Un refinamiento más en la tecnología de semiconductores es el circuito integrado. Al
depositar consecutivamente capas de material y figuras de agua fuerte para definir las trayectorias de la corriente, se pueden combinar las funciones de varios MOSFET, capacitores y resistores en un solo cuadro de material semiconductor, que podrá tener unos pocos milímetros por lado. Un desarrollo de este concepto conduce a los circuitos integrados en gran escala y a la integración muy grande (VLSI, de very-large-scale integration). Las obleas o chips resultantes de circuito integrado son el corazón de todas las calculadoras de bolsillo y las computadoras actuales, sean grandes o pequeñas. Los primeros dispositivos semiconductores se inventaron en 1947. Desde entonces, han revolucionado por completo la industria de la electrónica, gracias a su miniaturización, confiabilidad, rapidez, consumo de energía y costo. Han encontrado aplicaciones en las comunicaciones, los sistemas de cómputo, los sistemas de control y muchas otras áreas. Al transformar esas áreas, han cambiado, y continúan cambiando, la civilización misma.