Introduccin: Recubrimientos y lminas delgadas.

Propiedades y Aplicaciones

DR. J.M. ALBELLA, R. GAGO

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2010

APLICACIONES DE LAS CAPAS DELGADAS

Tools & machine parts

Optics

Selective glass panels

Turbine blades

Automotive & Domestic items

Medical Prosthesis

Electronic components

Decorative tiles

Food packaging

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CARACTERSTICAS DEL SISTEMA RECUBRIMIENTO/SUBSTRATO:

Propiedades de superficie: Propiedades de superficie: Rugosidad Rugosidad No interaccin con atmsfera No interaccin con atmsfera Reflectividad, color, etc. Reflectividad, color, etc. Propiedades de volumen: Propiedades de volumen: Propiedades especficas (mecnicas Propiedades especficas (mecnicas elctricas, mecnicas, pticas, etc. ) elctricas, mecnicas, pticas, etc. ) Composicin y estructura cristalina Composicin y estructura cristalina Espesor Espesor Propiedades de la intercara: Propiedades de la intercara: Adherencia Adherencia Interdifusin Interdifusin Ausencia de tensiones, etc. Ausencia de tensiones, etc.

Recubrimiento

Substrato

Propiedades del substrato: Propiedades del substrato: Compatibilidad con el recubrimiento Compatibilidad con el recubrimiento Propiedades fsico-qumicas adecuadas a Propiedades fsico-qumicas adecuadas a sus funcin (activa o pasiva) sus funcin (activa o pasiva)

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TCNICAS DE PREPARACIN DE CAPAS DELGADAS

Inmersin en caliente (recubrimientos metalrgicos de Zn, Al, Sn sobre Fe) Soldadura (deposito por fusin de un metal) Deposicin en fase vapor Mtodos qumicos o electroqumicos Tratamientos superficiales de difusin (nitruracin, carburacin, etc) Otros (esmaltes, lacas, vidrios, tratamientos qumicos de P, Cr, etc)

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FUNDAMENTO DE LAS TCNICAS DE DEPOSICION DE CAPAS DELGADAS A PARTIR DEL VAPOR

Basadas en la formacin de un vapor del material a depositar, con objeto de que el vapor se condense sobre la superficie del substrato formado una capa delgada Generalmente el proceso ha de realizarse en vaco o en atmsfera controlada para evitar la interaccin del vapor con la atmsfera del aire Esquema:
SUBSTRATO CAMARA DE VACIO RECUBRIMIENTO

FUENTE DE VAPOR

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CLASIFICACIN DE LAS TECNICAS DE DEPOSICIN A PARTIR DEL VAPOR

Tcnicas fsicas (PVD): Se parte de un material slido que se pretende depositar para convertirlo en vapor mediante calentamiento (evaporacin) o bombardeo con iones energticos. Tcnicas qumicas (CVD): Se parte de directamente de los gases (a veces en forma lquida que pasan a estado vapor) los cuales mediante reaccin dan un producto nuevo que se condensa en forma de pelcula delgada sobre el substrato.
Notar Una diferencia esencial entre las tcnicas de PVD y de CVD es que en las primeras el material a depositar ya existe (en forma de slido) mientras que en las segundas el material no existe previamente: se sintetiza mediante reaccin en fase vapor

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TCNICAS DE PREPARACIN DE CAPAS DELGADAS

FASE VAPOR

SOLUCIN

TRAT. SUPERF.

SOL-GEL

ELECTROQUM

DIFUSIN FSICAS (PVD) QUMICAS (CVD)

LSER

IMPLANTACIN

EVAPORN

SPUTTER

T. IONES

PLD
Sin plasma Con plasma

HACES MOLECULAR

ARCO, PROYEC TERM

LPCVD

PECVD (DC, RF, ECR)

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ASPECTOS CRITICOS EN EL DESARROLLO DE APLICACIONES DE LAS CAPAS DELGADAS

APLICACION
Superficies reflectantes, p.e. para espejos de lseres Barreras trmicas para las hlices de turbina Recubrimientos de vlvulas y otros componentes en plantas de gasificacin del carbn Capas duras para herramientas de corte (aumento tiempo de vida y eliminacin de fluidos de refrigeracin) Pared primera en vasijas de reactores nucleares Materiales superconductores en capa delgada Modificacin de membranas para separacin de gases

REQUERIMIENTO
Baja rugosidad Estabilidad qumica a T altas, Baja conductividad trmica Resistencia a la corrosin, Estabilidad qumica a T altas, Resistencia mecnica Estabilidad qumica a T altas, Resistencia mecnica, Dureza, Resistencia al desgaste Estabilidad qumica a T altas Estructura cristalogrfica, Composicin qumica Tamao poro nanomtrico, Estabilidad qumica a T altas, Resistencia mecnica,

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ASPECTOS MAS CRITICOS EN EL DESARROLLO DE APLICACIONES DE LAS CAPAS DELGADAS APLICACION

Modificacin de membranas para separacin de gases Reactores catalticos

REQUERIMIENTO
Tamao poro nanomtrico, Estabilidad qumica a T altas, Resistencia mecnica, Tamao poro nanomtrico, Superficie especifica alta, Actividad qumica Crecimiento epitaxial, Propiedades semiconductoras Espesor nanomtrico, Absorcin y reflexin ptica Biocompatibilidad, Resistencia corrosin y desgaste Estabilidad qumica, Resistencia erosin Espesor nanomtrico

Dispositivos fotovoltaicos en capa delgada Recubrimientos transparentes y fototrmicos para paneles de vidrio arquitectnicos. Implantes biomdicos, rganos artificiales, vlvulas cardacas, etc. Conservacin de materiales del patrimonio artstico Dispositivos electrnicos submicrnicos.

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CARACTERSTICAS GENERALES DE LAS TCNICAS DE PREPARACIN DE CAPAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS

RANGO TPICO DE ESPESORES:

Proyeccin Trmica CVD & PECVD Evapor, Sputter, etc. Sol-Gel Electroqum. IBAD MBE IMPL Espesor (m) 10-1 100 101 102 103 104

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CARACTERSTICAS GENERALES DE LAS TCNICAS DE PREPARACIN DE CAPAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS

RANGO TPICO DE TEMPERATURAS DE PREPARACION:

Proyeccin Trmica PECVD Evaporacin, Sputtering IBAD MBE Sol-Gel Electr. Implant. CVD

200

400

600

800

1000

1200 Temperatura, C

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CRITERIOS DE SELECCION DE LAS TECNICAS DE DEPOSICIN:

Material que ha de ser depositado (composicin, estructura, etc ) Espesor, velocidad de deposicin Limitaciones impuestas por la temperatura de deposicin Adhesin del depsito al substrato Homogeneidad de las capas (espesor, composicin, etc.) Pureza de los materiales de partida Complejidad y coste del equipo Disponibilidad y Problemas de seguridad en el manejo de las materias primas (tcnicas de CVD) Eliminacin de subproductos para evitar la contaminacin

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OBJETIVOS DEL CURSO:

Adquirir informacin sobre una serie de cuestiones relativas al desarrollo de capas delgadas. En particular: Fundamentos de las tcnicas de preparacin y caracterizacin Cual es la tcnica mas apropiada para la preparacin o caracterizacin de un determinado material en forma de capa delgada Cmo influyen los parmetros del proceso de deposicin en los mecanismos de crecimiento. Identificacin de los parmetros mas crticos. Influencia y control de los mecanismos de crecimiento en las propiedades microscpicas de las capas delgadas: composicin, morfologa, estructura, etc. Efecto del substrato en el crecimiento y propiedades de las capas Cmo se determinan las propiedades de las capas delgadas (mecnicas, elctricas, pticas y magnticas) y qu relacin tienen estas propiedades con la microestructura Aplicaciones ms importantes de las capas delgadas

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PROGRAMA:
1. Aspectos Generales
0. Introduccin. Recubrimientos y capas delgadas: Propiedades y Aplicaciones 1. Tcnicas de Vaco 2. Descargas elctricas en medios ionizados: Plasmas

2. Tcnicas Fsicas/Qumicas de Deposicin

3. Tcnicas de deposicin fsica en fase vapor (PVD): I. Evaporacin trmica, arco, proyeccin trmica, etc 4. Tcnicas de PVD: II. Deposicin mediante bombardeo catdico ('sputtering') 5. Tcnicas de PVD: III. Deposicin por haces de iones 6. Tcnicas de PVD: IV. Deposicin epitaxial mediante haces moleculares (MBE) 7. Tcnicas de deposicin qumica en fase vapor (CVD) 8. Mtodos qumicos y electroqumicos de deposicin 9. Preparacin de recubrimientos por Sol-Gel: Aplicaciones en electro-ptica 10. Mecanismos de nucleacin y crecimiento de capas delgadas. Influencia en la morfologa

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PROGRAMA (cont.):
3. Tcnicas de caracterizacin
11. Caracterizacin estructural y morfolgica de lminas delgadas: I. Espectroscopa de electrones y fotones: AES, XPS, RBS, etc 12. Caracterizacin Estructural y Morfolgica de Lminas Delgadas: II Tcnicas de Radiacin Sincrotrn (EXAFS, XANES, PES, etc.) 13. Caracterizacin estructural y morfolgica de lminas delgadas: III. Microscopas electrnica y de efecto tnel: TEM, SEM, STM, AFM, etc. 14. Propiedades mecnicas de recubrimientos y lminas delgadas

4. Propiedades y Aplicaciones
15. Aplicaciones mecnicas de recubrimientos y lminas delgadas 16. Aplicaciones qumicas de los recubrimientos: Proteccin contra la corrosin 17. Aplicaciones de las lminas delgadas en Microelectrnica. 18. Aplicaciones de las lminas delgadas en ptica y Optoelectrnica 19. Propiedades magnticas de capas delgadas. Aplicaciones. 20. Prcticas de Laboratorio: Preparacin de capas delgadas mediante tcnicas de "Sputtering" y CVD (Opcional)

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SISTEMA DE EVALUACIN
A) DIPLOMA CURSO:
Tests de seguimiento: Asistencia: Diario (2 semanas).

Cuestionario de respuestas rpidas (10 min, al principio de cada da)

Obligatoria (salvo casos justificados)

B) MASTER (asignatura INGENIERA DE SUPERFICIES Y

LMINAS DELGADAS) Tests de seguimiento: Asistencia: Trabajo monogrfico tutelado: Diario (solo 1 semana) Obligatoria (solo 1 semana) (salvo casos justificados) Optativo (mejora nota)

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INFORMACIN:

Pagina web: http://www.icmm.csic.es/fis/espa/cursos_f.html Apuntes y bibliografa: http://www.icmm.csic.es/fis/espa/cursos_f.html Libro: LAMINAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS http://www.publicaciones.csic.es Consulta al profesor: J.M. Albella, R. Gago (Despachos 310. 338), ICMM

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