Instituto de Ciencia

de Materiales de Madrid
Laboratorio de microscopía
FE-SEM
Principios generales de la Microscopía Electrónica de Barrido Interacción de electrones de alta
(Scanning Electron Microscope, SEM) energía con muestras sólidas
electrones
El microscopio electrónico de barrido, conocido por sus siglas inglesas SEM, utiliza secundarios (SEM) electrones Auger (AES)
0.5 ...5 nm
electrones en lugar de luz para formar una imagen. Para lograrlo, el equipo cuenta electrones
retrodispersados (SEM) rayos X y
con un dispositivo (filamento) que genera un haz de electrones para iluminar la emisión

muestra y con diferentes detectores se recogen después los electrones generados Bremsstrahlung

de la interacción con la superficie de la misma para crear una imagen que refleja
0.5 ~ 4 m
las características superficiales de la misma, pudiendo proporcionar información
de las formas, texturas y composición química de sus constituyentes.

Escala de tamaños capaces de ser visualizados El Microscopio SEM con cañón de emisión de campo (FE-
con diferentes tipos de microscopios SEM)
Los nuevos microscopios SEM trabajan utilizando como fuente de
microscopio electrónico
visión humana
electrones un cañón de emisión de campo (Field Emission Gun,
microscopio electrónico de barrido
microscopio óptico FEG) que proporcionan haces de electrones de alta y baja energía
virus
más focalizados, lo que permite mejorar la resolución espacial,
mol éculas

glóbulos
peque ñas

rojos
átomos

proteínas/enzimas
bacterias pelo
humano minimizar cargas sobre el espécimen a observar, causando además
menos daños en muestras sensibles.

Nuestro equipo FE-SEM FEI Nova Sistema de lentes de un cañón de emisión de campo
microscopio FE-SEM (Field Emission Gun, FEG)
NANOSEM 230 y sus ventajas
filamento emisor

filamento
CAÑÓN DE
Este equipo utiliza un supresor ELECTRONES puerto de
desgasificado
emisor de electrones de emisor
cpsula

tipo Schottky que

supresora
SISTEMA DE
lentes LENTES
optimiza la producción de
base
condensadoras
UNIDAD DE ESCANEO
electrones secundarios y sistema generador
el análisis químico EDX de deflexión

lentes finales

UNIDAD DE
DETECCIÓN
muestra

Los detectores especiales del FEI Nova NANOSEM 230

sistema de
posicionamiento
de la apertura final LVD HELIX BSED STEM vCD

detalle de la cámara de carga y sistema Gracias a los detectores Helix y vCD es posible obtener
de movimiento de la muestra en los 3 imágenes de alta resolución trabajando a bajo vacío y muy bajos
ejes y rotación de la misma kV sin necesidad de metalizar las muestras, lo que permite
visualizar muestras biológicas y materiales de muy diverso tipo
portamuestras típico donde se colocan (polímeros, cerámicas no conductoras, materiales híbridos
las muestras directamente sobre una
organo-inorgánicos, etc.), incluso a la escala nanométrica.
cinta adhesiva de grafito
Ejemplos de materiales visualizados
Jugando con los
Ajuste del en el equipo FE-SEM del ICMM
detectores y los
equipo
aumentos para ver
más detalles
Bolas de estaño
sobre carbón usadas
para alineamiento Imágenes del ala,
de las lentes del cabeza y ojo de
nanopartículas de nanotubos de
equipo para una polilla común
TiO2 sobre sepiolita carbono (MWCNTs)
distintos potenciales (Chryptotermis )
y aumentos con distintos
aumentos

Cristales de MoS2 CaCO 3 biomineralizado

sobre biopolímeros