partculas, en especial, de los fumadores. Sin embargo, el simple acto de beber un vaso de agua reduce significativamente las partculas que se exhalan. En la figura 2 se muestra cmo la actividad humana genera partculas.

Figura 2: Generacin de partculas

Distribuciones
Las partculas del aire y de lquidos en condiciones ambientales siguen una distribucin de tamaos en comn. Las distribuciones de partculas del aire obedecen a las normas relativas a salas blancas de la ISO 14644 que suponen una distribucin conforme a una ley potencial. La distribucin segn una ley potencial correlaciona datos desde un canal de clasificacin de tamaos de partculas al siguiente. Si se trazan en un grfico de dos ejes en escala logartmica (loglog), los datos producirn una lnea recta; en forma similar, trazar datos en un grfico de ejes x-y normal produce una lnea exponencialmente decreciente. Los estudios subsiguientes realizados con partculas han demostrado distribuciones para partculas del aire proporcionales a 1/(dimetro)2.1. Las distribuciones de partculas de lquidos varan a partir de 1/(dimetro)2 a 1/(dimetro)4,5, si bien 1/(dimetro)3 se emplea para la mayora de las distribuciones de lquidos a temperatura ambiente.

14000 12000

1000

1000 8 00 600 400 200

100

10

# of particles

0.1

1.0

Particle size m

Grfico 1: Partculas ambientales (grfica en escala logartmica)

Grfico 2: Partculas ambientales (grfica en ejes x-y)

Ejemplo de la frmula de distribucin segn la ley potencial: La comprobacin de agua potable muestra 20 partculas/ml > 2,0 m Utilice la frmula de distribucin de partculas de lquidos 1/(dimetro)3 La frmula puede calcular cuntas partculas son > 0,5 m: (nmero de partculas > 2 m)* [1/(relacin de dimetros de partculas)3] (20)* [1/(0,5 m/2,0 m)3] 1.280 partculas > 0,5 m El agua potable contiene 20 partculas/ml > 2,0 m y 1.280 partculas/ml > 0,5 m.

Materiales
Casi cualquier cosa puede generar partculas conforme a las circunstancias correctas. En una sala blanca, los generadores de partculas ms prolficos son en general la gente. La gente genera partculas despidiendo clulas cutneas, emitiendo perfume, colonias, aerosoles para el cabello, perdiendo pelo, respirando, estornudando, etc. Todas las partculas se pueden clasificar de acuerdo a su agrupamiento: Partcula: una sola partcula con material similar de principio a fin. Agregado: grupo de partculas que se mantienen juntas mediante fuertes fuerzas atmicas o moleculares. Las fuerzas de atraccin de las partculas son comparables con aquellas que sirven de ligante de un trozo de concreto. Aglomerado: grupo de partculas que se mantienen juntas mediante fuerzas de adhesin o cohesin ms dbiles. Las fuerzas de atraccin de las partculas son comparables con aquellas que sirven de ligante en un terrn de tierra. Flculo: grupo de partculas que se mantienen juntas mediante las fuerzas ms dbiles. Las fuerzas de atraccin de las partculas son comparables con el polvo que se posa sobre una mesa.

Mecnica de las partculas

Las partculas exhiben ciertas tendencias. Se mueven por el aire y por otros medios mediante fuerzas balsticas o difusin. Las partculas pueden acumularse sobre superficies debido a la gravedad y la adherencia electrosttica. En los lquidos, las partculas se pueden adherir a las burbujas de aire, pegarse a las paredes de un conducto o recipiente o aglutinarse en una masa ms grande.

Importancia relativa de la gravedad versus otras fuerzas

Como toda materia, las partculas estn influenciadas por la gravedad y otras fuerzas, entre las cuales se pueden incluir las fuerzas centrfugas o elctricas. En la presencia de la gravedad y la ausencia de otras fuerzas, las partculas mayores que unos pocos micrones se posarn rpidamente sobre superficies o en las paredes de los tubos de muestra. Inversamente, las

partculas submicrnicas pueden quedar suspendidas en corrientes de aire durante un largo tiempo. Sin embargo, si las partculas son influenciadas por fuerzas centrfugas o elctricas, es posible que stas resistan a la gravedad, recorran distancias mayores o sean atradas por pticas. Un ejemplo sencillo de atraccin de partculas a una ptica es una pantalla de televisin. El polvo (partculas) es atrado a la pantalla debido a fuerzas elctricas de alta energa. La tendencia de las partculas a posarse sobre superficies se conoce como coeficiente de estabilizacin y, cuando se emplea junto con la ley de Stoke, los rendimientos de la estabilizacin se pueden demostrar de la siguiente manera:
Tamao de l as p ar t c u l as (en m) 0,0037 0,01 0,1 1,0 10,0 100,0 V el oc i dad de es t ab i l i z ac i n (en cm/s) ---6 6,95 x 10 -5 8,65 x 10 -3 3,5 x 10 -1 3,06 x 10 -1 2,62 x 10

Tabla 2: Velocidad de estabilizacin

Movimiento
Fuerzas balsticas: Las partculas expulsadas de una herramienta o un proceso pueden hacer que stas se muevan contra el flujo de aire predominante y no distribuirse en forma uniforme por el ambiente. Gradualmente, las partculas migrarn hacia reas de presiones mas bajas, pero debido a la contribucin continua de partculas por parte de la herramienta o el proceso, las distribuciones de partculas ambientales rara vez ocurren. Difusin: Imagine volcar tinta roja en un cubo de agua limpia. Despus de un rato, todo el cubo de agua se teir de un color rojo uniforme. Este fenmeno es la difusin y an ocurre cuando un gas o un lquido parece estacionario. Las partculas suspendidas en un fluido (lquido o gaseoso) se mueven mediante varias fuerzas: corrientes, variacin trmica y movimiento browniano. Corrientes: Las corrientes son los movimientos laminares (suaves) o turbulentos (bruscos) de aire o de fluidos. Las corrientes son el resultado de diferencias de presin, con movimiento que se desplaza de un rea de alta presin a un rea de baja presin. Las partculas suspendidas en un flujo laminar tienden a permanecer en esa parte del fluido. En el aire, el movimiento lateral (de lado a lado) se llama adveccin y el movimiento vertical (hacia arriba y abajo) se llama conveccin. Variacin trmica (termoforesis): Las diferencias de temperatura en un fluido contribuyen a corrientes, en particular corrientes convectivas (verticales). Simplemente, la termoforesis describe el movimiento de partculas en una gradiente de temperatura a medida que stas se desplazan desde una regin caliente hacia una regin ms fra. Movimiento browniano: Las partculas pequeas suspendidas en gas o en lquidos entran en contacto con molculas gaseosas. Esas molculas chocan con partculas pequeas y alteran la trayectoria de la partcula. La va de la partcula, que ha sido alterada por las molculas, se llama movimiento browniano. Cuando se caliente un lquido, las molculas se tornan ms energticas, colisionando con mayor frecuencia y separndose cada vez ms de otras molculas y, de esa forma, aumentando el movimiento browniano.

Figura 3: Movimiento browniano

Adherencia
Muchas fuerzas actan sobre una partcula y la retiran de su estado libre (difuso). Las principales fuerzas de adherencia se describen a continuacin. Adherencia electrosttica: Si se fricciona un globo contra el pelo se genera una capa de electricidad esttica en el globo. Eso genera adherencia electrosttica. En forma similar, las partculas pueden cargar electricidad esttica la cual las har atraer hacia superficies que tengan cargas opuestas. Aglomeracin: La aglomeracin ocurre cuando las partculas se ligan unas a otras con firmeza. En los lquidos, las partculas tienden a aglomerarse en burbujas gaseosas. Acrecin: La acrecin define el crecimiento de materia particulada a medida que las partculas se adhieren unas a otras. La adherencia electrosttica u otras fuerzas adhesivas contribuyen a la acrecin particulada y, bajo ciertas condiciones, dos partculas adheridas forman lo que se llama doblete. Friccin: Las partculas se pueden adherir a una superficie spera en la cual el movimiento o la friccin no sea lo suficientemente fuerte como para desplazarla. Cuando se entienden estos principios de adherencia, los mecanismos principales de un filtro de atrapar partculas son de adherencia electrosttica y friccin.

Ciclo de movimiento y adherencia

La difusin y adherencia coexisten en un ciclo continuo: las partculas circulan, quedan atrapadas, se liberan y recirculan. Este ciclo genera valores constantemente cambiantes para el nmero y el tamao de las partculas. En consecuencia, los detectores de partculas analizan un volumen de fluido y pueden correlacionar los datos con las concentraciones de partculas por unidad de volumen.

Transporte de partculas a travs de tubos

Como se mencion anteriormente, el sistema de mltiples recoge partculas de reas separadas y transporta las muestras a un contador de partculas situado en algn otro sitio. En general, un tubo o conducto permite la recogida de muestras a distancia, si bien cuando los medios de muestra dentro de un tubo recorren el trayecto desde un punto remoto a un contador de partculas, dos cosas ocurren: Algo de presin se pierde Algunas partculas se adhieren a los tubos

Algunos factores que contribuyen a la movilidad de las partculas dentro de los tubos deben ser entendidos. En la tabla 4 se describen las prdidas de presin como una funcin de distancia, empleando una pauta sistmica de un caudal de aire de 3 pies cbicos por minuto (CFM) por punto de muestra. A continuacin se ofrecen breves descripciones de la terminologa. Dimetro (DI) 4 mm 5 mm 6 mm pulg. 7 mm 8 mm (5/16 pulg.) 9 mm 3/8 pulg. 10 mm Nmero de Reynolds 9150 7360 6130 5780 5250 4585 4070 3865 3670 Prdida de presin (lb-pulg.2/metro) 0,98 0,34 0,15 0,11 0,07 0,04 0,02 0,016 0,013 Velocidad del gas (m/segundo) 40,35 25,9 18,0 16,0 13,2 10,1 8,0 7,2 6,5

Tabla 4: Prdida de presin de aire en distancias

Dimetro interior: El dimetro interno de un DI designado para el tubo. Nmero de Reynolds: La relacin de fuerzas inerciales (vs) con las fuerzas viscosas (/L) que se emplean para determinar si el caudal ser laminar o turbulento. El nmero de Reynolds responde a los flujos dentro de un tubo influenciados por la forma, la uniformidad interna, la verticalidad, la viscosidad fluida, la presin del aire ambiental y la temperatura. Prdida de presin: La presin del aire disminuye en forma proporcional a la longitud del tubo. As, si 10 lb-pulg.2 de presin de aire entran a un tubo de 20 metros de largo y 7 mm de ancho, la presin en el otro extremo medir 8,6 lb-pulg.2. Velocidad del gas: La velocidad a la cual el gas se desplaza por el conducto.

Prdida de partculas
Para reducir al mnimo la prdida de partculas en los tubos, stos deben siempre tener un tendido plano (si es posible) con curvaturas mnimas. Si se requiere la curvatura de los tubos, el radio de curvatura (que se mide en la curvatura interior) no debe ser menor a 6 pulgadas. Asimismo, el dimetro de los tubos y los materiales deben contribuir al transporte de partculas. La tubera con DI de 3/8 pulg. de polmero conductivo Bev-A-Line se instala generalmente

para sistemas de mltiple aerosol y permite un transporte de partculas superior y a un costo razonable. Algunos materiales empleados en las tuberas no siempre estn disponibles o son accesibles. Por lo tanto, a fin de reducir las prdidas de partculas, se ofrece la siguiente lista en orden de preferencia: 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. Acero inoxidable Polmero conductivo Polister Vinilo (si no interfiere el plastificante) Polietileno Cobre Cristal Teflon Aluminio

Parte II. Entornos

En esta parte se describe el uso de entornos especializados y de filtrado para controlar los efectos de las partculas en la produccin.

Entornos
Muchos procesos modernos de alta tecnologa exigen limpieza. Especficamente, exigen una ausencia de contaminacin particulada. Con unos pocos ejemplos se puede explicar mejor este concepto. Ejemplo uno: En la industria de fabricacin de semiconductores, en general nos referimos a stos como circuitos integrados (CI), microchips, o chips. Un CI es un trozo plano de silicona grabada con lneas muy pequeas (cables planos) que forman transistores y otros componentes. Los transistores pueden funcionar como un interruptor o como un amplificador de seales (voltaje, corriente o potencia). Las lneas de los CI estn tan juntas entre s (0,09 m de separacin y contraccin) que una partcula presente en una lnea provocara un cortocircuito. Los fabricantes de semiconductores necesitan filtrar las partculas del aire iguales o mayores que 0,09 m; las partculas menores que 0,09 m no son lo suficientemente grandes como para causar un cortocircuito. Sin embargo, a medida que hay ms lneas juntas, la exigencia de monitores ms sensibles aumenta. Los CI son dispositivos multicapa, siendo cada una de las capas extremadamente delgada; por lo tanto, a los fines de la fabricacin, la superficie efectiva del CI es igual a lo siguiente: Superficie(Superficie CI) = largo x ancho x nmero de capas La densidad de las superficies de CI se combina con la posibilidad de que las partculas perdidas podran destruir todo el chip. El control y la eliminacin de la contaminacin particulada dentro del entorno de produccin es una de las principales preocupaciones del fabricante de semiconductores. Ejemplo dos: La industria farmacutica fabrica generalmente drogas parenterales. Las drogas parenterales (inyectables) deben estar libres de partculas que podran infectar el cuerpo, tanto de seres humanos como de animales. Las partculas que afectan negativamente el cuerpo tienden a ser mayores que 2 3 m y la empresa farmacutica, al igual que el fabricante de semiconductores, debe manejar el entorno de produccin para eliminar la contaminacin particulada. Tpicamente, las empresas farmacuticas determinan la limpieza del proceso controlando la presencia de partculas de 0,5 m y definen la esterilidad del producto monitoreando partculas de 5 m. En contraste, la fabricacin de semiconductores tiende a concentrarse en partculas de 0,3 m hasta 0,05 m.

Cmo controlar la contaminacin particulada

Hay tres formas de controlar partculas: Eliminar las partculas existentes en el entorno de fabricacin Prevenir o limitar la importacin de nuevas partculas al entorno de fabricacin Prevenir la generacin de nuevas partculas dentro del proceso de fabricacin

Filtrado
El filtrado es fundamental para controlar la contaminacin particulada. Hay dos pasos para el filtrado: direccionar las partculas al filtro y atraparlas dentro de ste. El direccionamiento de las partculas al filtro es ms difcil.

Este direccionamiento al filtro nos exige pensar las partculas en el contexto de una planta de fabricacin caracterstica. Una planta tiene una enorme cantidad de colectores de partculas (superficies donde las partculas se acumulan), superficies grandes y fuentes abundantes de contaminacin. El mtodo ptimo para la gestin de partculas protege el flujo laminar donde sea posible, as que tantas partculas como sea posible son barridas hacia los filtros. Desgraciadamente, no siempre es posible proteger el flujo laminar. La captura de partculas en el filtro se basa en cuatro principios: cribado, impacto, fuerza electrosttica y movimiento browniano. Los medios de filtrado tienen espacios intermedios o poros para permitir que el aire o el lquido pase (se tamice), mientras las fibras en el filtro capturan las partculas ms grandes (impacto). Las fuerzas electrostticas tienen la carga opuesta de las partculas que ayuda a atraparlas en una placa o fibra cargada. Sin embargo, algunas partculas ms pequeas pueden escurrirse por los poros pequeos y resistir el impacto, si bien su movimiento aleatorio (movimiento browniano) no les permite escapar del filtro. Todos estos principios se combinan para que el filtro sea ms eficaz a medida que envejece. Los filtros se tornan ms eficaces a medida que las partculas gradualmente rellenan los espacios intermedios en los medios de filtrado, por lo tanto, habr menos superficies disponibles para que las partculas escurran. No obstante, la mayor contaminacin genera menos superficie para que el fluido pase a travs, generando una mayor presin en el filtro y finalmente limitando gravemente la circulacin a travs del filtro. Una vez que el filtro alcanza su punto de saturacin (totalmente lleno de partculas), se deber reemplazar por uno nuevo. A veces, los medios de filtrado se pueden purgar (limpiar) y volver a usarse. En la figura 3 se muestra un medio de filtrado y la escala relativa de 25 m.

Figura 3: Medio de filtrado

Los medios de filtrado son cada vez ms sofisticados y se fabrican de fibras sintticas, membranas (Gore-Tex), plsticos porosos o cermicos. Las pautas de filtrado de aire regulares son las siguientes:

El filtrado de aire particulado de alta eficiencia (High Efficiency Particulate Air o HEPA por sus siglas en ingls) es la norma industrial correspondiente a los entornos de fabricacin ultralimpios y ultrapuros. Los filtros HEPA eliminan caractersticamente 99,99% de las partculas iguales o mayores que la especificacin del filtro, que por lo general es de 0,3 m. El filtrado HEPA es una parte integrada de los sistemas de calefaccin, ventilacin y aire acondicionado (HVAC). El filtrado de aire de penetracin ultrabaja (Ultra Efficiency Particulate Air o ULPA por sus siglas en ingls) elimina el 99,9997% de partculas iguales o mayores que 0,12 m. Los entornos de procesos ultralimpios requieren filtros ULPA.

En el pasado, los estudios de la contaminacin particulada exigan el uso de un microscopio para contar y medir las partculas en el filtro. Esta tcnica desperdiciaba tiempo, requera de mano de obra intensiva y no proporcionaba monitoreo de partculas en tiempo real. Hoy, la sofisticada instrumentacin empleada en el conteo de partculas realiza el anlisis de los filtros.

Salas blancas
Los entornos de procesos limpios deben seguir siendo infaliblemente limpios y entonces el filtrado del aire de la fbrica es inadecuado. Para reducir al mnimo la contaminacin particulada es importante crear entornos separados, conocidos como sala blanca. Esto permite que los lmites a las partculas se mantengan en niveles que se puedan medir y controlar. Las salas blancas consiguen esos excelentes niveles de limpieza maximizando el flujo de aire laminar y reduciendo al mnimo los colectores de partculas. El flujo de aire laminar es aire que se desplaza en una sola direccin, con lo cual las partculas pueden ser barridas lejos de una superficie. Los colectores de partculas son superficies donde las partculas se juntan y escapan al flujo de aire laminar. Los diseos cuidados de salas blancas pueden reducir al mnimo esas superficies. En las salas blancas eficaces, los filtros instalados en el techo permiten que el aire filtrado pase desde arriba hacia el suelo. Las baldosas tienen orificios pequeos que permiten que el aire pase por debajo del suelo, donde los retornos de aire (conductos de aire) transportan el aire de nuevo a los filtros en el techo. Este proceso de filtrado puede intercambiar el volumen de aire total de la sala blanca ms que treinta veces por hora, dando por resultado el entorno ms limpio posible al tiempo que reduce al mnimo el movimiento advectivo de partculas. La reduccin adicional de la contaminacin en una sala blanca requiere personal vestido con ropa de proteccin, cofias para cabello y barba, capuchas, galochas y guantes. Estos elementos de proteccin se los conoce familiarmente como trajes de conejo. En los entornos ms limpios, el personal lleva puesto trajes de conejo equipados con cascos y respiradores que filtran el aire que se exhala. La indumentaria de sala blanca es extremadamente importante en el control de la microcontaminacin para poder contener las partculas que emiten las personas.

Minientornos y aisladores
Las salas blancas tecnolgicamente ms avanzadas emplean minientornos. Se trata de salas blancas en miniatura (que miden pocos metros de largo) y que aslan el producto de las fuentes de contaminacin externas. Los minientornos comprenden ventiladores de aire propios, filtros, controles de temperatura y humedad, brazos robticos internos o guantes de goma integrados. Debido a su tamao, los minientornos son significativamente menos costosos que las salas blancas y su uso es cada vez ms extendido. Una fbrica puede instalar minientornos en una sala blanca de grado inferior, en lugar de invertir grandes cantidades de dinero en la construccin de una planta de alta tecnologa, y conseguir los mismos resultados.

Clasificacin de salas blancas y minientornos

La norma federal de EE.UU. 209E, publicada en 1963, defini la clasificacin y el monitoreo de salas blancas dentro de los Estados Unidos. El Comit europeo de normalizacin, junto con la Organizacin internacional de normalizacin (ISO), elaboraron pautas para Europa. Las diferentes normas provocaron confusin, as que en 1992, el Instituto nacional de normalizacin de Estados Unidos (ANSI) y el Instituto de ciencia y tecnologa ambiental (IEST) presentaron una solicitud a ISO para desarrollar una norma internacional. ISO elabor pautas nuevas para las clasificaciones y el monitoreo de salas blancas, y las public conforme a la ISO 14644. En noviembre de 2001, los Estados Unidos adoptaron las normas ISO 14644 y oficialmente derogaron la norma FS-209E. En la tabla 2 se comparan las clasificaciones de sala blanca correspondientes a la FS-209E e ISO 14644-1.
Clasificaciones de sala blanca FS-209E
(partculas por pie cbico)

ISO 14644-1

1 10 100 1000 10000 100000

1 2 3 4 5 6 7 8 9

Tabla 2: FS209E e ISO

La ISO 14644-1 establece las clases normales de limpieza del aire para salas blancas y zonas limpias conforme a concentraciones especficas de particulados del aire. Una sala blanca ISO Clase 1 no tiene ms que 10 partculas mayores que 0,1 m en cualquier metro cbico de aire dado. Una sala blanca ISO Clase 2 estara diez veces ms sucia que una sala blanca Clase 1 y una sala blanca ISO Clase 3 estara diez veces ms sucia que una de Clase 2, y as sucesivamente. Los lmites especficos permitidos por clase ISO aparecen en la tabla 3.

CLASS ISO 1

ISO 2 ISO 3 ISO 4 ISO 5 ISO 6 ISO 7 ISO 8 ISO 9

10 100 1,000 10,000 100,000 1,000,000

0.1 m

Number of Particles per Cubic Meter by Micrometer Size 0.2 m 0.3 m 0.5 m 1.0 m 5.0 m

2 24 237 2,37 0 23,7 00 237 ,000

10 102 1,020 10,200 102,000

35 35 2 3,5 20 35 ,200 35 2,000 3,5 20,000 35 ,200,000

8 83 832 8,320 83,200 832,000 8,320,000

29 29 3 2,9 30 29 ,300 29 3,000

Tabla 3: Clasificaciones ISO de salas blancas

Normativa para salas blancas

En 1984, el Instituto de ciencia y tecnologa ambiental elabor el anteproyecto de la IES-RP-CC006-84-T, que es un mtodo para la comprobacin de salas blancas. Las tcnicas de medicin dentro de los parmetros de prueba comprenden lo siguiente: velocidad y uniformidad del flujo de aire integridad del filtro paralelismo del flujo de aire tiempo de recuperacin de sala blanca conteo de partculas del aire tasa de precipitacin radiactiva de las partculas presin y contaminantes de sala blanca tasa de induccin niveles de luz y ruido temperatura y humedad relativa vibracin

El Departamento nacional de equilibrio ambiental (NEBB) ampla esta norma y ofrece un programa de certificacin a cargo de terceros. Mientras que el programa de certificacin del NEBB ofrece informacin til, no se requiere el NEBB para la certificacin de sala blanca.

Evaluacin y certificacin de salas blancas

La certificacin de salas blancas ocurre despus de la construccin o de haberse realizado cambios fsicos significativos. La certificacin garantiza que la instalacin cumpla con los requisitos correspondientes a una concentracin mxima estadsticamente vlida de partculas del aire de tamao determinado. Las certificaciones de sala blanca pueden ocurrir en cualquiera de estas tres diferentes etapas: As Built: Una sala blanca certificada como "Instalacin ISO Clase X, As Built" define una sala blanca totalmente construida y operativa, con todos los servicios conectados y funcionando, pero que no tiene equipo de produccin ni personal operativo en la instalacin. Esta certificacin es la ms comn puesto que los diseadores y constructores de la sala blanca pueden atender cualquier falla de inmediato y corregirla.

At Rest: Una sala blanca certificada como "Instalacin ISO Clase X, At Rest" define una sala blanca totalmente construida y operativa, con los equipos de produccin instalados y funcionando (o que pueden funcionar), pero que no tiene personal en la instalacin. Esta certificacin demuestra el cumplimiento continuado a partir de la certificacin As Built. Las salas blancas que fueron construidas pero permanecen vacas o aquellas que fueron modificadas requeriran de la certificacin At Rest. Operativa: Una sala blanca certificada como Instalacin ISO Clase X operativa define una sala blanca en operaciones de fabricacin normales, que incluyen tanto equipamiento como personal. Esta certificacin puede ocurrir despus de que se instale un complemento parcial o total del equipo dentro de la sala blanca. La intencin es para demostrar el cumplimiento continuado de sala blanca y mantener las normas de limpieza. El personal a cargo de la gestin de la sala blanca determinar si la sala blanca debe cumplir certificaciones operativas y, en caso afirmativo, cundo.

Partculas depositadas
Las certificaciones de sala blanca no requieren la evaluacin de la deposicin de partculas en superficies; las certificaciones de sala blanca slo evalan las partculas que libremente se mueven en el aire. Sin embargo, las partculas depositadas pueden causar el impacto ms grande en los procesos de fabricacin de alta tecnologa. A fin de evaluar la deposicin de partculas, una instalacin puede recoger partculas depositadas en un plato testigo. Un plato testigo es un objeto plano sin partculas hecho de los mismos materiales que el producto que se est fabricando (por ejemplo: si se fabrican productos de plstico ABS, se deben emplear platos testigo de plstico ABS). Se colocan varios platos testigo en toda la sala blanca y stos se dejan para recoger la deposicin de partculas. Despus de un perodo determinado, el personal a cargo de la comprobacin recoge los platos testigo y cuenta las partculas depositadas. El conteo de las partculas de los platos testigo requiere en general un microscopio ptico o contadores de partculas con anlisis de superficie. Actualmente, hay sensores de deposicin molecular que pueden monitorear eficazmente los ndices de deposicin de partculas. Esos sensores, como los platos testigo, emplean un material de contenido similar al producto de la planta de produccin. El material se recubre sobre una onda acstica de superficie (OAS) que ejerce la misma atraccin de partculas que el producto. Los sensores de deposicin molecular pueden ayudar a reducir o eliminar la comprobacin mediante platos testigo, con lo cual se ahorrar dinero.

Parte III. Deteccin de partculas

En esta parte se describe la tecnologa de los contadores de partculas y los mtodos ms comunes de deteccin, conteo y medicin de partculas.

Deteccin de partculas
La certificacin de sala blanca es un proceso en trmite. El monitoreo continuado de la calidad del aire garantiza que el sistema de filtrado funciona correctamente y que no existen generadores de partculas desconocidas. En los primeros aos de los procesos de fabricacin limpia, los filtros de prueba capturaban partculas. Ms tarde, el personal de laboratorio utiliz microscopios para confirmar la cantidad y el tamao de las partculas capturadas. A veces, la persona que contaba las partculas poda determinar la composicin de las mismas (por ejemplo, polvo cprico). Dejando de lado el esfuerzo que desperdicia tiempo, el microscopio es an la mejor forma de conocer informacin especfica sobre las partculas, pero no ofrece datos instantneos relativos a la contaminacin. El microscopio revela eventos de partculas histricos y no actuales. A mediados de los cincuenta, las aplicaciones en el rea militar engendraron el desarrollo de los primeros instrumentos para el conteo de partculas. Esos dispositivos hicieron posible monitorear niveles de partculas instantneos y proporcionar notificaciones rpidas cuando los niveles de contaminacin excedan los lmites. En lugar de esperar das para el anlisis de partculas, lo cual poda permitir que miles de productos defectuosos pasaran a travs de un proceso, el contador de partculas proporcion datos en minutos. Gradualmente, esta tecnologa se extendi a otros sectores de la fabricacin y creci la confianza en la nueva tecnologa de conteo de partculas. Los ingenieros de proceso que monitoreaban los niveles de contaminacin de partculas en tiempo real empezaron a desarrollar procesos que fueron ms eficaces, con menos productos daados. Hoy, el contador de partculas mejora continuamente la productividad proporcionando niveles, tendencias y fuentes de contaminacin particulada en detalle. El personal de fabricacin utiliza los datos de partculas para entender las causas de la contaminacin, programar con precisin los ciclos de mantenimiento de salas blancas, correlacionar los niveles de contaminacin con los procesos de fabricacin y ajustar cada paso de la produccin.

Contadores de partculas pticos

La mayora de la gente reconoce a simple vista el polvo que se mueve trmulamente en un rayo de sol. Cuatro son los principios necesarios para ver el polvo: luz solar (ilumina el polvo), polvo (refleja la luz solar), aire (transporta el polvo) y el ojo humano (ve el polvo o, ms precisamente, ve la luz reflejada por el polvo). Un contador de partculas ptico (OPC) utiliza los mismos principios pero maximiza la eficacia. Los contadores de partculas utilizan una fuente de luz de alta intensidad (un lser), un flujo de aire controlado (volumen de visualizacin) y detectores de acumulacin de luz altamente sensibles (un fotodetector).

Teora del funcionamiento

Los contadores de partculas con lser pticos emplean cinco sistemas principales: 1. Rayos lser y pticas: Un lser es la fuente de luz preferida puesto que la luz es una nica longitud de onda, lo cual significa slo un color de luz de alta intensidad. Los rayos lser comunes se ven rojos, verdes o casi infrarrojos. Los primeros rayos lser fueron varillas de rub. Estas varillas fueron reemplazadas por tubos de cristal rellenos con un gas o una mezcla de gases. Los rayos lser de helio-nen (HeNe) se emplearon generalmente en contadores de partculas, si bien poco a poco fueron sustituidos por diodos lser de estado slido. Actualmente, los diodos lser son los ms comunes puesto

que ofrecen potencia disponible, tamao ms pequeo, peso ms ligero, costo ms bajo y duracin media entre fallas ms prolongada. Las pticas coliman y enfocan la luz del lser de modo tal que ste ilumina la regin de muestra de partculas, que se llama volumen de visualizacin. Las pticas adicionales recogen luz dispersa y la transmiten a un fotodetector. 2. Volumen de visualizacin: El volumen de visualizacin es una cmara pequea iluminada por el lser. El medio de muestra (aire, lquido o gas) es atrado al volumen de visualizacin, el lser atraviesa el medio, las partculas dispersan (reflejan) luz, y un fotodetector aglomera las fuentes de luz dispersas (las partculas). 3. Fotodetector: El fotodetector es un dispositivo elctrico que es sensible a la luz. Cuando las partculas dispersan luz, el fotodetector identifica el destello de luz y lo convierte a una seal elctrica o pulso. Las partculas pequeas dispersan pulsos de luz pequeos y las partculas grandes dispersan pulsos de luz grandes. Un amplificador convierte los pulsos a un voltaje de control proporcional. 4. Analizador de altura de pulso: Los pulsos del fotodetector se envan a un analizador de altura de pulso. El analizador de altura de pulso examina la magnitud del pulso y coloca su valor en un canal de clasificacin por tamao apropiado, llamado depsito. Los depsitos contienen datos sobre cada pulso y esos datos se correlacionan con los tamaos de las partculas. 5. Caja negra: La caja negra o conjunto de circuitos de soporte mira el nmero de pulsos de cada depsito y convierte la informacin a datos de partculas. A menudo, los computadores muestran los datos y los analizan.

Comentarios relativos a los contadores de partculas con lser 1. Los contadores de partculas no cuentan partculas
Los contadores de partculas cuentan los pulsos de luz dispersada a partir de las partculas o, en algunos casos, cuentan las sombras que proyectan las partculas iluminadas a contraluz. La cantidad de luz que una partcula dispersa o eclipsa puede variar con varios factores distintos, entre los que se incluyen los siguientes: La forma de la partcula: o Las partculas rara vez son lisas y esfricas como las partculas de PSL empleadas en las calibraciones de los contadores de partculas. Con frecuencia, las partculas son escamas de piel o fibras aserradas. Cuando stas flotan lateralmente a travs del volumen de visualizacin, dispersan una cantidad de luz diferente que si hicieran el recorrido a lo largo. El albedo (potencia reflectora) de la partcula: o Algunas partculas son ms reflectoras (por ejemplo, el aluminio) que otras, lo cual produce ms luz dispersa en el fotodetector. El fotodetector produce un pulso ms grande y el contador de partculas cree que la partcula es ms grande que su tamao verdadero. Por el contrario, algunas partculas son menos reflectoras (por ejemplo, el carbono) y el contador de partculas cree que una partcula ms pequea pas por el volumen de visualizacin.

Por ejemplo, en una sala blanca de 5.000 pies2 con techos de 12 pies de altura, un contador de partculas de 1 pie cbico por minuto (CFM) analizar slo 1/60.000 ( 0,0000167%) del aire interior total en un minuto. En una hora, el contador de partculas contar sesenta veces ms aire, lo cual equivale a slo el 0,001% del volumen de toda la sala. Considerando que slo se extrae una muestra de volumen pequeo, los contadores de partculas deberan extraer suficientes muestras de los medios (aire, lquido o gases) para representar estadsticamente todo el volumen. Esto se llama incidencia estadstica y es una representacin vlida del volumen total. ISO proporciona una frmula especfica, basada en volmenes de muestras, para determinar cundo una muestra cumple con la incidencia estadstica. Las tcnicas de muestreo parecen sencillas, pero las partculas jams se propagan verdaderamente (distribuyen homogneamente) dentro de un volumen de muestra. Las partculas tienden a permanecer en el flujo laminar, acumularse en el flujo turbulento, adherirse a las superficies y elevarse en aire caliente. Si bien las salas blancas reducen al mnimo estos colectores de partculas y sus problemas, siempre habr zonas donde las partculas se junten.

2. Los contadores de partculas no cuentan todas las partculas contenidas en un volumen

Tipos de contadores de partculas

Hay distintas variedades de contadores de partculas. Las diferencias principales dependen del medio en el cual las partculas quedan suspendidas: aire, lquido, gas, vaco o un medio atmosfrico/meteorolgico.

Llevadas por el aire: Los contadores de partculas del aire miden la contaminacin en salas blancas con filtros HEPA, ensamblajes de unidades de disco, fabricantes de medicamentos, pequeos bancos de prueba, instalaciones para lanzamiento de cohetes y cientos de aplicaciones diferentes de aire controlado.
agua potable, las drogas inyectables, los fluidos de transmisin y los cidos fluorhdricos. Algunos contadores de partculas de lquidos requieren un accesorio llamado muestreador. El muestreador se comunica con el contador de partculas, extrae automticamente un volumen preciso de lquido y, programado con la velocidad especfica de entrega del contador, distribuye el lquido al contador de partculas. Algunos contadores de lquido se conectan directamente a conductos de instalaciones sanitarias o utilizan gases presurizados para eliminar burbujas en sustancias qumicas. Estos gases pueden ser ya sea inertes o voltiles y ser secos (anhdridos) o contener vapores de agua. En general, el diseo del contador de partculas de gases proporciona mediciones de contaminacin a presiones que varan de 40 a 150 psig. ocurren procesos a presiones negativas (vaco), hecho que lo convierte en un desafo. Las partculas no muestran un movimiento predecible en el vaco, as que los contadores de partculas especializados deben depender del dinamismo de la partcula para su deteccin.

Lquidos: Los contadores de partculas de lquidos miden la contaminacin en todo, incluida el

Gas: Los contadores de partculas en gases miden la contaminacin suspendida en los gases.

Vaco: Los contadores de partculas de vaco llenan un mercado altamente especializado donde

Medio atmosfrico/meteorolgico: Una de las aplicaciones originales de los contadores de partculas, los contadores de partculas atmosfricos o meteorolgicos analizan la contaminacin atmosfrica como la polucin o proporcionan estudios climticos en detalle. Estos

instrumentos miden las gotas de agua, los cristales de hielo, los ncleos de condensacin o la propagacin de la contaminacin desde incendios de petrleo y erupciones volcnicas. Cuando se disea un contador de partculas se pueden emplear diversas variaciones tecnolgicas. La aplicacin dicta la variante tecnolgica empleada en el contador de partculas. Asimismo, los rayos lser escogidos para las versiones tecnolgicas se seleccionan para alcanzar eficiencia en la clasificacin por tamao de las partculas. La intensidad de un lser no es uniforme. Especficamente, un lser es ms intenso en el centro que en los bordes. La intensidad del lser ilustra una distribucin gausiana o en forma de campana. Algunos contadores de partculas emplean mscaras pticas especiales para que se muestre solamente la parte central del lser. En la figura 4 se muestra el haz de un lser verdadero proyectado sobre una cuadrcula. Los niveles de intensidad del lser aumentan hasta un punto mximo (las zonas blancas y rojas), que es el centro del haz del lser.

Variaciones de las tecnologas de los contadores de partculas

Figura 4: Perfil de un lser (cortesa de CrystaLaser)

Tanto la tecnologa de dispersin como la de extincin emplea un lser para iluminar la zona de visualizacin. Los contadores de partculas por dispersin miden la luz reflejada (dispersada) de una partcula cuando sta pasa a travs de la regin de visualizacin. Los contadores de partculas por extincin iluminan todo el volumen de visualizacin y miden la sombra de la partcula (zonas donde la luz se extingue) cuando sta pasa a travs de la regin de visualizacin. La tecnologa de extincin slo se emplea en contadores de partculas de lquidos que clasifican partculas de tamaos mayores que 2 m. Si la tecnologa de dispersin se empleara para partculas grandes, el fotodetector quedara cegado por la intensa luz dispersada.

Dispersin versus extincin

Los contadores de partculas volumtricos analizan todo el volumen de muestra de partculas. Los contadores de partculas no volumtricos examinan slo una pequea parte representativa de todo el volumen de muestra. Tpicamente, los contadores de partculas no volumtricos tienen caudales mayores que permiten extraer mayor volumen total de muestra; por el contrario, sacrifican algo de diferenciacin en los canales de clasificacin por tamao de partcula, que se conoce como resolucin. En general, los contadores de partculas volumtricos toman muestras de lquidos ms lentamente, si bien proporcionan muchos canales de clasificacin de tamao de partculas y mejor resolucin.

Volumtrico versus no volumtrico

Espectrmetro versus monitor

Como se mencion anteriormente, la intensidad del haz del lser no es uniforme en todo el perfil del mismo. Los espectrmetros emplean slo el centro del haz del lser y los monitores emplean la anchura total del haz del lser. Los espectrmetros emplean la parte central del haz de lser puesto que la intensidad del lser es constante. Las fuentes de luz ms constantes proporcionan mayor precisin en la deteccin de partculas, as que un espectrmetro puede discernir con ms facilidad ligeras diferencias en los tamaos de las partculas y ofrecer una mejor resolucin. Los monitores emplean todo el haz del lser y por lo tanto no pueden percibir las pequeas diferencias entre los tamaos de partculas. Tal como se ilustra en la figura 5, una partcula que pasa a travs del borde del haz del lser estar sometida a una luz de intensidad menor que la misma partcula pasando a travs del centro del haz del lser. Las amplitudes de pulso relativas, que aparecen en el diagrama a continuacin, ilustran el pulso de una partcula y el piso de ruido (ruido elctrico de fondo). Como se muestra, la misma partcula generar distintas amplitudes de pulso segn dnde entra el haz del lser. En forma similar, una partcula ms grande que pase por el borde del haz puede proporcionar la misma amplitud de pulso que una partcula pequea que atraviesa el centro del haz. En consecuencia, los monitores incluyen slo unos pocos canales de clasificacin por tamao, con suficiente distancia entre uno y otro, para justificar este error en los tamaos.

Figura 5: Intensidad del lser y errores en la clasificacin por tamao

Cmo escoger entre espectrmetros y monitores: Ante una intensidad de luz especfica dada, las partculas pequeas dispersan una pequea (dbil) cantidad de luz y las partculas grandes dispersan una gran (brillante) cantidad de luz. En un diseo perfecto, una partcula que pase a travs de un haz de lser emitir primero un destello dbil de luz a medida que sta entra al haz, iluminndose lentamente mientras llega al centro del haz y atenundose cada vez cuando la partcula sale del haz. En el mundo real, como la partcula no tiene una inclinacin hacia el centro del haz, es casi seguro que transite el borde del mismo, lo cual dar por resultado un destello dbil. A menos que la parte visualizada del lser (la parte visible para el fotodetector) se limite al centro del haz, es imposible que el analizador de altura de pulso determine si el destello dbil fue producto de una partcula pequea transitando el centro del haz o de una partcula grande transitando el borde del haz. De esa forma, la capacidad del contador de partculas para medir con precisin los tamaos de las partculas se ve limitada por la tecnologa empleada. Los espectrmetros emplean tcnicas de enfoque o enmascaramiento para limitar la regin de visualizacin a la parte central del haz del lser. Adems, requieren volmenes de muestra ms pequeos y tasas de caudal menores puesto que es ms fcil determinar el tamao de la partcula si sta pasa lentamente a travs del haz del lser. Esta tecnologa proporciona datos de

clasificacin de tamao de partcula especficos. La precisin en la clasificacin del tamao exacto de la partcula con el espectrmetro lo transforma en un instrumento preferido para realizar estudios de filtrado, analizar temas determinados de la contaminacin particulada, ilustrar los desafos presentados por las partculas monodispersas y verificar las exactitudes de los contadores de partculas menos precisos. Hay muchas aplicaciones donde la clasificacin por tamao precisa de partculas especficas no tienen ninguna consecuencia. Esas aplicaciones slo requieren informacin general sobre partculas, siendo de esta forma apropiado un monitor de partculas. Adems, considerando cualquier sensibilidad a un tamao de partcula dado, un monitor extrae muestras de volumen mayor a mayor caudal, lo cual proporciona ms datos sobre partculas. Por ejemplo, los monitores son los instrumentos preferidos para el monitoreo multipunto de un sistema de agua desionizada (DI) o el sistema de tuberas integrado de una fbrica. Todas las tcnicas de conteo de partculas automatizado estn limitadas por el tamao de las partculas ms pequeas que pueden detectar. Esto es, llegamos a un punto en el cual la partcula es tan pequea, que la luz dispersada no se puede distinguir del ruido de fondo. El ruido de fondo es similar a la esttica elctrica y es un subproducto de las operaciones elctricas. Cuando una partcula es demasiado pequea para distinguirse del ruido de fondo, hay contadores de partculas especiales que agrandan las partculas a tamaos mayores, con lo cual se posibilita la deteccin. Esos contadores de partculas se llaman contadores de partculas por condensacin (CPC). Los CPC contienen un depsito de lquido voltil, como el alcohol butlico. El aire de muestra circula a travs de una cmara clida donde los vapores del alcohol se mezclan con el mismo. A continuacin, el aire de muestra y los vapores de alcohol circulan por una cmara de condensacin fra, donde los vapores se supersaturan y condensan sobre las partculas. Cuando se emplea esta tcnica, gotas microscpicas de alcohol pueden rodear partculas tan pequeas como 0,01 m y aumentar las gotas de partculas/alcohol midiendo un tamao de 1 a 2 m. Este tamao de partcula es fcilmente detectable. El diseo de los CPC propagan todo el exceso de alcohol a las paredes de la cmara de condensacin de modo que las gotas se sumen a los totales de partculas. Similar a los contadores de partculas pticos, los contadores de partculas por condensacin con dimetros de partculas detectables menores son ms complejos y requieren ms mantenimiento. El contador de partculas por condensacin tiene algunas desventajas respecto del contador de partculas ptico: los CPC requieren la carga peridica de los depsitos de alcohol, el alcohol butlico tiene un olor desagradable, los CPC con alcohol no butlico emplean lquidos de fluorocarbono y, si se produce un derrame accidental del CPC, no habr salida de datos hasta que las piezas anegadas vuelvan a su condicin normal. En muchos entornos (ISO Clase 6 o ms sucios), un CPC detectara tantas partculas que no podra contar lo suficientemente rpido y as los datos resultantes seran errneos. Asimismo, a diferencia de un OPC, un CPC no puede ofrecer informacin sobre el tamao de las partculas. Como un CPC aumenta el tamao de todas las partculas al mismo dimetro, slo puede informar sobre la presencia de una partcula pero no sobre su tamao.

Contadores de partculas por condensacin

USO DE LOS CONTADORES DE PARTCULAS

A fin de emplear efectivamente un contador de partculas, ste se debe manipular, instalar y accionar correctamente. A continuacin se ofrecen algunas pautas para garantizar que el instrumento funcione correctamente y tome muestras estadsticamente vlidas.

Los contadores de partculas no son como otros equipos de prueba comunes. Entre stos se incluyen rayos lser, pticas especializadas, tarjetas de circuitos impresos (PCB) y regiones de muestreo minuciosamente alineadas. Son extremadamente sensibles a las tensiones ambientales como las vibraciones, la interferencia electromagntica (EMI), el calor y el fro extremos, y la suciedad. Los contadores de partculas son instrumentos electrnicos sensibles de alto rendimiento.

Pautas para el manejo de los contadores de partculas

Primero, lea siempre el manual del contador de partculas. El manual ofrece las mejores sugerencias para el funcionamiento del contador de partculas; la falta de informacin sobre los procedimientos de instalacin apropiados podra ser costosa en tiempo y dinero.

Desembalaje
Muchos contadores de partculas se fabrican y embalan dentro de entornos similares a salas blancas. No retire la bolsa de plstico que recubre el contador de partculas hasta que el instrumento est en el entorno donde ser empleado. Esto es especialmente cierto si el contador de partculas va a funcionar en una sala blanca. Si se observa esta pauta, reducir al mnimo la exposicin del contador de partculas a la tierra y la humedad que contaminan las superficies pticas.

Instalacin
El rea de instalacin debe estar libre de vibraciones provenientes de otros equipos y a temperatura ambiente normal (70F/21C). Coloque el contador de partculas sobre una superficie limpia y nivelada, cerca de una fuente de alimentacin elctrica con conexin a tierra y CA condicionada. Evite colocar el instrumento en un entorno elctricamente ruidoso (con muchos picos de voltaje de motores elctricos, rels, transformadores, etc.). El ruido elctrico puede causar conteos de partculas falsos.

Almacenamiento
Si corresponde, vace toda sustancia qumica corrosiva (en contadores de partculas de lquidos) y reemplcelas por fluido para limpiaparabrisas anticongelante. Envuelva el contador de partculas en una bolsa de plstico (antes de retirarlo del entorno limpio), selle y etiquete la bolsa. En la etiqueta debe indicarse el tipo de contador de partculas, la fecha, la razn de almacenamiento, el nmero de serie y la fecha de vencimiento para realizar la calibracin. Luego, cuando se lo vuelva a necesitar, el contador de partculas estar preparado para volver a la instalacin de calibracin/reparacin.

Archivo del instrumento

Debera considerar guardar un archivo que muestre la fecha en que el instrumento fue puesto en servicio, cundo vence la calibracin, la cantidad de tiempo que se utiliz, la fecha de todo mantenimiento preventivo realizado (limpieza de pticas, etc.), todo accidente o dao y cualquier prestacin fuera de lo comn observada por los operadores.

Mantenimiento
Los contadores de partculas necesitan mantenimiento de rutina que tpicamente incluye la limpieza de las superficies pticas. Con el tiempo, estas superficies acumulan tierra que puede dispersar la luz del lser; en los contadores de partculas de lquidos, esto se llama luz de CC. La luz de CC es una medicin de la corriente continua (CC) relacionada con la cantidad de luz de lser dispersada al atravesar las superficies de lquidos o contenciones. La luz de CC excesiva puede dar por resultado una menor sensibilidad y/o conteo de partculas falsos. Para evitar esta

situacin, siga las instrucciones que acompaan su contador de partculas, puesto que como sucede con la mayor parte de los instrumentos, la limpieza debe estar a cargo del usuario. Siga con cuidado las instrucciones y, si no est seguro de lo que est haciendo, no siga adelante. Comunquese con el fabricante para obtener ms instrucciones.

APLICACIONES DE LOS CONTADORES DE PARTCULAS

En esta parte se describe cmo se puede emplear el equipo de conteo de partculas.

Seguimiento de tendencias
Rara vez resulta til conocer cuntas partculas hay en un ambiente; es ms til saber si la contaminacin del ambiente crece o se reduce en el tiempo. Esto se conoce como seguimiento de tendencias y los contadores de partculas proporcionan un anlisis detallado de las tendencias en la contaminacin particulada. Esto es, los contadores monitorean cambios graduales o repentinos en los niveles de contaminacin del entorno. Esta informacin puede indicarle al operador si hay un problema de filtraciones, si una herramienta o proceso est contaminado o si alguien dej una puerta o una vlvula abierta. Hay aplicaciones ms sofisticadas para los contadores de partculas. Dichas aplicaciones sern tratadas ms adelante.

Muestreo estadsticamente vlido

Este es un concepto importante que se explic anteriormente pero vale la pena repetirlo. Una muestra estadsticamente vlida es la muestra de medios que resulte representativa, tanto en contenido como en caractersticas, de los medios que se estn comprobando. Los conteos de partculas pueden ser mayores dentro de corrientes de conveccin o posados en superficies, pero en general, los principios de la difusin muestran que el muestreo de una zona de la sala proporcionar datos similares a otra zona del mismo ambiente.

Normalizacin de los datos

Un contador de partculas toma muestras de los medios a un caudal constante y cuenta las partculas presentes en los medios. Los datos recogidos por el contador de partculas pueden verse de dos maneras: Conteos en bruto: cantidad total de partculas en un canal de tamao especfico. Los conteos en bruto no se calculan como una funcin del volumen de muestra, as que los datos no informan valores de contaminacin volumtricos. Estos datos son tiles en algunas aplicaciones, as como tambin en la calibracin del instrumento. Conteos normalizados: el nmero total de partculas divido por el volumen de muestra. Los conteos normalizados relacionan los conteos de partculas con los volmenes de muestra, as que los datos informan concentraciones de partculas por unidad de volumen (pie3, m3, ml, etc.).

Parte IV. Hardware y accesorios

En esta parte se describen las distintas clases de contadores de partculas y el hardware asociado. Asimismo, hablamos de las aplicaciones especficas para cada tipo de contador de partculas.

CONTADORES DE PARTCULAS DEL AIRE

Los contadores de partculas del aire detectan y miden la contaminacin particulada en el aire. Tpicamente, monitorean la contaminacin de partculas en ambientes limpios, como salas blancas o minientornos. Adems del monitoreo del aire en un ambiente, los contadores de partculas del aire pueden controlar las partculas presentes en el aire de una herramienta de procesamiento grande. El monitoreo de la eficacia del filtro es otra de las aplicaciones comunes. El contador de partculas extrae muestras del aire mientras entra y sale del filtro. La cantidad de conteos entrantes (circulacin hacia dentro) se compara con la cantidad de conteos salientes (circulacin hacia fuera). La proporcin de esos dos valores determina la eficacia del filtro. Si se desea realizar una comprobacin sin atencin presente, el contador de partculas puede incluir alarmas ante lmites de partculas aceptables y enviar una notificacin cuando el filtro no pasa la prueba de eficacia. El monitoreo, la verificacin y la comprobacin de salas blancas representan la aplicacin ms habitual para los contadores de partculas del aire. Esos contadores de partculas se colocan cerca del proceso a comprobar y recogen datos en forma constante. Cuando la contaminacin aumenta por encima de los lmites programables del contador de partculas, una alarma audible y visual avisa al personal de mantenimiento. En cualquier aplicacin, un contador de partculas debe tomar suficientes muestras de medios, de modo que pueda proporcionar datos vlidos estadsticamente. Especficamente, si extrae muestras de una sala blanca grande, el contador de partculas debe hacerlo en varios puntos dentro de la sala. Los documentos de ISO ofrecen sugerencias respecto del nmero de puntos de muestra: Nmero de puntos muestra =
Area(m 2 )

Por lo tanto, si una sala blanca mide 10.000 pies cuadrados, primero convierta a metros cuadrados, calcule la raz cuadrada y luego redondee el resultado.

Area (m 2 ) = ft 2 0.092903 10,000 ft 2 0.092903 929.03 m 2 929.03 m 2 30.48 31 sample locations

El monitoreo eficaz de esta sala blanca debe incluir treinta puntos diferentes de muestreo. Como alternativa, se puede realizar la comprobacin de la sala blanca empleando uno de los mtodos siguientes:

Usando un mltiple aerosol (se describe ms abajo) Moviendo el contador de partculas de un punto a otro Demostrando que la muestra estadsticamente vlida se puede tomar en un solo punto

La seleccin de un contador de partculas del aire en particular requiere algunas decisiones. Los tamaos de canal varan de 0,06 m, siendo el tamao mnimo, hasta varios cientos de micrones, siendo el mximo, y segn el modelo, la cantidad de canales y el tamao puede ser ya sea

preestablecido o programable. Otras caractersticas incluyen distintos caudales, procesamientos estadsticos, modos de certificacin automatizados y casi cualquier otra funcin que cubra casi todas las aplicaciones de las partculas del aire.

Contador de partculas del aire manual

Los contadores de partculas manuales son ligeramente ms grandes que la mano de una persona y generalmente se emplean para determinar con precisin y aislar fuentes de contaminacin. Pueden emplear una sonda en el extremo de una manguera que emite diferentes tonos (como un contador Geiger o un detector de metales) correspondientes a concentraciones de partculas.

Mltiples aerosol
Los mltiples aerosol utilizan un solo contador de partculas para tomar muestras de aire de muchos puntos diferentes. El mltiple aerosol es un dispositivo que generalmente est controlado por un contador de partculas con varias mangueras de aire entrante provenientes de puntos donde se toman las muestras de aire, y una manguera de aire saliente conectada al contador de partculas. El mltiple utiliza una bomba grande, proporcionando 100 pies cbicos por minuto (CFM) de flujo de aire, para direccionar las partculas provenientes de todos los puertos al contador de partculas. Secuencial mente, el contador de partculas toma muestras de un lugar, luego tras un perodo (en general, un minuto), el mltiple se mueve a la siguiente manguera entrante y repite el proceso. Los mltiples bien diseados reducen al mnimo la prdida en la tubera de transporte y limitan la contaminacin cruzada. La contaminacin cruzada ocurre cuando las partculas fugan de un puerto de muestra a otro. En la figura 6 se muestran las partes bsicas de un sistema mltiple aerosol.

Figura 6: Mltiple aerosol (inferior derecha), bomba (inferior izquierda) y caja de control (superior central)

Sondas de muestreo
Las sondas de muestreo se conectan al extremo del tubo de muestra y proporcionan datos ms precisos. El aire de sala blanca es con frecuencia flujo laminar con velocidades que varan de cuarenta y cinco a noventa pies por minuto. Algunas sondas se ajustan para permitir la ecualizacin de velocidad entre el contador de partculas y el aire del ambiente; las sondas de muestreo se conocen como isocinticas. De ese modo, las sonda de muestreo captura partculas a la misma velocidad que el aire de muestra, permitiendo realizar conteos de partculas normalizados con precisin. Vase la figura 7

Figura 7: Sonda de muestreo (superior) y conexin adaptador de tubera (inferior)

Difusor de alta presin

Los contadores de partculas del aire estndar toman muestras de aire a 1 pie cbico por minuto y 1 de atmsfera de presin (14,6959 lb-pulg2). Los difusores de alta presin reducen las presiones (40 a 100 lb-pulg2) de los sistemas de gas presurizado, de modo tal que el contador de partculas del aire pueda analizar los gases. Sin embargo, los difusores de alta presin deben analizar slo los gases presurizados inertes. Estos difusores descargan algunos gases presurizados en la sala, as que si esos gases no fueran inertes, podran sufrirse lesiones graves.

Sensores ambientales
Los sensores ambientales pueden medir la temperatura, la humedad relativa, la presin de aire diferencial, la velocidad del aire, etc. El contador de partculas y/o el sistema de monitoreo de plantas (FMS) interpretan los datos de la sonda ambiental y los muestran en un formato que pueda ser ledo.

CONTADORES DE PARTCULAS DE LQUIDOS

Los contadores de partculas de lquidos cuentan partculas en casi toda clase de lquidos: agua, cido fluorhdrico, petroqumicos y drogas inyectables son aplicaciones comunes. A menudo, monitorean la eficacia de filtros o de los dispositivos de control de calidad en aplicaciones de muestreo por lotes.

Muestreadores de lquidos
Los muestreadores de lquidos extraen el volumen de lquido preciso y luego, empleando una tasa de suministro fija, envan la muestra al contador de partculas de lquidos. Los lquidos no presurizados son una aplicacin comn para los muestreadores de lquidos, incluidas pruebas dentro de vasos de precipitados o ampolletas. Si se emplea incorrectamente, un muestreador de lquidos puede producir cavitacin y generar burbujas dentro del lquido. Las burbujas son un problema puesto que pueden acumular partculas (aglomeracin). Adems, la mayora de las burbujas presentes en los qumicos de proceso tienden a medir como partculas grandes (en general, mayores que 1 m). Algunos muestreadores de lquidos reducen o eliminan la efervescencia (burbujeo) a travs de la compresin. El muestreador de lquidos comprende una cmara que contiene la muestra de lquido, mientras que las presiones (> 35 lb-pulg2) comprimen las burbujas y las eliminan del lquido.

Mdulos de visualizacin
Los mdulos de visualizacin para lquidos son anlogos a aquellos utilizados para los contadores de partculas de vaco; proporcionan un mtodo para monitorear partculas sin desviar el flujo.

Corrosivos y tuberas
El conteo de partculas suspendidas en lquidos, en especial lquidos corrosivos, requiere contadores con superficies internas mojadas que no se disolvern ni emitirn gases txicos cuando se hagan muestreos de sustancias corrosivas. Particle Measuring Systems emplea varios materiales pticos y plsticos diferentes para las superficies mojadas de los contadores de partculas de lquidos:

pticas Slice fundida: Material similar al cristal, la slice fundida es compatible con la mayora de los qumicos excepto el cido fluorhdrico. Zafirita: Compatible con la mayora de los qumicos empleados en la industria de los semiconductores, incluido el cido fluorhdrico. Fluoruro de magnesio: Compatible con la mayora de los qumicos, excepto el fluoruro amnico y el perxido de hidrgeno. Tuberas Fluoruro de polivinilideno (PVDF): Termoplstico empleado en muchas clulas de muestra, pero no recomendado para el uso de largo plazo con acetona. Perfluoroalkoxy (PFA) Teflon: Fluoropolmero empleado en algunas clulas de muestra, el PFA Teflon es poroso a algunos qumicos. Entre otros materiales se incluyen Teflon, KalRez (un costoso material para juntas tricas) y Kel-F.

Compatibilidad qumica
Antes de poner cualquier sustancia qumica en un contador de partculas de lquidos, es importante: garantizar que el qumico sea compatible con las superficies mojadas del contador de partculas, el muestreador de lquidos y toda la tubera accesoria (incluida la tubera de la herramienta). asegurarse de que el qumico no reaccione con cualquier residuo qumico proveniente de la muestra anterior. Si tiene alguna duda respecto de la compatibilidad qumica, comunquese con el fabricante del contador de partculas.

CONTADORES DE PARTCULAS EN GASES

Los contadores de partculas en gases determinan la pureza de varios gases, tanto inertes como reactivos. Un contador de partculas en gases es un contador de partculas del aire especializado que cuenta partculas sometido a presin. Algunos contadores de partculas en gases pueden tomar muestras a presiones de cilindro (hasta 150 lb-pulg2), mientras que otros son aptos para presiones de funcionamiento (reducidas). La recogida y el anlisis de muestras representativas de gases puede ser dificultoso. Entre los desafos en las fbricas de semiconductores se cuenta la conexin del contador de partculas al suministro de gas. Tpicamente, el suministro de gas se origina en una planta de procesamiento situada fuera de la fbrica de semiconductores, con tuberas de acero inoxidable de dimetro grande que transportan el gas desde la planta a la fbrica. Si la aplicacin requiere el anlisis de partculas en el gas antes de llegar a la fbrica de semiconductores, se deber aadir un puerto de muestreo a los tubos de suministro de gas, donde el contador de partculas puede extraer muestras.

Sin embargo, el gas de los semiconductores no contiene muchas partculas, as que la gravedad y la difusin pueden dificultar mucho la captacin de muestras estadsticamente vlidas de las pocas partculas que estn presentes. El mtodo preferido para la captacin de partculas requiere una conexin de tubo, con el tubo de muestra conectado a sta e insertado en el centro del dimetro del tubo. En general, los contadores de partculas en gases adicionales se colocan cerca de los puntos de uso a modo de comprobacin final de la calidad de los gases. Algunas aplicaciones emplean sistemas de anlisis de gases que constan de un difusor de alta presin "casero conectado a un contador de partculas del aire. Los difusores de alta presin fabricados por Particle Measuring Systems contienen muchas caractersticas registradas que evolucionaron despus de prolongados esfuerzos realizados para analizar el gas ultra limpio. Casi ninguno de los difusores caseros funcionaron en absoluto. Su incapacidad para el conteo a cero cuando se toman muestras de gas filtrado y la aleatoriedad de los conteos de partculas son todos los problemas que los ingenieros de Particle Measuring Systems superaron antes de que aparecieran los difusores de alta presin en el mercado.

Contador de partculas en gases versus contador de partculas del aire con difusor de alta presin Cuando se decida si se va a emplear un contador de partculas en gases de alta presin contra un contador de partculas del aire con difusor de alta presin, considere lo siguiente: Costo del gas (los difusores de alta presin consumen ms gas que lo que analizan) El caudal de muestra deseado (la mayora de los difusores de alta presin slo aceptan presiones de 100 lb-pulg.2) La huella del instrumento (debido a la tubera interna, los contadores de partculas en gases son ms grandes que los contadores de partculas del aire) Sensibilidad al tamao de las partculas/instrumento Opciones de visualizacin de datos
El fabricante de contadores de partculas puede hacer sugerencias relacionadas con la eleccin correcta para su aplicacin de gas presurizado.

Parte V. Integracin de datos

En esta parte se describe cmo las tecnologas de deteccin de partculas funcionan juntas para atender la contaminacin.

Un sistema de monitoreo de plantas (FMS) proporciona comunicaciones de datos y un punto de monitoreo central para todos los contadores de partculas, muestreadores, mltiples, sensores ambientales y otros equipos de evaluacin de microcontaminacin. El FMS recoge y analiza datos de partculas, luego relaciona los datos con los eventos, como puertas o vlvulas abiertas, fallos de los filtros o problemas de flujo. Una planta de fabricacin de productos farmacuticos con salas blancas (figura 6) ilustra los contadores de partculas habitualmente empleados que funcionan dentro de un FMS. A continuacin se ofrece una explicacin detallada de los componentes.

Sistemas de monitoreo de plantas

Figura 6: Planta de fabricacin de productos farmacuticos

Software de los sistemas de gestin de planta (Facility Net)

El software de los sistemas de gestin de planta permite que el operador reciba el estado desde todos los dispositivos conectados. El software posee funciones para disparar alarmas, generar informes y grficos, analizar datos, realizar procesos estadsticos y notificar a usuarios (a travs de correo electrnico o sistemas de buscapersonas) de los problemas que ocurren en la planta. Cada dispositivos de conteo de partculas se conecta al computador del sistema de gestin de planta. En la figura 6, el software Facility Net de Particle Measuring Systems sirve como estacin de control central para cada dispositivo y administra todos los datos recopilados. Otros computadores conectados a la red del sistema de gestin de planta pueden ver los datos en tiempo real. Adems de las caractersticas mencionadas, el software Facility Net puede realizar lo siguiente:

Analizar datos de partculas Hacer un seguimiento de las tendencias en partculas Disparar alarmas locales y/o a distancia si ocurren estos problemas: o Los conteos mximos de partculas exceden los lmites o Las temperaturas exceden los valores mnimo/mximo o La humedad relativa excede los valores mnimo/mximo o Vencimiento de la calibracin o Las medias de partculas exceden los lmites

LiQuilaz (contador de partculas de lquidos) para limpieza de piezas y baos cidos

En esta parte de la planta, un bao cido o los lquidos de proceso requieren comprobacin. El monitoreo de la eficacia del filtro de lquido requiere dos contadores de partculas de lquidos, pero el monitoreo de cido exige un muestreador de lquidos corrosivos. El clculo de la eficacia del filtro es una comparacin entre la cantidad de contaminacin de partculas en el lquido antes del filtrado y la cantidad despus del filtrado. Esta comprobacin determina cundo los filtros deben ser reemplazados, si se ha perforado un orificio en los medios de filtrado o si el lquido est muy sucio para ser empleado.

Contador porttil LASAIR II (contador de partculas del aire)

Este contador de partculas del aire puede determinar fuentes particuladas localizadas, certificar la sala blanca, hacer comprobaciones puntuales de filtros HEPA o determinar la pureza general del aire en la planta. Las inspecciones peridicas de las instalaciones exigen la comprobacin de todos los filtros, as que es imperativo el uso de un contador de partculas del aire.

APSS-200 (contador de partculas de lquidos)

El sistema de muestreo con jeringa APSS-200 est diseado para clasificar por tamao y contar materia particulada en una amplia gama de lquidos. Este sistema toma muestras de lotes pequeos, cumple con todos los requisitos actuales de la comprobacin USP <788> y puede adaptarse a futuros cambios en las regulaciones. A diferencia de las aplicaciones de semiconductores, donde las partculas submicrnicas afectan el producto, las aplicaciones parenterales requieren contadores de partculas que detecten partculas mayores que 2 m.

ENODE (controlador de E/S)

ENODE es un dispositivo modular de Ethernet (en red) que se integra directamente al software Facility Net. El ENODE monitorea entradas digitales y analgicas, contactos de salida de alarmas (digital o rel) y enva los datos al software para su anlisis. Las entradas pueden incluir sensores de temperatura, humedad relativa o interruptores electrnicos que notifican al software cundo una puerta del proceso est abierta. El dispositivo ENODE es la solucin para una amplia gama de aplicaciones de monitoreo y control.

Gestin de proyecto, validacin e instalacin

Cada sistema de contaminacin debe contar con gente que entienda los datos de partculas y proporcione soporte a reas que sufren alta contaminacin particulada. La validacin e instalacin ocurren en las primeras etapas de la integracin del sistema, siendo un organismo externo el encargado de validar, mientras que la instalacin podr estar a cargo de recursos internos o externos. La gestin continua del sistema de control de contaminacin exige experiencia y compromiso por parte del personal responsable de mejorar los procesos.

HandiLaz Mini (contador de partculas del aire manual)

Los contadores de partculas manuales, como el HandiLaz Mini, poseen un diseo ergonmico que les permite adaptarse a la palma de la mano. Los contadores de partculas manuales son fuertes, confiables y ofrecen un valor impresionante a los usuarios interesados en el costo que necesitan realizar comprobaciones puntuales y aislar fuentes localizadas de contaminacin particulada.

IsoAir (contador de partculas del aire)

Las reas que procesan directamente sustancias qumicas o drogas emplean sensores IsoAir para identificar desperfectos en la proteccin de zonas crticas. Estos sensores compactos y sencillos de instalar proporcionan un rendimiento sin precedentes en una caja de acero inoxidable resistente a los qumicos y fcil de desinfectar.

Fabricacin y control de calidad

Ciertas operaciones de ensamblaje, comprobacin y embalaje se realizan dentro de un entorno de sala blanca ISO Clase 5. Los mltiples aerosol, ISP y contadores de partculas monitorean eficazmente estas reas para cumplir con las normas de limpieza.

Airnet (contador de partculas del aire) y AM-II (mltiple aerosol)

Los contadores de partculas y el mltiple, junto con las sondas isocinticas, monitorean las salas blancas ISO Clase 4 5 (FS-209e Clase 10 100), junto con el rea de espacio para equipos ISO Clase 6 (FS-209e Clase 1000). Un mltiple aerosol puede monitorear econmicamente muchas reas diferentes o varios puntos en una misma rea, garantizando muestras estadsticamente vlidas. Por otro lado, los mltiples aerosol no son aptos para todas las aplicaciones puesto que exhiben una cierta de cantidad de prdidas de partculas y retardos de muestreo interno. La prdida de partculas se produce porque los conductos de muestreo del mltiple pueden ser largos (hasta 125 pies). Las partculas mayores a un micrn no se desplazan muy lejos, as que la gravedad y las curvas de los tubos harn que stas se adhieran a la pared interna de la tubera. Los retardos en muestreos internos ocurren cuando el mltiple cambia de un puerto de muestra a otro. Las partculas pueden escapar a la deteccin mientras el mltiple est cambiando puertos de muestreo.

Parte VI. Glosario

acrecin adherencia electrosttica adveccin aerosol aglomeracin agua DI albedo

tendencia de las partculas a la aglomeracin tendencia de las partculas a adherirse a cosas como resultado de la electricidad esttica transporte horizontal de partculas en el aire o en lquidos suspensin de partculas y vapor de agua en el aire juntarse en una masa, como las partculas que se adhieren a una burbuja de gas en un lquido agua desionizada; agua de la cual se ha eliminado un ion, convirtindola en un agente de limpieza agresivo reflexin o brillo de una partcula

analizador de altura de pulso dispositivo que recoge pulsos elctricos y los relaciona con los tamaos relativos de las partculas; abreviatura: PHA anhdrido cavitacin que carece de agua; seco formacin de burbujas en un lquido, a menudo causado por llenar rpidamente una jeringa de muestra o el movimiento del impulsor de una bomba calidad de una sala blanca, expresada en el nmero mximo de partculas de 0,5 m por pie cbico (o metro, en el sistema ISO) haz de luz enfocado de modo tal que los bordes del mismo sean paralelos dispositivo que cuenta partculas conteos de partculas que no estn normalizados para el volumen de muestra transporte vertical de partculas en el aire o en lquidos movimientos de un fluido en un volumen dado lugar de almacenamiento electrnico para el pulso elctrico generado por un fotodetector, a veces llamado canal accin donde las partculas migran de un rea de mayor concentracin a un rea de menor concentracin estado de haber sido secado reflexin de luz mediante el trnsito de una partcula en un haz de lser; un mtodo de conteo de partculas ptico; comparar con extincin

clase colimacin contador de partculas conteos en bruto conveccin corrientes depsito difusin disecado dispersin

doblete espectrmetro estadsticamente vlido extincin

par de partculas que se juntan tipo de contador de partculas que emplea slo el centro del haz de lser para contar partculas una pequea muestra; muestra con contenido particulado que representa el volumen total tcnica de conteo de partculas basada en la iluminacin a contraluz del volumen de visualizacin y el anlisis de las sombras proyectadas por las partculas abreviatura en ingls correspondiente a los filtros de aire particulado de alta eficiencia que eliminan el 99,99% de las partculas mayores que 0,3 micrones abreviatura en ingls para filtros de aire de penetracin ultrabaja que elimina el 99,9997% de partculas mayores que 0,12 micrones cualquier lquido o gas en fluidos, un flujo uniforme, en capas movimiento de aire o fluido violento abreviatura en ingls para sistema de monitoreo de plantas: un sistema de hardware, software y cableado de computador que monitorea y controla el equipo de conteo de partculas en una instalacin dispositivo que detecta luz y la convierte en pulsos elctricos que contiene agua o lquido que no vive, que est muerto no proveniente de una fuente orgnica (animal o vegetal) palabra en latn que significa en el lugar y describe una clase de contador de partculas que observa una pequea parte del volumen de la muestra abreviatura en ingls correspondiente a Organizacin internacional de normalizacin abreviatura en ingls correspondiente a amplificacin de la luz mediante la emisin simulada de radiacin, que es una luz coherente de alta intensidad fluido que no es gaseoso ni slido

filtro HEPA

filtro ULPA fluido flujo laminar flujo turbulento FMS

fotodetector hidratado inerte inorgnico in-situ

ISO LASER

lquido

luz coherente microcontaminacin micrn minientorno mdulo de visualizacin monitor movimiento browniano

haz de luz cuyos fotones tienen las mismas propiedades pticas (longitud de onda, fase y direccin) partculas que son perjudiciales para el proceso de fabricacin forma truncada de la palabra micrmetro, unidad de medida igual a 10-6 metros (1/1000 de un milmetro); smbolo: m una sala blanca en miniatura pequea cmara con ventanas que se instala en un conducto y permite que el haz de lser se refleje a travs tipo de contador de partculas que emplea la anchura total del haz de lser para contar partculas el movimiento browniano es el movimiento aleatorio de partculas pequeas debido a colisiones con molculas, en general, el movimiento browniano influye partculas con un dimetro igual o menor que 0,1 micrones abreviatura en ingls correspondiente a duracin media entre fallas definida como el tiempo (en horas) que posiblemente un componente electrnico o pieza de equipo funcione antes de que falle regulaciones obsoletas del gobierno de los EE.UU. que definieron cmo se clasificaban las salas blancas formateo de datos a fin de que sean tiles otorgndose contexto al volumen que surge de materia viva, ya sea animal o vegetal piezas muy pequeas hechas de diversas sustancias superficie de comprobacin colocada en un entorno limpio para recoger partculas destinadas a una posterior medicin entorno de fabricacin que est diseado para reducir al mnimo la contaminacin particulada mediante el uso de filtros, protocolos y diseo uso de un contador de partculas para seguir las tendencias de largo plazo en la microcontaminacin dentro de un volumen dado ausencia de gas o lquido en un volumen dado irregularidades de temperatura en un volumen de fluido que contribuye al movimiento de fluido que vive

MTBF

Norma federal 209 normalizacin orgnico partculas plato testigo sala blanca

seguimiento de tendencias vaco variacin trmica viable

volumen de visualizacin volumtrico

volumen de aire o lquido que atraviesa el sistema de deteccin de partculas tipo de contador de partculas que analiza toda una muestra