“Calibración de Reglas

Clase I
por el Método Interferométrico
Láser”

Lic. LILI JANNET CARRASCO TUESTA

Responsable del Laboratorio de
Longitud y Angulo

Servicio Nacional de Metrología

18 de Mayo del 2012

1
 CONTENIDO
1. Antecedentes

2. Concepto de interferometría

3. Interferómetro láser - SNM INDECOPI

4. Sistema de medición

4. Calibración

5. Estimación de la incertidumbre

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 Antecedentes
• Las reglas clase I para ser calibrados
requieren de un sistema de medición con un
alto nivel de exactitud y precisión.

• En el Servicio Nacional de Metrología del

INDECOPI ha adquirido un sistema de
interferometría láser para poder brindar este
tipo de servicio.

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• El sistema está integrado por una mezcla de
electrónica, programación de aplicaciones de
visión (cámara), diseño mecánico, todo esto
adaptado en una maquina universal de
longitudes (MUL)

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 Porque medir con luz ?

Por que la luz es como una regla con pequeñas

divisiones

λ ~0,5 m

Mediciones por encima de ~ 1 000 m (1 km)

Alta exactitud y versatilidad

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¿ Qué entendemos por sistema Interferométrico Láser ?
Cualquier equipo usado para medición de
desplazamiento basado en interferencia de luz láser.

LASER
Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation
Amplificación de luz por emisión estimulada de radiación

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 ¿Qué es la interferometría Láser?

Es una tecnología que permite medir la distancia

contando el número de las franjas de
interferencia sobre un rayo de luz LASER
durante el movimiento de un espejo reflector
en una distancia dada.
prisma triedro
f2 (reflector)

f1

f2
f1 divisor de haz
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SISTEMA INTERFEROMETRICO LASER

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 SISTEMA INTERFEROMETRICO LASER
SNM - INDECOPI
Marca: Agilent Technologies (HP)
Modelo: 5530

Cabeza láser
Modelo: 5519A

Longitud de onda nominal: 932,9913540 nm

Certificado de Calibración trazable al CEM N° 112226001

Longitud de onda en el vacío

632,991 371 12 nm ( ± 5,1 fm, k = 2)

Error del sistema en la medida de distancias de -4,09 x 10-7 L,

con incertidumbre expandida de U = 2 ((0,04)2 + (4,1 x 10 -7 L)2)1/2
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CARACTERISTICAS TECNICAS

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Sistema automatizado con Interferometría
Láser para calibración de reglas clase I

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 Objetivo

Calibración de reglas por comparación

usando un sistema interferométrico láser.

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 Campo de Aplicación

Este procedimiento se aplica a reglas clase I

con alcance de indicación hasta 1 000 mm.

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 Fundamento del Método

La calibración se basa en la
determinación del error por el
principio de comparación entre la
indicación de la regla y la indicación de
un sistema interferométrico.

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 INSTRUMENTOS
Y EQUIPOS DE MEDICIÓN

Sistema interferométrico con alcance de

medición hasta 1 m, incluye un láser de
He-Ne, un interferómetro, un
retroreflector, un sensor de condiciones
ambientales y un sensor de temperatura
de materiales.

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 Condiciones de calibración

Temperatura ambiente : 20 °C ± 2 °C

Variación de temperatura : Menor a 1 °C/h

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 Procedimiento de Calibración

Consideraciones generales
• Realizar una limpieza de la regla a calibrar I
• Inspección visual
• Estabilidad térmica no menos de 3 h
• Interferómetro láser deberá mantenerse
prendido no menos de una hora
• Registrar todos los datos y observaciones
correspondientes

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 Consideraciones generales
Comprobación de buena operatividad del
sistema interferométrico

• Seguir las instrucciones y recomendaciones

dadas en el manual del fabricante
• Partes ópticas estén alineadas con el cabezal
laser
• Alinear con la cámara de video

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 Procedimiento de calibración
Seleccionar no menos de diez puntos de calibración

Colocar la regla sobre la bancada de acero y ajustar la altura

de la cámara hasta que se visualice la escala de la regla de
forma clara

Realizar la medición en el cero y luego desplazarse hasta el

próximo valor deseado

Considera el centro de la línea de la escala en la regla, para

ello se registran 5 mediciones en un extremo y luego 5
mediciones más en el extremo opuesto. El valor se considera el
promedio de ambos.

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Repetir el paso anterior para los 10 valores
deseados.

La diferencia entre la indicación de la regla y del

interferómetro dará el error de indicación de la
regla.

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 Estimación de la Incertidumbre de la
Medición
Para determinar el valor del error de indicación
se utiliza el siguiente modelo matemático :
E  IR  IL … (1)
Donde :
E Error de indicación
IR Valor de indicación de la regla calibrada
IL Valor de indicación del interferómetro láser

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Luego:
I R : Esta dado por los siguientes términos los
cuales debemos tener en cuenta:
I R  I NR  I NR   ….. ( 2 )
Donde:

IR : Indicación nominal de la regla

 : Coeficiente de expansión térmico promedio del
bloque y del reloj comparador
t : Variación de temperatura del bloque y del
comparador respecto a la temperatura de
referencia.

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 I L : Se calcula mediante la siguiente ecuación:
lk  l j l 2  l1
IL  
2 2
Donde, las lecturas representas a los bordes de los trazos
(siendo la primera y la segunda el trazo de cero),
gráficamente se tiene que:

Siendo j = 3; 5; 7;…; 2n-1 ; y k = 4; 6; 8; … ; 2n; donde n

es el número de puntos considerados. Los valores 1 y 2
representan a la marca de cero en la regla.

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 
I i  I i  I cert  I deriva  I alineación  I div.escala  I abbe  I enrase

Donde:

Ii : Valor promedio de la indicación

I cert : Contribución debida a la calibración del interferómetro.
I deriva : Contribución debida a la deriva del interferómetro.
Ialineación : Corrección debida al error en la alineación respecto al eje de
medición.
Idiv.escala : Contribución debida a la división de escala del interferómetro.
I abbe : Contribución debida al posible error de abbe de la alineación de
la regla con la cámara.
I enrase : Contribución debida al posible error de enrase.

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 Incertidumbre estándar e incertidumbre expandida

El modelo que describe la medición está representado en la

ecuación ( 1 ) que puede ser expresado en su forma funcional
como:

E  f ( I L ; I cert ; I deriva ; I alineación ; I div.escala ; I abbe ; I enrace ;  ; t ) …. ( 3 )

A partir de (3) tenemos que la incertidumbre estándar combinada

del error de indicación E está dada por:
N 2
2  f  2
u c (E)  
i 1

x
 i
 u ( xi ) …. ( 4 )

y simplemente sustituyendo las variables de influencia en lugar de

xi en la ecuación (4), la incertidumbre estándar combinada se
escribe:

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y simplemente sustituyendo las variables de influencia en
lugar de xi en la ecuación (4), la incertidumbre estándar
combinada se escribe:

2
  _
2 2 2
f  f    f    f 
uc (E)     u (I L )  
2 2

2
u (Icert)   
2
u (Ideriva)    u2(Ialineación) 
  Icert   Ideriva Ialineación
 I
 L 
2 2 2 2 2
 f  2  f  2  f  2  f  2  f  2
  u (I ) 
div.escala   u (I abbe)    u (I ) 
enrase   u ( )  t  u (t)......
I
 div.escala I
 abbe I
 enrase     

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Reemplazando en la relación ( 5 ) se tiene :

2
 1  2 _ _ _ _ 
uc (E)    u (Ik )  u2 (I j )  u2 (I2 )  u2 (I1)  u2 (Icert)  u2 (Ideriva)  u2 (Ialineación)  u2 (Idiv.escala)  u2 (Iabbe) 
2

 2  
2
 1 2
 
  u (Ienrace_ k )  u2 (Ienrace_ j )  u2 (Ienrace_ 2 )  u2 (Ienrace_ 1)  (LNRt)2 u2 ( )  (LNR )2u2 (t)...........(6)
 2

Se determinarán cada uno de los términos de incertidumbre

mostrado en (6)

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Reemplazando términos en ( 6 ) se tiene :
2 2
1  S ( I ) 
2
 S ( I j )   S ( I 2 )  2  S ( I1 )  2   U Int.Laser  2  I deriva  2  I alineación  2  I div.escala  2
uc2 ( E )    k        
 n   n   n   n          
2   k   3   2 3   2 3 
 
2 2 2 2 2 2
 I  1  I   I enrase _   I enrase _ 2   I enrase _ 1 
  abbe      enrase _ k   j
     
 2 3   2  6  
  6  
  6  
  6  
 
2 2
6 1   2 2 2 2

2 2 * 1 * 10 C 2  U (t*certf )   t   d t / mt   Utder 
( L t )    ( L )            .....(20)
 3   k 
  3   2 3   3  
 

Por lo tanto la incertidumbre expandida para el valor del

error de indicación de la regla en el alcance de indicación
L estará dada por:
U(E) k*uc(E) ….. ( 21 )

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 Ejemplo de estimación de la
incertidumbre en la calibración de
reglas (utilizando un sistema
interferométrico).

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Datos de entrada para la estimación de la incertidumbre en la calibración de
reglas utilizando un interferómetro

1 Regla
1.1 Longitud máxima 1000 mm
2 Temperatura
2.1 Variación de temperatura 0,330000 °C
2.2 Coeficiente de expansión térmica 0,000012 1/°C

2.3 Incertidumbre del coeficiente de expansión térmica 0,000001 1/°C

2.4 Resolución termómetro 0,010000 °C

2.5 Incertidumbre del termómetro 0,017000 °C
2.6 Deriva del termómetro 0,100000 °C
3 Interferómetro
3.1 Resolución del interferómetro 0,000010 mm

3.2 Repetibilidad 1 0,001685 mm

Repetibilidad 2 0,003043 mm
Repetibilidad j 0,016464 mm

Repetibilidad k 0,014769 mm

3.3 Incertidumbre del interferómetro 0,000001 mm

3.4 Deriva del interferómetro 0,000400 mm

4 Sistema
4.1 Angulo de coseno 0,004000 °

4.2 Altura entre la regla y la cámara 25 mm

4.3 Angulo de la cámara 0,000200 °

4.4 Enrase 1 0,004472 mm

Enrase 2 0,008296 mm
Enrase j 0,039194 mm 34
Enrase k 0,035719 mm
 ESTIMACION DE LA INCERTIDUMBRE DE CALIBRACION DE REGLAS UTILIZANDO UN
INTERFEROMETRO

Magnitud Función Incertidumbre Coef. De Contribucion Peso en

(Fuente de Densidad de Tipica Sensibilidad a Porcentaje
Incertidumbre) Probabilidad Incertidumbre ( %)

Desv. Est. 1 NORMAL 0,00075363 0,5 0,000377 0,09

Desv. Est. 2 NORMAL 0,00136068 0,5 0,000680 0,29

Desv. Est. J NORMAL 0,00736271 0,5 0,003681 8,54

Desv. Est. K NORMAL 0,00660475 0,5 0,003302 6,87

Cert. de patrón NORMAL 0,00000050 1 0,000001 0,00

Deriva de patrón RECTANGULAR 0,00023094 1 0,000231 0,03

Div. de escala RECTANGULAR 0,00000289 1 0,000003 0,00

Coseno RECTANGULAR 0,00230937 1 0,002309 3,36

Abbe RECTANGULAR 0,00144338 1 0,001443 1,31

Enrase 1 RECTANGULAR 0,00182586 0,5 0,000913 0,53

Enrase 2 RECTANGULAR 0,00338678 0,5 0,001693 1,81

Enrase j RECTANGULAR 0,01600094 0,5 0,008000 40,33

Enrase k RECTANGULAR 0,01458226 0,5 0,007291 33,49

Coef. RECTANGULAR 0,00000082 330 0,000269 0,05

Var temp RECTANGULAR 0,19928351 0,0115 0,002292 3,31

E 0,012599 100,00
35
U 25
Presentación de Resultados

ERROR MAXIMO
INDICACION ERROR
PERMISIBLE
DE LA REGLA ENCONTRADO
CLASE I
( mm ) ( µm )
( ± mm )
0 0 0,2
20 -23 0,2
40 -32 0,2

60 -19 0,2
80 -4 0,2
100 -25 0,2
200 4 0,2
400 -38 0,2
600 -21 0,4

800 11 0,4
1000 -19 0,4

Incertidumbre de medición: 25 µm

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 Error de Indicación de la Regla
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
20
Error Encontrado ( µm )

10
0
-10
-20
-30
-40
-50

Indicación de la Regla ( mm )

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MUCHAS GRACIAS
Lic. Lili Jannet Carrasco Tuesta

Responsable del Laboratorio

de Longitud y Angulo

SNM-INDECOPI

Tel.: (51-1) 224-7800 anexo 1668

jcarrasco@indecopi.gob.pe

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