coti, dentro de los sistemas de vacio, se

hablará de bombas de vacio

Sistemas de vacío

Bombas mecánicas de vacío

Las bombas mecánicas usadas para la creación de vació, en distintos sectores

de la industria, son las llamadas bombas de desplazamiento positivo, que

toman un gran volumen de gas a baja presión y lo comprimen a un volumen

más pequeño con una presión más alta. Algunas bombas mecánicas pueden

ser utilizadas como compresores de aire. Las primeras bombas de vacío eran

las bombas mecánicas. En 1905, Gaede desarrolló una bomba mecánica que

es muy similar a las bombas de paleta rotatorias selladas con aceite utilizadas

actualmente. Muchas bombas mecánicas tienen etapas múltiples que

funcionan con un motor y eje común. Las bombas mecánicas pueden recibir

energía del motor eléctrico por medio de una correa o directamente.

Las bombas mecánicas se usan en sistemas de vacío, con un rango desde

la presión atmosférica, hasta una presión baja (~100 mTorr), en este

valor en los sistemas complejos, se produce un cambio a otro de alto

vació.

Las bombas mecánicas más comunes son las bombas mecánicas selladas

con aceite, tales como la bomba de paleta rotatoria como el mostrado en

la figura 1. Las paletas son mantenidas en contacto con la pared por la

acción de un resorte. Estas bombas están disponibles para la capacidad

de bombeo de 100 cfm (pies cúbicos por minuto).

En el siguiente dibujo, se puede ver con más detalle, algunos componentes

de la bomba, como la válvula de descarga, que permite el flujo de gas en

el sentido de lo que se llama la puerta de descarga, también se aprecia el

cierre entre el rotor y el estator,

 Figura 2. Secuencias de la bomba mecánica de paleta rotatoria. A) Las

paletas deslizantes se mueven cuando el rotor gira, por acción de motor

eléctrico. El volumen entre la entrada y la paleta inferior aumenta, esto

causa que el gas se mueva dentro de esta área desde la entrada. B) El gas

ha sido aislado del sistema de vacío y la paleta comienza a comprimirlo

hacia la válvula de descarga. C) El gas se comprime ligeramente arriba

de la presión atmosférica. La válvula de descarga se abre y el gas sale

fuera de la bomba a través del aceite en el recipiente.

http://www.galileog.com/tecnologia/vacio/bomba_mecanica/bomba_mec

anica.htm#mecanicas

B o m b a s d e pa l e ta s r ota ti v a s s e l l a d a s p or a c ei te
 Conocidas por las siglas OSRV, las bombas

de paletas rotativas selladas por aceite se desarrollaron por primera vez a

principios del siglo XX. Hoy en día, las dos bombas de sellado de aceite

comúnmente utilizadas son las bombas de pistón rotativo, a menudo usadas

para presiones de entrada bajas y cargas de gas ligero, y las de paletas

rotativas, normalmente de tamaño grande y manejadas en aplicaciones

industriales de alta presión de gas y de alta presión de entrada.

B o m b a s s ec a s - m e ca n i s m os d e l i m pi e z a

Las bombas secas no tienen aceite en el volumen de bombeo barrido y usan

una serie de plataformas con pequeñas holguras sin contacto para desplazar

gases/vapores y crear compresión máxima de 10-2 mbar o inferior; Las

frecuencias más altas dan inferiores máximas para reducir de fugas de gases.

Entre las bombas secas podemos diferenciar:

B o m b a s d e d i a f ra g m a
 La bomba de diafragma tiene ultimados del 0,1 mbar.

El cigüeñal gira y la biela tira del diafragma hacia abajo, creando un vacío en

la cámara.

B o m b a s d e d e s pl a za m i en t o c oi n ci d en tes

Son montadas excéntricamente para aislar el gas y transportarlo a un escape

de presión atmosférica.

B o m b a s d e pi s t on es s e c os

Su creación estuvo impulsada el daño ocasionado por las

sustancias químicas utilizadas en el proceso de semiconductores, pues

atacaban al aceite que se utilizaba para lubricar y sellar las bombas. El

principio de funcionamiento de estas bombas es igual al que tienen las bombas

de pistón llenas de aceite. En la versión “seca” el contacto se puede realizar

con revestimientos “sacrificatorios”. A medida que gira el cigüeñal, mueve el

pistón verticalmente a través del cilindro, que atrapa, comprime y luego

descarga el gas de la bomba.

B o m b a s d e r ef u er z o / Ra í ces

Son bombas secundarias sin contacto. Los rotores

atrapan un volumen de aire contra el cuerpo del estátor y lo barren, agotando

el gas en un punto 180º desde la entrada. Los espacios cortos entre los rotores

y el estátor son críticos para atrapar y moverse a través del cuerpo de la

bomba.

B o m b a s tu rb om ol e cu l a res

La configuración interna de una bomba

turbomolecular (secundaria) de compresión puede alcanzar generalmente

UHV y escape aproximadamente a 0,1 mbar. Diferentes configuraciones y

etapas de arrastre compuesto pueden incrementar significativamente los

caudales y las presiones de escape (> 20 mbar).

Las bombas turbomoleculares de rodamiento "convencionales" tienen el rotor

soportado por una combinación de cojinetes engrasados/aceite y de imanes

permanentes.

B o m b a s tu rb o

Surgen como solución a los ataques de las sustancias químicas que sufría las

bombas turbomoleculares, ya que causaban fallas de bombeo en tan solo unas

semanas. El problema se resolvió introduciendo cojinetes magnéticos para

alzar el eje de impulsión de la bomba y eliminar la necesidad de lubricar con

aceite.

B o m b a s reg en e ra t i v a s

Con un mecanismo de bombeo primario, la bomba

regenerativa utiliza un solo rotor de alta velocidad para impartir impulso al

gas, comprimiéndo
https://www.ibericavacuum.com/blogs/news/bombas-de-vacio-

mecanicas-contemporaneas?lang=es

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