Circuitos integrados

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Edad del oro (mtica) Edad de piedra Edad del bronce Edad del hierro poca actual

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Edad del petrleo?

Edad del silicio?

Edad del silicio

SILICIO: la materia prima es la arena

Obleas (wafers)
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Lingotes de silicio se fabrican n o p Barras se cortan con disco diamantado

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Dimetro 200-250 mm, espesor 0,4 mm

Se pule una cara con polvo de diamante

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Se trata en solucin de H2O2+NH4OH

Se forma xido de aproximadamente 3 nm Protege durante el almacenamiento y transporte

p-Si

Oxidacin: en O2 con H2O

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Oxidacin trmica produce capa de SiO2 amorfo de decenas de nm

h

SiO2

p-Si

.5"

sist

Recubrimiento con pelcula fotosensible

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Espesor decenas-cientos de nm

Mscara opaca con ventanas transparentes

Mscara

Luz ultravioleta polimeriza zona iluminada

Ultravioleta

Se retira la mscara y se lava zona no polimerizada

Polmero

SiO2

Si

Ataque con HF (!): disuelve SiO2

No disuelve polmero ni silicio

p-Si

Dopado selectivo con arsina AsH3, etc...

AsH3

n-Si p-Si

n-Si