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DELTASCOPE® FMP10
ISOSCOPE® FMP10
DUALSCOPE® FMP20
Dokument-Nummer: 901-093
Ausgabedatum: 12-2016
Hersteller:
Helmut Fischer GmbH Telefon: +49 (0) 70 31 3 03 - 0
Institut für Elektronik und Messtechnik Fax: +49 (0) 70 31 3 03 - 710
Industriestraße 21 www.helmut-fischer.de
D-71069 Sindelfingen mail@helmut-fischer.de
© 2016 by Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik, Sindel-
fingen, Deutschland
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PERMASCOPE®, ISOSCOPE® und DUALSCOPE® sind eingetragene Marken
der Firma Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik in
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Bluetooth® ist eine eingetragene Marke der Bluetooth SIG, USA.
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werden, dass eine Bezeichnung ein freier Markenname ist.
1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.1 Symbole und Schreibweisen in der
Bedienungsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.2 Bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.3 Allgemeiner Hinweis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.4 Anforderungen an das Bedienpersonal . . . . . . . . . . . . . 2
1.5 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.6 Handhabung der Sonden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.7 Handhabung, Lagerung und Transport der
Kalibriernormale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.8 Reparaturen am Messgerät . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.9 Garantie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
8 Messen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
8.1 Vorbereiten einer Messung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
8.2 Einflussgrößen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
8.3 Durchführen einer Messung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
8.4 Fehlmessungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
8.5 Messen mit freilaufender Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . 75
9 Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
10 Datenübertragung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
10.1 USB-Verbindung zum PC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
10.2 Installieren der USB-Treiber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
10.3 Übertragung der Messwerte zum Computer . . . . . . . . 83
10.4 Senden vom PC zum Messgerät . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
13 Glossar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
Stichwortverzeichnis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136
Sicherheitshinweise
1.1 Symbole und Schreibweisen in der Bedienungsanleitung
In dieser Bedienungsanleitung werden folgende Symbole und Schreibwei-
sen verwendet:
Kennzeichnet einen Verweis auf eine Seite oder ein Kapitel dieser
Bedienungsanleitung.
Aufzählung.
Die Werte für die gemessenen Schichtdicken und die Texte der Hinweis-
zeilen der Anzeige sind als Beispiele für mögliche Anzeigen zu verstehen.
Es kann durchaus sein, dass andere Werte in der Anzeige oder auf dem
Ausdruck erscheinen, ohne dass falsch vorgegangen wurde.
Das Gerät darf nur von hierfür geschultem Personal bedient wer-
den!
Sicherheitshinweise
EMV
Das Messgerät entspricht dem Gesetz über die elektromagnetische Verträg-
lichkeit von Geräten (2014/30/EU). Die gemessenen Schichtdickenwerte
werden durch die in der Norm EN 61000-6-2 (die Bezug nimmt auf die
Normen EN 61000-4-2, EN 61000-4-3 und EN 61000-4-4) angegebenen
maximalen Werte der dort genannten Störgrößen nicht beeinflusst.
Insbesondere ist das Messgerät sehr gut gegen starke elektromagnetische
Felder (z. B. Motoren, Starkstromleitungen, Rundfunksender) abgeschirmt.
Niederspannung
Das Messgerät entspricht der Niederspannungsrichtlinie 2014/35/EU.
Sonden-
anschluss-
leitung
R 50 mm !
Die Messpole der Sonden werden bei der Messung direkt auf das Messob-
jekt aufgesetzt. Um den Verschleiß der Messpole bei der berührenden Mes-
sung so gering wie möglich zu halten, ist folgendes zu beachten:
Sonden stets zügig, aber dennoch sanft auf die Oberfläche des
Messgegenstandes aufsetzen! Harte Stöße vermeiden!
Sicherheitshinweise
Um den einwandfreien Zustand der Kalibriernormale zu gewährleisten, ist
folgendes zu beachten:
Um den Verschleiß der Kalibriernormale durch die berührende Messung
so gering wie möglich zu halten, sollten sie nur zur Kalibrierung einge-
setzt werden, und nicht für Testmessungen!
1.9 Garantie
In den folgenden Fällen übernimmt die Helmut Fischer GmbH Institut für
Elektronik und Messtechnik keine Garantie:
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung von Messgerät oder Zubehör.
Anschluss von Zubehör, das nicht von der Helmut Fischer GmbH Institut
für Elektronik und Messtechnik empfohlen bzw. zugelassen ist.
Reparaturen oder bauliche Änderungen am Messgerät oder
Zubehör, die von nicht autorisierter Stelle vorgenommen wurden.
Anzeigenelement Erläuterung
Vorhängeschloss:
Batterie:
Batterie muss gewechselt bzw. Akku muss geladen wer-
den, da Spannung unter einen Mindestwert gesunken ist
( ab Seite 22).
Sanduhr:
Messung ist zur Zeit nicht möglich, da geräteinterne Routi-
ne abläuft.
Hinweiszeilen:
...SCOPE ... Gerätetyp
FKA... Version der geräteinternen Software
Taste Funktion
.. beim Normieren:
1x DEL - Löschen des letzten Messwertes,
2x DEL - Löschen der Messreihe des Grundwerkstoffs
.. beim Kalibrieren:
1x DEL - Löschen des letzten Messwertes,
2x DEL - Löschen der Messreihe des aktuellen Kalibriernormals.
Wiederholtes Drücken von DEL: Löschen der Messreihen der vor-
hergehenden Kalibriernormale ( ab Seite 75).
.. in allen Menüs:
DEL - Zurück zum vorhergehenden Menü oder Abbrechen des
Vorganges.
.. und danach :
Beenden der Anzeige des Endergebnisses (Rückkehr zum Mess-
bild) ohne die gespeicherten Werte zu löschen.
.. und danach :
Aufrufen der Funktion "Kalibrierung überprüfen".
5 x ENTER:
Aufrufen der Servicefunktionen
Die Geräteeinstellungen im Menü Servicefunktionen sind durch
ein Passwort geschützt. Nach 5-maligem Drücken von ENTER
wird „157“ angezeigt. Erhöhen Sie diesen Wert durch 2 x
Drücken von auf das werkseitig eingestellte Passwort „159“
und bestätigen Sie mit ENTER.
Zur Kalibrierung werden Kalibriernormale (in Form von Folien oder Hartpa-
pier verschiedener Dicke) eingesetzt, die auf den unbeschichteten Messge-
genstand aufgelegt werden, um eine Schicht mit bekannter Dicke zu simu-
lieren.
Für jeden Sondentyp gibt es einen sondenspezifischen Satz Kalibriernor-
male für die Masterkalibrierung (muss optional bestellt werden) und einen
sondenspezifischen Kalibriernormal-Satz für die Korrekturkalibrierung (im
Lieferumfang einer Sonde enthalten), der speziell für diesen Sondentyp zu-
sammengestellt wurde.
Weitere Kalibriernormale in unterschiedlichen Dicken erhalten Sie auf An-
frage bei der Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik
oder bei Ihrem zuständigen Lieferanten.
Bestell- Referenzfläche
nummer
der Kali-
brierfolie
Foliendicke
Garantie-
fehlergrenze
Die Foliendicke der Kalibriernormale wird bei der Helmut Fischer GmbH In-
stitut für Elektronik und Messtechnik mit einem mechanischen Axialmesstas-
ter bestimmt. Der Axialmesstaster wurde mit Endmaßen des Genauigkeits-
grades I, die gemäß nationalen Normen zertifiziert wurden, auf seine
Funktion überprüft.
Die auf den Kalibriernormalen angegebene Garantiefehlergrenze bezieht
sich nur auf die gekennzeichnete Referenzfläche.
Nach Erhalt der Lieferung sollten Verpackung und Inhalt auf eventuelle Be-
schädigungen geprüft werden. Weisen Verpackung, Messgerät oder Zube-
hör Beschädigungen auf, so sollte die Verpackung aufbewahrt werden. Sie
wird eventuell benötigt, wenn Schadenersatzansprüche gegenüber der
Spedition geltend gemacht werden sollen.
Für den Fall eines späteren Transports ist es ebenfalls empfehlenswert, die
Verpackung aufzubewahren.
2.5.2 Optionen
Als Optionen sind erhältlich:
Verschiedene Messsonden
Folien - auch mit Zertifikat - für die Kalibrierung und zur Über-
prüfung der Kalibrierung
Sondenspezifischer Satz Kalibriernormale für die Masterkalibrierung
- auch mit Zertifikat
Steckerlader für NiMh-Akku
Messstativ V12 zur reproduzierbaren Positionierung von Messson-
den auf dem Messgegenstand
3.2 Wirbelstromverfahren
Durch den Erregerstrom wird ein hochfrequentes Magnetfeld erzeugt, das
im Material Wirbelströme induziert. Die Ausbildung dieser Wirbelströme
ist abhängig vom Abstand (Schichtdicke) zwischen Messsonde und Grund-
werkstoff. Das Messsignal, welches die Rückwirkung des Magnetfeldes der
Wirbelströme auf das ursprüngliche Magnetfeld erfasst, wird in einen
schichtdickenproportionalen Messwert umgewandelt.
Glossar
4.1 Spannungsversorgung
Die Spannungsversorgung für das Messgerät kann auf folgende Arten er-
folgen:
4 x 1,5 V Batterien (AA oder Mignon) oder
Vorgehensweise Batteriewechsel
2. Messgerät mit Geräterückseite nach oben auf den Tisch legen. Batte-
riefachdeckel auf der Rückseite gemäß folgender Abbildung öffnen
und abnehmen.
- - -
-
LR6 1.5V
LR6 1.5V
+
LR6 1.5V
LR6 1.5V
+ + +
Verwenden Sie nur Batterien des Typs MIGNON, 1,5 V, LR6 - AA - AM3 -
MN1500 oder 4 Einzelakkus 1,2 V, HR6 - AA.
Anderenfalls kann es zu Beschädigungen am Gerät kommen.
Anschlussbuchse
Messgerät
Ausnahme: Wenn in der Anzeige das Symbol für das Messverfahren blinkt,
wird die angeschlossene Sonde nicht erkannt. In diesem Fall muss:
die Sonde dem Messgerät zugewiesen werden ( 5.2 ‘Neue Sonde
zuweisen’, ab Seite 33)
Anzeige Erläuterung
eine Zählrate X
Xn und Xs
Das Messgerät schaltet sich automatisch ab, sobald ca. 5 Minuten lang kei-
ne Messung erfolgt oder keine Taste betätigt wird.
4.4 Reinigung
Falls Messgerät oder Zubehör verschmutzt werden sollten, sind sie mit ei-
nem Kunststoffpflegemittel und einem weichen Lappen zu reinigen.
Folgendes sollte bei der Reinigung beachtet werden:
Kurzschlussgefahr!
Wasser oder andere Flüssigkeiten dürfen nicht ins Innere von
Messgerät oder Zubehör gelangen! Messgerät oder Zubehör bei
der Reinigung nicht in Flüssigkeiten tauchen oder legen, um Ver-
schmutzungen durch Einweichen abzulösen! Keine Flüssigkeiten
über Messgerät oder Zubehör schütten!
Keine aggressiven Mittel zur Reinigung des Messgeräts oder des Zube-
hörs verwenden, da sonst das Kunststoffgehäuse angegriffen wird!
Beispiel:
Sonde
FGAB1.3
Mögliche Problemursachen:
Nach einer Reparatur hat die Sonde eine andere Kenn-Nummer erhal-
ten.
Eine neu gekaufte Sonde ist noch nicht zugewiesen worden.
Wird das Messgerät eingschaltet und es ist eine andere als die zuletzt ver-
wendete Sonde angeschlossen erscheint folgende Anzeige:
Isolierschicht (Iso-Schicht)
Nichtferromagnetisches Metall (NF-Schicht)
Ferromagnetischer Grundwerkstoff
brierung
Bei der Schichtdickenmessung beeinflussen viele Faktoren den Messwert
(8.2 ‘Einflussgrößen’, ab Seite 69). Durch Normierung und Kalibrierung
lassen sich diese Einflüsse korrigieren.
Eine Normierung ist ausreichend, wenn sich diese Eigenschaften nur ge-
ringfügig ändern. Eine Normierung sollte grundsätzlich auf der unbeschich-
teten Referenzfläche des aktuellen Messgegenstandes durchgeführt wer-
den.
Sind die Änderungen von Geometrie, magnetischer Permeabilität oder
elektrischer Leitfähigkeit größer und lassen sich durch eine Normierung
nicht mehr korrigieren, so ist eine Korrekturkalibrierung notwendig.
6.4 Normierung
Bei der Normierung wird ein neuer Nullpunkt für die Kalibrierkurve be-
stimmt und im Messgerät gespeichert.
Benötigte Materialien
Referenzteil: unbeschichtetes Teil aus der Produktion.
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[Grundwerkstoff (Fe/NF)]: Messungen sol-
len auf einem unbeschichtetem Messobjekt
(Fe oder NF - Anzeige des Grundwerkstoff-
typs) durchgeführt werden.
Bei Verwendung von Dualsonden wird der
Grundwerkstofftyp erst nach der 1. Mes-
sung angezeigt.
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[Grundwerkstoff]: Messungen sollen auf ei-
nem unbeschichtetem Messobjekt durchge-
führt werden. Der verwendete
Grundwerkstoff (NF) oder (Fe) wird ange-
zeigt.
[Löschen: DEL]: Löschen des letzten Mess-
wertes mit DEL, 2x DEL löscht alle für die
Normierung aufgenommenen Messwerte.
[OK: ENTER]: Normierung kann mit ENTER
beendet werden.
6.5 Korrekturkalibrierung
Bei einer Korrekturkalibrierung werden ein neuer Nullpunkt und ein weite-
rer Punkt (Einpunkt-Kalibrierung mit einem Kalibriernormal) bzw. zwei wei-
tere Punkte (Zweipunkt-Kalibrierung mit zwei Kalibriernormalen) für die Ka-
librierkurve bestimmt und im Messgerät gespeichert.
Benötigte Materialien
Referenzteil (unbeschichtetes Teil aus der Produktion)
Kalibrierfolien (= Kalibriernormale)
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
Bei der Kalibrierung auf Schicht erfolgt ein Abgleich auf den Grundwerk-
stoff durch eine vorhandene Schicht, durch Messung eines auf diese Schicht
aufgelegten Kalibriernormals (Sondenlieferumfang).
Wann durchzuführen
Eine "Kalibrierung auf Schicht" ist dann notwendig, wenn kein unbe-
schichteter Messgegenstand als Referenzteil zur Verfügung steht, z. B.
bei der Eingangskontrolle oder bei Messungen vor Ort.
Beachten Sie, dass eine Kalibrierung auf Schicht keinen so guten Abgleich
auf den Grundwerkstoff ermöglicht, wie eine Kalibrierung mit einem unbe-
schichteten Referenzteil. Der dadurch erhaltene zusätzliche Messfehler
hängt von der bei der Kalibrierung vorliegenden Schichtdicke sowie der
Dicke des verwendeten Kalibriernormals ab, so dass hier kein allgemein-
gültiger Wert für diesen zusätzlichen Messfehler angegeben werden
kann.
Wenn möglich, sollte unbedingt ein unbeschichtetes Referenzteil zur Kali-
brierung verwendet werden.
Benötigte Materialien
Referenzteil (beschichtetes Teil aus der Produktion)
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
3. Berechnen Sie die Differenz der beiden Schichten. Diese muss dann
dem Gravurwert des Kalibriernormals entsprechen.
Liegt die berechnete Differenz (Dicke des Kalibriernormals) innerhalb
der auf dem Normal angegebenen Garantiefehlergrenzen, löschen Sie
die Messwerte der Vergleichsmessungen, bevor Sie mit den Messun-
gen auf Ihren Messgegenständen beginnen.
Liegt die berechnete Differenz nicht innerhalb der Garantiefehlergren-
zen, so führen Sie eine weitere Kalibrierung auf Schicht durch.
Werks-Masterkalibrierung
Eine Masterkalibrierung (Werks-Masterkalibrierung) wird bereits im Hause
Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik mit sehr hoher
Präzision und - je nach Sondentyp - mit mindestens 8 oder mehr Kalibrier-
normalen durchgeführt. Sie ist vom Anwender nicht lösch- oder überschreib-
bar.
Anwender-Masterkalibrierung
Die Anwender-Masterkalibrierung können Sie mit Hilfe von 4 - 8 Kalibrier-
normalen selbst erstellen. Bei Auslieferung einer neuen Sonde ist dieser
Speicher leer. Hat der Anwender, entsprechend der nachfolgend beschrie-
benen Vorgehensweise, eine „eigene“ Masterkalibrierung erstellt, so kann
er diese bei Bedarf überschreiben oder auch löschen.
Zum Erstellen einer Anwender-Masterkalibrierung werden mindestens 4 Ka-
libriernormale benötigt. Diese sind im optionalen, sondenspezifischen Mas-
terkalibriernormalsatz enthalten. Der Xn-Wert jeweils eines dieser Kalibrier-
normale muss in einen der vorgeschriebenen Xn-Bereiche der
Masterkalibrierung fallen, damit alle 4 Xn-Bereiche „besetzt“ sind.
Um in einem bestimmten Messintervall der Sonde die Messgenauigkeit zu
erhöhen, können bis zu 4 weitere Kalibriernormale verwendet werden, de-
ren Dicken in diesem Intervall liegen. Dies bedeutet, dass in einem Xn-Be-
reich der Anwender-Masterkalibrierung bis zu max. 5 Kalibrierstandards
liegen können.
Wird die Anwender-Masterkalibrierung gelöscht und keine neue erstellt, so
wird automatisch wieder mit der Werks-Masterkalibrierung gemessen.
Benötigte Materialien
unbeschichteter Messgegenstand, der den tatsächlich zu messenden
Teilen in Grundwerkstoff und Geometrie entspricht
sondenspezifischer Satz Kalibriernormale (Masterfolien)
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
Wird nach dem Löschen der Masterkalibrierung das Menü durch nochma-
liges Drücken von DEL verlassen, so wird mit der Werks-Masterkalibrie-
rung - noch ohne Korrekturkalibrierung - weitergemessen.
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
Beachten Sie den unter 6.7 auf Seite 53 angegebenen Hinweis bezüglich
der Anzahl der Kalibriernormale.
Wann durchzuführen
Ermittlung des aktuellen Kalibrierzustandes des Messsytems, d. h. wie
genau misst das Messsystem
Ermittlung der Messunsicherheit des Messsystems für die Messaufgabe,
z. B. notwendig für Messungen deren Messunsicherheit entsprechend
des ISO/IEC Guide 98-3 ermittelt werden
Wichtig zu wissen
Mit der Menüfunktion können Sie den Kalibrierzustand und die Mess-
genauigkeit des Messsystems überprüfen. Das Ergebnis der Überprü-
fung gilt nur für die Messaufgabe.
Istim Messgerät eine Korrekturkalibrierung gespeichert, muss die Über-
prüfung unter den gleichen Bedingungen durchgeführt werden, unter
denen die Korrekturkalibrierung durchgeführt wurde. Zum Beispiel bei
ähnlicher Temperatur, mit dem gleichen Kalibriernormal, auf dem glei-
chen Grundwerkstoff usw.
Die ermittelte Messunsicherheit gilt nur für einen kleinen Bereich um
den Referenzwert des Standards, auf dem die Kontrollmessung durch-
geführt wurde. Möchten Sie die Messunsicherheit für einen Messbe-
reich ermitteln, führen Sie Kontrollmessungen auf zwei
Kalibriernormalen durch, die den Messbereich begrenzen. Die Mess-
unsicherheit für diesen Messbereich ermitteln Sie durch eine lineare
Interpolation aus den beiden Messunsicherheiten der Kontrollmessun-
gen auf den zwei Kalibriernormalen.
Genauigkeit
Die Kalibrierungsgenauigkeit ist durch die Unsicherheit des Kalibri-
ernormals begrenzt. Die Unsicherheit der Korrekturkalibrierung kann
nicht kleiner sein als die Unsicherheit der verwendeten Kalibriernor-
male. Um die Kalibrierungsgenauigkeit zu verbessern, müssen Sie
für die Korrekturkalibrierung Kalibriernormale mit kleineren Unsi-
cherheiten verwenden.
Parameter Beschreibung
Kalibrierung ist OK! Der Mittelwert der Kontrollmessung stimmt mit dem
Sollwert (= Referenzwert) des Kalibriernormals im
Rahmen der Unsicherheit (gemäß ISO/IEC Guide
98-3) überein. Das heißt, die Differenz zwischen
dem Mittelwert und dem Sollwert kann nicht von der
vorgegebenen Unsicherheit des Kalibriernormals un-
terschieden werden.
Kalibrierung ist nicht OK! Führen Sie eine neue Korrekturkalibrierung durch, da
der gemessene Mittelwert der Kontrollmessung eine
zu große Abweichung zum Sollwert des Kalibriernor-
mals aufweist. Führen Sie eine neue Korrekturkali-
brierung durch ( siehe Seite 42).
Messen
Bei der Schichtdickenmessung beeinflussen folgende Faktoren den Mess-
wert:
Geometrie des Messgegenstandes (Größe der Referenzfläche = Mess-
fläche, Krümmung, Oberflächenrauhheit, Dicke des Grundwerkstoffs)
Magnetische Permeabilität oder elektrische Leitfähigkeit des Messge-
genstandes
Handhabung der Sonde durch den Bediener, insbesondere beim Auf-
setzen
Messobjekt
Messobjekt
Messen
Bei zylindrischen Prüfteilen:
Sondenpole parallel zur Längsachse aufsetzen!
Beide Sondenpole gleichzeitig und mit gleichem Andruck
aufsetzen!
Bei Prüfteilen, deren Grundwerkstoff eine magnetische Vorzugsrichtung
aufweist, empfiehlt sich die Messwertermittlung durch Mittelwertbil-
dung aus zwei Messungen, wobei die Sonde nach der ersten Messung
um 90° zu drehen ist. Eine magnetische Vorzugsrichtung kann bei-
spielsweise durch mechanische Vorbehandlung des Prüfteils (z. B.:
Walzen oder Ziehen von Blechen) entstehen.
2. Sonde abheben
5. Sonde abheben
3. Sonde drehen
90°
6. Sonde drehen
90°
Messen
Wenn die automatische Messwertübernahme nicht erwünscht ist, wie z. B.
bei der Messung in Rohren, Bohrungen oder Nuten, sollte mit aktiviertem
Externstart und deaktivierter automatischer Messwertübernahme gemessen
werden. (Aktivieren des Externstarts und damit Deaktivieren der automati-
schen Messwertübernahme: Seite 99)
Nach der Messwertübernahme ertönt bei jeder Messung ein akustisches Si-
gnal (sofern es nicht deaktiviert wurde). Dieses Messwertübernahme-Signal
zeigt an, dass das von der Sonde kommende Signal erfasst wurde und die
Sonde wieder vom Prüfteil abgehoben werden kann.
Das Messwertübernahme-Signal kann deaktiviert werden
( 11.5.1 ‘Akustisches Signal’, ab Seite 97).
Die anderen akustischen Signale können nicht deaktiviert werden!
Anzeige Erläuterung
Messen
8.4.1 Löschen von Fehlmessungen
Wenn eine Fehlmessung direkt nach der Messwertübernahme erkannt
wird, kann der Messwert durch Drücken von DEL gelöscht werden.
Durch zweimaliges Drücken von DEL können alle Messwerte gelöscht wer-
den.
kann die Übernahme eines Messwertes mit ENTER oder durch Senden
eines der ASCII-Zeichen “G0”, “ES”, “EN” bzw. des Steuerzeichens
“ESC?” (ESC = ASCII27) über die Schnittstelle ausgelöst werden
( 10.4.2 ‘Steuerbefehle’, ab Seite 84),
kann bei aktiviertem Externstart die Übernahme eines Messwertes auch
mit ausgelöst werden,
können die Servicefunktionen nicht aufgerufen werden!
Messen
Beim Abfahren einer Oberfläche mit aufgesetzter Sonde unterliegen die
Messpole einem erhöhten Verschleiß.
Die letzte Messung, die vor dem Einschalten der „freilaufenden” Anzeige
mit einer Dualsonde durchgeführt wird, legt fest, welches Messverfahren
bei der Messung mit “freilaufender” Anzeige verwendet wird. Welches
Messverfahren bei der letzten Messung verwendet wurde, wird in der An-
zeige angezeigt ( 8.3.4 ‘Anzeige des verwendeten Messverfahrens bei
Messungen mit Dualsonden’, ab Seite 74).
Die automatische Erkennung des Grundwerkstoffs und Auswahl des richti-
gen Messverfahrens ist bei der Messung mit „freilaufender” Anzeige nicht
aktiv!
Wenn vor dem Einschalten der „freilaufenden” Anzeige mit dem magnetin-
duktiven Verfahren gemessen wurde, wird die Messung mit „freilaufender”
Anzeige ebenfalls nach dem magnetinduktiven Verfahren durchgeführt.
Die Dualsonde misst dann nur auf ferromagnetischen Grundwerkstoffen.
Auf anderen Grundwerkstoffen misst die Sonde nicht, d. h. in der Anzeige
bleibt [------] stehen.
Wenn vor dem Einschalten der „freilaufenden” Anzeige mit dem Wirbel-
stromverfahren gemessen wurde, wird die Messung mit „freilaufender” An-
zeige nach dem Wirbelstromverfahren durchgeführt. Die Dualsonde misst
nur auf nichtferromagnetischen Grundwerkstoffen korrekte Messwerte; auf
ferromagnetischen Grundwerkstoffen werden in diesem Fall falsche Mess-
werte aufgenommen.
Falls vor dem Einschalten der „freilaufenden” Anzeige keine Messung
durchgeführt wurde, wird die Messung mit „freilaufender” Anzeige nach
dem magnetinduktiven Verfahren durchgeführt.
Auswertung
Bei der Auswertung werden aus den Messwerten folgende Größen ermittelt
und können angezeigt werden:
Anzahl der ausgewerteten Messwerte,
Mittelwert d. ,
Standardabweichung s ,
Kleinster Messwert,
Spannweite.
Datenübertragung
Für den Anschluss des Messgerätes an einen PC werden Kenntnisse über
die Konfiguration, Bedienung und Programmierung des PCs sowie der ver-
wendeten Software benötigt, die im Bedarfsfall den entsprechenden
Bedienungsanleitungen entnommen werden müssen.
Windows® XP:
Die Meldung zum Windows-Logo-Test ignorieren (Fenster „Hardware-
installation”). Schaltfläche „Installation fortsetzen“ anklicken und Installa-
tion fortsetzen.
Datenübertragung
Es werden Kenntnisse über die Bedienung des Computers sowie der ver-
wendeten Software benötigt, die im Bedarfsfall den entsprechenden
Bedienungsanleitungen entnommen werden müssen.
10.3.1 Online-Betrieb
Bei der Übertragung der Messwerte im On-Line-Betrieb ist das Messgerät
während der Messung mit dem Computer verbunden und die Daten wer-
den sofort (on-line) über die Schnittstelle ausgegeben.
10.3.2 Offline-Betrieb
Im Offline-Betrieb werden die bereits im Messgerät gespeicherten Daten
nachträglich (offline) über die USB-Schnittstelle ausgegeben. Die Ausgabe
der Daten wird durch Drücken von SEND ausgelöst.
10.4.1 Übertragungsformate
Alle Ein- und Ausgabedaten werden als ASCII-Strings übertragen,
gefolgt von CR- und einem LF-Steuerzeichen (Carriage Return Line
Feed; CR = ASCII13, LF = ASCII10).
10.4.2 Steuerbefehle
Durch das Senden der Steuerbefehle vom PC zum Messgerät kann das
Messgerät fremdgesteuert Messwerte und andere Daten senden. Die ange-
forderten Messwerte bzw. Daten werden dann vom Messgerät über die
Schnittstelle gesendet und vom PC empfangen.
Sollte das Senden der Befehle “DAM”, “DAT”, “GAN”, “GBN”, “SAN”,
“SBN”, “SGS” oder “SWA” in einem Fehler resultieren, d. h. die entspre-
chende Funktion kann nicht ausgeführt werden, sendet das Messgerät das
ASCII-Zeichen „NAK” über die Schnittstelle an den Computer zurück.
Antwort: ACK (ASCII6)
Antwort im Fehlerfall: NAK (ASCII21)
Befehl Funktion
Tastenfolge/ Erläuterung
Tätigkeit
11.2 System
11.2.1 Sprache
Wählen Sie keine Sprache aus, deren Schriftzeichen Sie nicht verstehen,
z. B. kyrillisch! Sie könnten sonst Schwierigkeiten haben, wieder in eine
für Sie verständliche Sprache umzuschalten!
oder Immer an
ENTER Nach Bestätigung der Auswahl „immer an“
mit ENTER gelangen Sie sofort zurück ins
Menü, um weitere Einstellungen vorneh-
men zu können.
Der eingeschränkte Bedienmodus bleibt auch nach Aus- und wieder Ein-
schalten des Messgerätes aktiviert.
Die Kombination „Messeffekt aus“ und „Extern Start aus“ ist nicht
zulässig, da sonst keine Messwertübernahme erfolgen kann. Sollte
diese Kombination eingestellt werden, werden die Parameter vom
Messgerät automatisch auf „Messeffekt ein“ und „Extern Start aus“
zurückgesetzt.
Auflösung 0,0 ... 1,0 ... 9,99 10 ... 99,99 100 ... 1000 ...
0,999 999,9 9999
Speicher ist
voll !
Korrekturkalibrierung Korrekturkalibrierung 42
E 011 kann nicht abgeschlos- wiederholen und dabei
sen werden. Messungen korrekt
Meßwert nicht in
Intervall ! Ursache: Messung nicht durchführen(z. B. Son-
korrekt durchgeführt. de nicht vor oder nach
der Messung über dem
Normal schweben las-
sen; Mindest-Abhebe-
abstand einhalten!)
Zweipunkt-Korrekturkali- Korrekturkalibrierung 42
W 005 brierung mit Kalibrier- mit geeigneten Kalibri-
1-Punkt
normalen durchgeführt, ernormalen wiederho-
Kalibrierung ! deren Schichtdicken len.
nicht weit genug ausein- Die Differenz der nor-
ander liegen (wird als mierten Zählraten Xn
Einpunkt-Kalibrierung der beiden Kalibriernor-
übernommen). male muss größer als
0,1 sein:
Xn Kalibriernormal 2
- Xn Kalibriernormal 1
Xn > 0,1
Glossar
Fachbegriffe und Formeln
Abgleich Kalibrierung
Applikation
Messaufgabe des Anwenders.
Applikation wird der Messgerätespeicher genannt, in dem die Koeffizienten
aus der Korrekturkalibrierung/Normierung (Abgleich des Messsystems auf
das Messobjekt / Schicht- / Grundwerkstoffabgleich, Systemabgleich), die
Parametereinstellungen und die Messwerte für eine bestimmte Messaufgabe
des Anwenders gespeichert sind.
Applikationsauswahl
Menüseite(n) im Messgerät, auf der alle bisher angelegten Applikationen
aufgelistet sind. Applikationsauswahl mit Taste APPL No.
Applikationsspeicher
Messgerätespeicher, beinhaltet alle für eine Messaufgabe relevanten Daten
und die Messwerte.
Auswertung
Berechnung von statistischen Größen wie z. B. Mittelwert, Standardabwei-
chung usw. sowie die grafische Darstellung der Messwerte in z. B. einem
Summenhäufigkeitsnetz.
Auswertungsmenü
Auswahlmenü zur Auswertung und Darstellung der Messwerte. Aufruf des
Auswertungsmenüs mit Taste FINAL RES.
Bidirektionaler Datenaustausch
Daten können von beiden Teilnehmern gesendet und empfangen werden
(beispielsweise vom Messgerät zum PC und vom PC zum Messgerät).
Bit
(Binary Digit), Binärziffer. 1 Bit ist die kleinste Darstellungseinheit im binären
Zahlensystem. Der Wert eines Bits kann entweder 0 oder 1 sein. Das Bit als
kleinste Informationseinheit im Computer bildet die Grundlage jedes Com-
putersystems. 8 Bit werden zu einem Byte zusammengefasst und mehrere By-
tes zu einem Wort.
Chi-Quadrat-Test
Statistisch-mathematisches Prüfverfahren zur Feststellung einer vorliegenden
Normalverteilung der Messwerte (bei mehr als 30 Messwerten).
Cp: Fähigkeitsfaktoren
Cpk: Fähigkeitsfaktoren
Cu
Kupfer
S1
d. oder d
Arithmetischer Mittelwert der Einzelmesswerte, arithmetischer Mittelwert (d.,
d ) genannt. Der arithmetische Mittelwert d. ist die Aufsummierung aller Ein-
zelmesswerte di einer Messreihe, geteilt durch die Anzahl der Messungen.
d. Mittelwert
d 1 + d 2 + d 3 + ... + d n
- = 1---
n
d . = ----------------------------------------------------
n n i=1 i
d n Anzahl der Messwerte
di Einzelmesswerte
Differenz
Messabweichung zum Sollwert (= Referenzwert) des Kalibriernormals. Para-
meter im Überprüfungsergebnis der Gerätefunktion "Kalibrierung überprü-
fen"
Betrag der Differenz zwischen dem arithmetischen Mittelwert xm aus der
Kontrollmessung und dem Sollwert xr (= Referenzwert) des Kalibriernormals,
auf dem gemessen wurde. Ixm - xrI, die Angabe gilt nur für die geöffnete Ap-
plikationsdatei, für die die Überprüfung durchgeführt wurde.
DUALSCOPE®
Geschützter Markenname der Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik
und Messtechnik Institut für Elektronik und Messtechnik für das Messgerät.
Glossar
Messwert, der nach einmaligem Messen an der Messstelle ermittelt und an-
gezeigt bzw. ausgedruckt wird.
Endergebnis
Auswertung aller Messwerte oder von ausgewählten Blöcken einer
Applikation (Messaufgabenspeicher).
Externstart
Auslösen der Messwertübernahme durch Drücken der Taste . Nur möglich,
sofern die Funktion Externstart im Gerät aktiviert ist.
Exzess Wölbung
Fähigkeitsfaktoren
Die Prozessfähigkeit wird mit den Faktoren Cp und Cpk beurteilt.
Der Fähigkeitsfaktor Cp ist ein Maß für die Streuung eines Prozesses sowie
für dessen Fähigkeit, Teile gemäß Spezifikation fortwährend herzustellen.
Der Fähigkeitsfaktor Cpk berücksichtigt die Lage des Mittelwertes zu den To-
leranzgrenzen.
OGW – UGW OGW – d .. d .. – UGW
Cp = ------------------------------------ und Cpk = ---------------------------- ; ----------------------------
6 ̂ 3 ̂ 3 ̂
Fe
Magnetisierbares Material aus Stahl oder Eisen.
Fehlertrompete Vergleichspräzision
Freilauf
Kontinuierliche Messwertanzeige bei aufgesetzter Sonde. Einschalten des
Freilaufs mit Taste .
Gauß-Verteilung Normalverteilung
Genauigkeit
Qualitative Bezeichnung für das Ausmaß der Annäherung der Messergeb-
nisse an den wahren Wert. Die Genauigkeit wird üblicherweise unterteilt in
Richtigkeit und Präzision.
Größter Wert
Größter gemessener Wert einer Messreihe.
Grundgesamtheit
Alle zu messenden Teile bzw. Messobjekte. In der Praxis z. B. alle Teile einer
Fertigungseinheit, Charge usw.
GUM
Kurzform für den Leitfaden ISO/IEC Guide 98-3, "Guide to Expression of
Uncertainty in Measurement", in deutsch: "Leitfaden zur Angabe der Unsi-
cherheit beim Messen".
Iso
Isoliermaterial, elektrisch nicht leitend, nicht magnetisierbar.
Kalibrierkurve
(Kennlinie, Masterkennlinie) Quantitativer Zusammenhang zwischen dem
Messsignal der Sonde und einem Maßstab für die Schichtdicke, der durch
Kalibrierstandards repräsentiert wird.
log d
Die Schichtdicke d wird in Abhängigkeit von
der normierten Zählrate Xn als Kalibrierkurve
dargestellt. Der mittlere Teil der Kalibrier-
kurve bildet annähernd eine Gerade und
stellt den Bereich mit dem kleinsten relativen
Messfehler dar.
Xn
0 1
Solange noch keine Normierung (Schicht-/Grundwerkstoffabgleich, Mess-
systemabgleich) oder Korrekturkalibrierung (Abgleich des Messsystems auf
das Messobjekt) durchgeführt wurde, ist die Kalibrierkurve identisch mit der
Masterkennlinie. Bei einer Normierung oder Korrekturkalibrierung wird die
Kalibrierkurve an die individuelle Messaufgabe angepasst. Die Koeffizienten
der Normierung oder Korrekturkalibrierung werden in der aktiven Applikati-
on (Messaufgabenspeicher) gespeichert.
Kalibrierung
Die Bezeichnung Kalibrierung wird in dieser Bedienungsanleitung als über-
greifender Begriff für die Justage und Kalibrierung verwendet: Abgleich des
Messgeräts mit Kalibrierstandards zur Anpassung des Messsystems (Mess-
Glossar
Kalibrierstandard
(Kalibriernormale, Einstellnormale) Objekt möglichst gleicher Beschaffenheit
wie das Messobjekt, dass sich nur in der Schichtdicke unterscheidet und des-
sen Schichtdicke mit einem möglichst genauen Messverfahren bestimmt wur-
de.Kann auch einen Folie sein.
Kalibriernormale Kalibrierstandard
Kennlinie Kalibrierkurve
Kleinster Wert
Kleinster gemessener Wert einer Messreihe.
Kolmogoroff-Smirnoff-Test
Statistisch-mathematisches Prüfverfahren zur Feststellung einer vorliegenden
Normalverteilung der Messwerte (für 5 bis 30 Messwerte).
Kontrolle
Ein wesentlicher Bestandteil der Messmittelüberwachung. Sie erfolgt mittels
Kalibrierstandards oder besser noch mit Vergleichsproben und dient zur
Überprüfung der Kalibrierung und zur Sicherung der Messstabilität.
Korrekturkalibrierung
Einpunkt- oder Zweipunkt-Kalibrierung. Abgleich des Messgeräts mit 1 oder
2 Kalibrierstandards. Die Korrekturkalibrierung umfasst das Kalibrieren und
Justieren.
Bei der Korrekturkalibrierung wird die Masterkennlinie (Kalibrierkurve) an
die individuelle Messaufgabe angepasst. Die dabei erhaltenen Koeffizien-
ten werden in der aktiven Applikation (Messaufgabenspeicher) gespeichert.
Die Masterkennlien selbst bleibt davon unberührt.
Kurtosis Wölbung
eisenhaltiger Grundwerkstoff
Maßeinheit
Einheit, in der die Anzeige des Messwertes erfolgt. In der Schichtdickenmes-
sung sind µm und mils gebräuchlich. 100 µm = 3.9 mils.
Masterkennlinie
(Sondenkennlinie) Urkennlinie des Messsystems. Die Masterkennlinie ist die
Grundlage zur Ermittlung der Messwerte, da sie die Abhängigkeit zwischen
Sondensignal und Schichtdicke wiedergibt. Die Koeffizienten der Master-
kennlinie sind im Sondenstecker gespeichert.
Max
Größter Messwert einer Messreihe.
Maximum Max
Messen
Messen heißt vergleichen!
Verglichen wird das Sondensignal an der Messtelle mit dem Sondensignal
am Kalibrierstandard. Das Messgerät setzt das Sondensignal über die
Kalibrierkurve in das Messergebnis um, und zwar in der eingestellten Maß-
einheit.
Messaufgabe
Eigenschaften des Messobjekts bezüglich Messgröße, Material, geome-
trische Abmessungen, Permeabilität usw. Danach richtet sich die Auswahl
des Messverfahrens, der Messwertdarstellung, der Sonde und des Messge-
rätes.
Messbereich
Bereich zwischen zwei Grenzwerten, innerhalb derer eine Messung mit der
spezifizierten Richtigkeit und Präzision durchführbar ist. Im engeren Sinne ist
Glossar
bereich ist vom Messverfahren, der Bauart der Sonde und auch von der
Messaufgabe abhängig.
Messfehler
Unterschied zwischen dem eigentlichen und dem gemessenen Wert einer
Größe. Bei Messgeräten ist zwischen zufälligen (unvorhersehbaren) und sys-
tematischen (korrigierbaren) Messfehlern zu unterscheiden. Die zufälligen
Messfehler bestimmen die Wiederholpräzision. Die systematischen Messfeh-
ler beeinflussen die Richtigkeit und die Vergleichspräzision. In der Praxis
überwiegen die systematischen Messfehler bei weitem. Systematische Mess-
fehler lassen sich auf 1. fehlerhafte Kalibrierung, 2. Bedienungs- oder per-
sonenbezogene Fehler und 3. Abweichungen der Messbedingungen (Inho-
mogenität, Instabilität, Alterung des Materials usw.) zurückführen. Sie
wirken sich meist in eine Richtung aus. Die Einflüsse 1. und 2. lassen sich
durch entsprechende Handhabung vermeiden oder korrigieren oder im Er-
gebnis berücksichtigen.
Messgenauigkeit Genauigkeit
Messgerätespeicher Applikation
Messmittelüberwachung
Eine Aufgabe der Qualitätssicherung. Sie besteht darin, sich nach festgeleg-
ten Zeitintervallen zu vergewissern, ob das Messmittel (Messgerät, Sonde))
noch richtig arbeitet und korrekt kalibriert ist und gegebenenfalls geeignete
Maßnahmen zu ergreifen (Messgerät neu kalibrieren bzw. reparieren...).
Kontrolle
Messmodus
In diesem Zustand kann das Messgerät Messwerte aufnehmen und anzei-
gen. Die Darstellung im Display erfolgt entsprechend der eingestellten Mess-
wertdarstellung.
Messobjekt
Gegenstand, auf dessen Oberfläche Messungen durchgeführt werden, um
die Schichtdicke zu bestimmen.
Messreihe
Folge von Einzelmesswerten.
Messsonde Sonde
Messstelle
Eine begrenzte und klar definierte Stelle innerhalb der Referenzfläche des
Messobjekts, an der die Schichtdicke bestimmt werden soll.
Messverfahren
Vorgehensweise und Verfahren, um vom Messobjekt Informationen über sei-
ne Eigenschaften zu gewinnen. Das Messverfahren beruht auf naturwissen-
schaftlichen Erkenntnissen und richtet sich nach der Messaufgabe.
Messwert
Zahlenmäßiger Ablesewert eines Messgeräts, ergänzt um die Maßeinheit.
Der Messwert kann aus dem Ergebnis einer Einzelmessung oder als arithme-
tischer Mittelwert der Ergebnisse mehrerer Einzelmessungen (wie z. B. beim
gemittelten Anzeigenwert (i Einzelwerte)) gewonnen werden.
Messwertdarstellung
Art und Weise der Darstellung und Auswertung von Messwerten.
Min
Kleinster Messwert einer Messreihe.
Minimum Min
Mittelwert d. oder d
Mittlere Spannweite R
NE-Metalle
Nicht eisenhaltige, nicht magnetisierbare Metalle.
NF
Nicht magnetisierbares Material.
Ni
Nickel
Normal Kalibrierstandard
Normalverteilung
Gaußsche Normalverteilung, Gauß-Verteilung, Glockenkurve.
Wahrscheinlichkeitsverteilung, die 1794 von C. F. Gauß gefunden wurde.
Wenn eine Größe X normalverteilt ist, dann liegen 68,3 % der beobachte-
ten Werte von X im Intervall der Streuung , um den Mittelwert der Größe
X. D. h., für 68,3 % der beobachteten Werte gilt – X + . Dieses In-
tervall ist in folgender Abbildung durch die grauen Flächen unterhalb der
Kurve gekennzeichnet.
Wahrscheinlichkeit P(X)
verteilung P(X) einer
normalverteilten Größe
X.
- + X
Normierung
Einstellung des Messgeräts auf die Materialeigenschaften des Schicht- und/
oder Grundwerkstoffs (sondenabhängig). Mit einer Normierung wird quasi
der Nullpunkt bzw. Endwert festgelegt. Auf Grund der elektrischen Leitfähig-
keit und Permeabilität der Messobjektwerkstoffe ist eine Normierung für eine
richtige Messung unbedingt erforderlich. Die Koeffizienten der angepassten
Kalibrierkurve werden in der aktiven Applikation (Messaufgabenspeicher)
gespeichert.
Offline
Zustand eines an das Messgerät angeschlossenen Gerätes (Drucker oder
Online
Zustand eines an das Messgerät angeschlossenen Gerätes (Drucker oder
PC), in dem es Daten empfangen kann. Das Gerät ist in diesem Zustand be-
triebsbereit.
Präzision
Übereinstimmung zwischen den einzelnen Messergebnissen bei genau fest-
gelegten Versuchsbedingungen; setzt sich zusammen aus Vergleichs-
präzision und Wiederholpräzision.
Prüfteil Messobjekt
Qualitätssicherung
Alle Maßnahmen in einem Betrieb, die damit zu tun haben, dass eine gere-
gelte Fertigung innerhalb der Qualitätsanforderungen stattfinden kann. Ein
Teilaspekt ist die Qualitätsüberwachung, von der wiederum die Schicht-
dickenmessung ein Teil ist.
R
Die Spannweite (Range) R ist gleich der Differenz zwischen dem größten
Messwert (Maximum) dmax und dem kleinsten Messwert (Minimum) dmin ei-
ner Messreihe.
R = dmax - dmin
Range R
Referenzfläche
Ein definierter Teilbereich der Messobjektoberfläche mit bekannter Schicht-
dicke.
Richtigkeit
Übereinstimmung zwischen "wahrem" Wert und dem Mittelwert der Messer-
gebnisse, die unter praktischen Gegebenheiten unablässig gewonnen wer-
den. Dabei versteht man unter dem "wahren" Wert einen anhand von ma-
thematisch-theoretischen Ansätzen bekannten Wert. Da solche Werte sehr
selten vorliegen, wird üblicherweise ein aus nationalen oder internationalen
Gebrauchsnormalen abgeleiteter Wert als "richtig" angenommen. Dieser
"richtige" Wert wird oft auch als "wahrer" Wert bezeichnet.
s
Die Standardabweichung s ist ein Maß für die Streuung der einzelnen Mess-
werte einer Messreihe um ihren gemeinsamen Mittelwert. Sie ist gleich der
mittleren quadratischen Abweichung der Einzelmesswerte vom Mittelwert
Glossar
s: Standardabweichung
1 - n
d.: Mittelwert über alle Einzelmesswerte
2
s = ----------- d . – d i
n–1 n: Anzahl der Einzelmesswerte
i=1
di: Einzelmesswerte
Schiefe
Maß für die Asymmetrie einer eingipfligen Wahrscheinlichkeitsverteilung
um ihren Mittelwert. Eine positive Schiefe zeigt eine Verteilung an, deren
Gipfel sich mehr zu Werten größer dem Mittelwert hin erstreckt. Eine nega-
tive Schiefe zeigt eine Verteilung an, deren Gipfel sich mehr zu Werten klei-
ner dem Mittelwert hin erstreckt. Bei einer symmetrischen Verteilung ist die
Schiefe gleich Null (Normalverteilung).
Schnittstelle (Interface)
Übergangs- bzw. Verbindungsstelle zwischen Bauteilen, Schaltkreisen oder
Programmen. Über die Schnittstelle erfolgt der Austausch von Daten. Bei se-
riellen Schnittstellen werden die Daten in einzelnen Bits (d. h. ein Bit nach
dem anderen) übertragen, bei parallelen Schnittstellen werden mehrere Bits
gleichzeitig übertragen.
Sonde
Messwertaufnehmer, der aufgrund eines bestimmten Messverfahrens ein
elektrisches Signal an das Gerät liefert. Dieses Signal ist proportional der
Schichtdicke und wird im Messgerät gemäß der Masterkennlinie und den
Normier- und Kalibrierkoeffizienten der aktiven Applikation (Messaufgaben-
Sondenfrequenz
Die Messsonde wird von einem Generator mit einem Wechselstrom be-
stimmter Frequenz gespeist. Die verwendete Frequenz richtet sich nach
Messaufgabe und Sondentyp.
Sondenkennlinie Masterkennlinie
Spannweite R
Standardabweichung s
Statistik
Ergebnis einer Messreihe, d. h. Zusammenfassung einer großen Zahl von
Einzelmesswerten in einige wenige Kenngrößen (z. B. Mittelwert, Stan-
dardabweichung usw.).
Statistische Auswertung
Berechnungen mit den Messwerten nach statistisch-mathematischen Metho-
den.
Stichprobe
Einige Teile aus der Grundgesamtheit. In der Praxis ein kleiner Teil eines Fer-
tigungsloses, der nach Zufallsregeln der Fertigung entnommen wird und des-
sen Messergebnisse auf das Los (Charge, Fertigungseinheit) hochgerechnet
werden.
Stopbit
Wird bei einer asynchronen seriellen Datenübertragung an das zu übertra-
gende Datenwort angeknüpft. Es werden 1 bis 2 Bit logisch Eins verwendet.
Nach den Stoppbits bleibt der Sender logisch Eins bis zum Startbit des
nächsten Zeichens.
Studentfaktor t
t
Der Studentfaktor t kann den gängigen Tabellenwerken (wie z. B. Graf, Hen-
ning, Stange, Wilrich: Formeln und Tabellen der angewandten mathemati-
schen Statistik; Springer-Verlag) entnommen werden und wird wie folgt an-
gegeben:
Teil Messobjekt
Testwert E
Kennzahl für die Messgenauigkeit/Qualität der Kalibrierung. Dieser Test-
wert wird in der Funktion Kalibrierung überprüfen aus den Messwerten der
Kontrollmessung und den Kennwerten des Kalibriernormals, auf dem die
Kontrollmessung durchgeführt wurde, berechnet. Der Testwert ist das Ergeb-
nis aus dem Verhältnis von Differenz zu Unsicherheit (k=2).
E 1: Die Messgenauigkeit ist für dieses Kalibriernormal in Ordnung und
kann durch dieses Normal auch nicht weiter verbessert werden. Die Diffe-
renz zwischen dem Mittelwert aus der Kontrollmessung und dem Sollwert
(= Referenzwert) des Kalibriernormals, auf dem gemessen wurde, kann von
der Unsicherheit der Kalibrierung (Unsicherheit (k=2)) nicht unterschieden
werden.
E > 1: Der Mittelwert aus der Kontrollmessung weist eine zu große Abwei-
chung zum Sollwert des Kalibriernormals auf, auf dem gemessen wurde.
Führen Sie eine Korrekturkalibrierung durch, um die Messgenauigkeit zu
verbessern.
xm – xr
Testwert E = ---------------------------------------------------------------------
-
2 2
U m k=2 + U r k=2
s xm
U m k=2 = 2 t 68,27 %, n - 1 -------------
n
u
Jedes Messgerät liefert zufällige Messfehler ( Genauigkeit). Der vermut-
lich "wahre" Wert () der Messgröße liegt mit einer bestimmten Wahr-
scheinlichkeit (dem Vertrauensniveau) in einem Intervall um den gemessenen
Mittelwert d. einer Messreihe. Das Intervall wird auch als Vertrauensbereich
bezeichnet. Die Grenzen dieses Intervalls haben den Abstand der Messun-
sicherheit u vom Mittelwert .
d. – u d. + u
Unsicherheit (k=2)
Parameter in der Ergebnisanzeige in der Menüfunktion Kalibrierung über-
prüfen. Er gibt die Unsicherheit der Kalibrierung an. Diese kombinierte Un-
sicherheit berücksichtigt die Messunsicherheit (Um) der Kontrollmessung und
die vorgegebene Unsicherheit (Ur) des Kalibriernormals (= Referenzteil) für
ein Vertrauensniveau von 95,45%, entspricht dem Erweiterungsfaktor k=2.
Die Berechnungen erfolgen gemäß ISO/IEC Guide 98-3.
Unsicherheit (k=2) = (Um(k=2))² + (Ur(k=2))²
s xm
U m k=2 = 2 t 68,27 %, n - 1 -------------
n
Um: Messunsicherheit (k=2) der Kontrollmessung, die auf stochastischen Fehlern beruht
t: Studentfaktor (kann gängigen Tabellenwerken wie z. B. "Formeln und Tabellen der angewand-
ten mathematischen Statistik" von Graf, Henning, Stange und Wilrich entnommen werden). Zum
Beispiel ist bei einem 68,27%tigen Vertrauensniveau (k=1) und n = 10 der
Studentfaktor t68,27; 9 = 1,07.
s: Standardabweichung des Mittelwertes xm aus der Kontrollmessung
Glossar
Ur: Vorgegebene Unsicherheit (k=2) des Standards = direkter Eingabewert (U(k=2)) oder bei vor-
gegebener Toleranzangabe erfolgt die Berechnung nach Formel Gl. 1
T: Betrag der vorgegebenen Toleranzangabe des Standards
1,653:Faktor für das Vertrauensniveau von 95.45 % (k=2), der sich aus der Varianz der Rechteckver-
teilung ergibt. Für das Vertrauensniveau von 68,27 % (k=1) ist der Faktor 1.
USB-Schnittstelle
Schnittstelle wird zur Verbindung von Messgerät und PC, Drucker, USB-Stick
und USB-Tastatur eingesetzt.
Varianz
Mittlere quadratische Abweichung. Die Quadratwurzel aus der Varianz
wird Standardabweichung (s) genannt.
s2: Varianz
1 n
2 2
s = ------------ d i – d . d.: Mittelwert der Einzelmesswerte
n–1i=1
di: Einzelmesswerte
n Anzahl der Messwerte
Vergleichspräzision
Bezeichnung für die Unterschiede der einzelnen Messergebnisse unter Ver-
gleichsbedingungen. Vergleichsbedingungen, heißt Messungen an einem
Messobjekt nach einem festgelegten Verfahren, z. B. zu verschiedenen Zeit-
punkten oder mit verschiedenen Messgeräten oder von verschiedenen Beob-
achtern oder an verschiedenen Orten. Messergebnisse, die von verschiede-
nen Personen mit unterschiedlichen Geräten an unterschiedlichen Orten am
identischen Messobjekt gemessen wurden, müssen vergleichbar sein. Die
Vergleichspräzision ist die Grundlage zur Berechnung des Vertrauensbe-
reichs für den Erwartungswert.
Vertrauensbereich u
Vertrauensniveau u
Wiederholbarkeit Wiederholpräzision
Wiederholpräzision
Wiederholtes Messen unter immer gleichbleibenden Bedingungen an der
gleichen Messstelle führt zu zufälligen Abweichungen der Messwerte.
Gleichbleibende Bedingungen heißt, Messungen nach einem festgelegten
Verfahren am identischen Messobjekt, in kurzen Zeitabständen, mit demsel-
ben Messgerät, von demselben Beobachter am selben Ort durchzuführen.
Schichtmaterial
d Grundwerkstoff
induzierte Wirbelströme
Wölbung
Maß wie spitz (Exzess) oder flach (Kurtosis) eine Verteilung im Vergleich zur
Normalverteilung ist. Eine positive Wölbung weist auf eine relativ schmale
und spitze Verteilung hin. Eine negative Wölbung weist auf eine relativ fla-
che und breite Verteilung hin. Bei der Normalverteilung ist die Wölbung
gleich Null.
X Zählrate
XN Zählrate
Glossar
X (Phi). Sondensignal, angezeigt als Anzahl elektrischer Impulse. Phi steht in
direktem Zusammenhang mit der Messgröße. Die Werte für Phi schwanken
zwischen den beiden Extremen Xmin und Xmax.
Die Messwertanzeige der Zählrate X dient in aller Regel dazu festzustellen,
ob für eine spezielle Messaufgabe überhaupt ein Messeffekt zu verzeichnen
ist.
Die Zahlenwerte der normierten Zählrate XN liegen zwischen 0 und 1 und
berechnen sich nach folgender Formel:
Zweipunkt-Kalibrierung Korrekturkalibrierung
V
Varianz 133
Vergleichsmessung 39
Vergleichspräzision 128, 133
Vertrauensbereich u 133
Vertrauensniveau u 133
W
Warnmeldungen 111
Wiederholpräzision 128, 133
Wirbelstromverfahren
amplitudensensitives 134
Wölbung 134
X
Xn 61
Z
Zählrate 135
Zubehör 13
Zweipunktkalibrierung 123
μm 124