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Jorge De la Torre
Autonomous University of Zacatecas
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All content following this page was uploaded by Jorge De la Torre on 22 April 2018.
RESUMEN
En este trabajo se reportan los resultados obtenidos tras la
fabricación de películas delgadas de nitruro de silicio (SiNx)
realizadas mediante el sistema de deposición química en fase de
vapor asistido por luz ultravioleta (UVCVD). Dicha película de
Nitruro de Silicio (SiNx) presenta posibles aplicaciones para
celdas solares. Estas películas poseen propiedades eléctricas, las
cuales están relacionadas con las nanoestructuras de silicio, y
ésto, como resultado de una variación en el flujo de gases
percusores suministrados (amoniaco y silano), a lo cual se
manejó la hipótesis de que estas nanoestructuras ocasionan la
generación de pares electrón-hueco.
Fig. 1- . Eficiencia de celdas Solares.
Finalmente, este material podría representar una tentativa
opción para el mejoramiento de la eficiencia teórica predicha por
la teoría de Schockley para celdas solares. También se sabe, que el bajo índice de conversión en la
eficiencia de celdas solares de silicio se debe principalmente a
los procesos mostrados a continuación en la Fig. 2. Donde la
INTRODUCTION región marcada como (A) representa los fotones con baja
Actualmente, el mercado de celdas solares se encuentra energía que no son aprovechados por el material semiconductor
dominado por la tecnología del silicio, principalmente debido a y por lo tanto, perdidos. La región marcada como (B) son
los desarrollos que se han ido solidificado en la industria de la aquellos fotones con alta energía que tampoco son
electrónica a lo largo del tiempo. aprovechables por el material semiconductor, y por ende,
también perdidos.
Comercialmente, las celdas solares están constituidas por
silicio, principalmente de silicio monocristalino y policristalino.
Sin embargo, una de las principales desventajas de éste tipo de
tecnología es su baja eficiencia, la cual oscila entre un 15 y 20%
(Fig. 1).
DETALLES EXPERIMENTALES
La película de nitruro de silicio (SiNx) fue crecida en un
sistema UVCVD, sobre un substrato de ITO (oxido conductor
transparente, Fig. 3). El ITO presenta una alta transmisión óptica
(transparente al espectro visible, opaco en el ultra violeta e
infrarrojo cercano) en la región visible y posee una baja
resistividad eléctrica, por lo que resultan adecuados como
electrodos conductores y transparentes. Es un semiconductor Fig
.4 Arreglo esquemático del sistema UVCVD.
tipo n altamente dopado con un gran intervalo de banda de
alrededor de 4eV.
Las muestras fueron caracterizadas eléctricamente utilizando Muestra Pendiente de la recta Resistividad
(m) Eléctrica (1/m)
un medidor de voltaje y corriente de muy alta sensibilidad. El
6ITO-M 0.02087 47.9157 Ω/cm
equipo empleado fue un KEYTHLEY 2420 SourceMeter, en
conjunto con un simulador solar POWER SUPPLY. Modelo 3ITO-M 0.05895 16.9635 Ω/cm
5C1200, el cual genera un haz de luz solar de hasta 500W,
4ITO-M 0.07188 13.9121 Ω/cm
siendo de ayuda para simular la parte visible del espectro
electromagnético.
El mismo proceso se realiza para las muestras 6ITO-M y
RESULTADOS 7ITO-M. Para este caso, ambas muestras conservan el mismo
La caracterización eléctrica fue realizada dentro de las tiempo de depósito (t) y la misma relación de gases (R),
instalaciones de la Universidad Autónoma de Zacatecas, en el variando como factor de depósito la Temperatura (T), tal y como
laboratorio de energías alternas. Dichas pruebas constaron en se puede apreciar en la Fig. 7.
colocar las muestras sobre un soporte, el cuál permita una
posición fija. Una vez asignada la posición a la muestra se le
hace incidir un haz de luz emitido por el simulador solar.
Posteriormente, la muestra se expone perpendicularmente al haz
de luz, se procede a realizar un barrido de voltaje (repitiendo las
pruebas y obteniendo un promedio). Se obtienen gráficas que
pueden ser comparadas de acuerdo a los parámetros de depósito
que se varían. Para la Fig. 6., tenemos que de la TABLA 1.,
tomamos las muestras 3ITO-M, 4ITO-M y 6ITO-M, ya que las
tres muestras presentan un tiempo de depósito (t) y Temperatura
(T) constantes, el único parámetro que se varía es la relación de
gases (R).