En la fabricacin de circuitos integrados, un parmetro

importante es la velocidad de grabado en el material base, se

busca maximizar la velocidad. Se identificaron 4 factores
para correr el experimento:

Factores de diseo
Gap Presin Flujo Potencia
Nivel A B C D
Bajo (-) 0.80 450 125 275
Alto (+) 1.20 550 200 325

La tabla siguiente tiene los 16 experimentos del diseo.

tomando los signos positivo y negativo, se pueden estimar los
efectos de los factores. El divisor para cada estimacin de
los factores es 8.
Tabla 2.7 Diseo de experimentos 24
Experimento A B C D Vel. grabado
1 (1) -1 -1 -1 -1 550
2 a +1 -1 -1 -1 669
3 b -1 +1 -1 -1 604
4 ab +1 +1 -1 -1 650
5 c -1 -1 +1 -1 633
6 ac +1 -1 +1 -1 642
7 bc -1 +1 +1 -1 601
8 abc +1 +1 +1 -1 635
9 d -1 -1 -1 +1 1037
10 ad +1 -1 -1 +1 749
11 bd -1 +1 -1 +1 1052
12 abd +1 +1 -1 +1 868
13 cd -1 -1 +1 +1 1075
14 acd +1 -1 +1 +1 860
15 bcd -1 +1 +1 +1 1063
16 abcd +1 +1 +1 +1 729

Por ejemplo, la estimacin del efecto del factor A es:

A = (a + ab + ac + abc + ad + abd + acd + abcd (1) b

- c d bd cd bcd ) / 8

A = (669+650+642+635+749+868+860+729-550-604-633-601-1037-
1052-1075-1063) = - 101.625

Lo anterior indica que cambiando el gap de 0.80 a 1.20 cm, se

reduce la velocidad en 101.625 unidades.

La tabla completa de la estimacin de los efectos de los

factores es:

A = -101.625 AD = -153.625
B = -1.625 BD = -0.625
AB = -7.875 ABD = 4.125
C = 7.375 CD = -2.125
AC = -24.875 ACD = 5.625
BC = -43.875 BCD = -25.375
ABC = -15.625 ABCD = -40.125
D = 306.125
Se puede hacer una grfica de probabilidad normal con los
estimados de los efectos, si ninguno de los efectos es
significativo, entonces se comportarn como una muestra
normal aleatoria con distribucin normal con media cero y los
efectos se agruparn a lo largo de la lnea recta. Los
efectos que salen de la lnea recta si son significativos. Si
alguna interaccin se muestra como significativa, no debe
incluirse en el grupo de trminos de error.

En este caso el factor A, D y su interaccin AD fueron

significativos. El anlisis de varianza (ANOVA) confirma esta
hiptesis.

Probabilidad
Normal *D
*
*
*
*
*
*A
*AD

Efectos
En la velocidad de grabado
Fig. 2.10 Grfica en papel normal de los efectos

- D +

601 635 1063 729

633 642 1075 860

C 604 C 1052
B B
550 A 669 1037 A 749

Fig. 2.11 Diseo del experimento, la respuesta en cada caso

se muestra en los vrtices de cada cubo
A continuacin se muestra la tabla de anlisis de varianza
para este ejemplo.

Tabla 2.8 ANOVA del Diseo de experimentos

Fuente de Suma Cuadrado

Variacin de cuadrados gl. medio Fc
A 41,310.563 1 41,310.563 20.28
B 10.563 1 10.563 <1
C 217.563 1 217.563 <1
D 374,850.063 1 374,850.063 183.99
AB 248.063 1 248.063 <1
AC 2,475.063 1 2,475.063 1.21
AD 94,402.563 1 94,402.563 48.79
BC 7,700.063 1 7,700.063 3.78
BD 1.563 1 1.5632 <1
CD 18.063 1 18.063 <1
Error 10,186.815 5 2,037.363
Total 531,420.938

Para la formacin del trmino de error se agruparon las sumas

de cuadrados de las interacciones de tres y cuatro factores.
Investigando las respuestas con las diferentes combinaciones
de A y D se tiene:
Punto ptimo (A-, D+)

Velocidad D+
de grabado

D-

A- A+
Fig. 2.12 Anlisis de los efectos de la interaccin A - D
Considerando slo las variables A, D y su interaccin AD, el
modelo del proceso usando la ecuacin de regresin es el
siguiente:

y 0 1 x1 4 x 4 3 x1 x 4

101.625 306.125 153.625

y 776.0625 x1 x4 x1 x 4
2 2 2

Por ejemplo para A = -1 y D = -1, el valor de prediccin Y

es:

yest = 597

Y los cuatro residuos del experimento en estas condiciones

son:

e1 = 550 597 = -47

e2 = 604 597 = 7
e3 = 638 597 = 36
e4 = 601 597 = 4

De la misma forma se pueden calcular los residuos de las

otras tres combinaciones de A y D. Al graficar los resiudos
en una grafica de probabilidad normal, es satisfactoria.