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INTRODUCCION

Es una tendencia importante en el diseño ingenieril y la


manufactura es el aumento en el número de productos y en los
componentes de productos cuyos tamaños se miden en micras
(1 µm = 1 × 10−3 mm = 1 × 10−6 m). Se han aplicado varios
términos a estos artículos en miniatura.
PRODUCTOS DE MICROSISTEMAS

El diseño de productos que son más pequeños y que están


constituidos con componentes y sub ensambles más pequeños
significa el uso de menos material. En la mayoría de los casos,
los productos más pequeños pueden significar precios más
bajos, debido a que se utiliza menos material.
Tipos de dispositivos de microsistema

Micro sensores: Es un dispositivo que detecta o mide algún


fenómeno físico, como el calor o la presión.
se utilizan para los circuitos integrados. Los sensores de tamaño
microscópico se han creado para medir fuerza, presión,
posición, velocidad, aceleración, temperatura, flujo, etc.

Microactuadores: Un actuador causa un cambio en la posición


o la aplicación de la fuerza. Los ejemplos de microactuadores
incluyen válvulas, posicionadores, interruptores, bombas y
motores rotativos y lineales.
Microestructuras y microcomponentes: Estos términos se
usan para denotar una parte con un tamaño microscópico que
no es un sensor ni un actuador. Los ejemplos de
microestructuras y microcomponentes incluyen engranes, lentes,
espejos, boquillas.

Microsistemas y microinstrumentos: Los microsistemas y


microinstrumentos tienden a ser muy específicos para
determinada aplicación; por ejemplo, micro láseres, analizadores
químicos ópticos y microespectrómetros.
Aplicaciones industriales
Existen muchas áreas problemáticas que pueden abordarse de
mejor manera usando dispositivos muy pequeños. Algunos
ejemplos importantes son los siguientes:

Cabezas de impresión por inyección de tinta


Cabeza de lectura-escritura
magnética de película delgada

Cabezas magnéticas de película delgada:

PROCESOS DE MICROFABRICACIÓN

Muchos de los productos en la tecnología de microsistemas


están basados en silicio, y la mayoría de las técnicas de
procesamiento usadas en la fabricación de microsistemas se
toman de la industria de la microelectrónica.
Procesos con capas de silicio

La fabricación de circuitos integradosComponentes microfabricados


PROCESO LIGA

1) el sustrato de silicio se dopa con boro.


2) se aplica una capa gruesa de silicio sobre la capa dopada
mediante deposición epitaxial.
3) ambos lados se oxidan térmicamente para formar una
resistencia de SiO2 sobre las superficies.
4) el resistente se forma mediante litografía.
5) se usa ataque químico anisotrópico para remover el silicio,
excepto en la capa dopada con boro.
Otros procesos de micro fabricación

Fresado de ultra alta precisión para realizar surcos en un


recubrimiento de aluminio.
Foto fabricación

Este término se aplica a un proceso industrial en el que la


exposición ultravioleta a través de una mascarilla de patrón
causa una modificación significativa en la solubilidad química de
un material óptimamente claro.

En realidad, la foto fabricación precedió al micro procesamiento


del silicio. Ahora, con el crecimiento de la importancia de las
tecnologías de micro fabricación, existe un interés renovado en
la tecnología más antigua.
TECNOLOGÍAS
DE
NANOFABRICACIÓN
La nanotecnología

se refiere a la fabricación y la aplicación de entidades cuyos tamaños de características están en el rango de


alrededor 𝑑𝑒 1 𝑛𝑚 𝑎 100 𝑛𝑚 (1 𝑛𝑚 _ = 10−3 , 𝑚𝑚 _ = 10−6 , 𝑚𝑚 = 10−9 𝑚)

La nanotecnología tiene que ver con objetos que no son mucho más grandes que los átomos y las moléculas
que los forman En la sección 38.1.1 se analizan estos “efectos del tamaño” y cómo se ven afectadas las
propiedades de los materiales cuando las dimensiones de una entidad se miden en nanómetros.
Los campos de la nanociencia y la nanotecnología son interdisciplinarios. Recaen en las contribuciones
sinergísticas de la química, la física, diferentes disciplinas de ingeniería y ciencia de la computación.

Nanociencia es el campo del estudio científico relacionado con objetos en el rango desde 1 hasta 100 nm.
Nanoescala se refiere a las dimensiones dentro de este rango y un poco debajo de él.
Dos ejemplos de materiales recientemente creados en esta categoría son 1) los nanotubos de
carbono (que se analizan en la sección 38.1.3), que poseen alta resistencia y propiedades
electrónicas únicas, y 2) materiales magnetorresistentes para su uso en memorias magnéticas de
alta densidad

La nanotecnología permitirá el desarrollo de clases de materiales completamente nuevas.

La mecánica cuántica: es una rama de la física que tiene que ver con la noción de todas las
formas de energía (por ejemplo, electricidad, luz) que ocurren en unidades discretas o paquetes
cuando se observan a una escala suficientemente pequeña. Las unidades discretas o paquetes se
llaman cuantos, los cuales no pueden subdividirse.
LA IMPORTANCIA DEL TAMAÑO

Uno de los efectos físicos que ocurre con los objetos muy pequeños es que sus propiedades superficiales
se vuelven mucho más importantes en relación con las propiedades de su volumen Considere la razón de
superficie sobre volumen de una cantidad dada de material conforme cambian sus dimensiones.

Se comenzará con un bloque cúbico de material que tiene un metro en cada uno de sus lados.
Su área superficial total es de 6 m2 y su volumen es de 1 m3, lo que resulta en una relación de superficie
sobre volumen de 6 a 1.

Si su mismo volumen de material fuera ahora comprimido en una placa cuadrada de 1 mm de espesor
(0.00004 in, o alrededor de 100 veces más pequeño que el diámetro de un cabello humano), sus
dimensiones serían de 1000 m por lado y su superficie total (superior, inferior y bordes) sería 2 000
000.004 m2 (1000 _ 1000 m2 en cada uno de sus dos lados, más 0.001 m2 en cada uno de los cuatro
bordes

En comparación, la misma relación para un cubo de 1 m de lado es de alrededor de 1027 a 1.


Lo que demuestra este ejercicio numérico es que conforme disminuye el tamaño de un objeto,
acercándose a las dimensiones de nanómetros, las moléculas superficiales se vuelven cada vez más
importantes en relación con las moléculas internas simplemente por su proporción numérica creciente
La mecánica cuántica

es una rama de la física que tiene que ver con la noción de todas las formas de energía (por ejemplo,
electricidad, luz) que ocurren en unidades discretas o paquetes cuando se observan a una escala
suficientemente pequeña

Microscopios de sonda exploratoria


Los microscopios ópticos convencionales usan luz visible enfocada a través de lentes ópticos para
proporcionar imágenes agrandadas de objetos muy pequeños
Sin embargo, la longitud de onda de la luz visible es de 400 a 700 nm, lo cual es mayor que las
dimensiones de los objetos en nanómetros
Los microscopios ópticos más poderosos proporcionan amplificaciones de alrededor de 1 000 veces, lo
que permite resoluciones de alrededor de 0.0002 mm (200 nm).

En la década de 1930 se inventaron los microscopios electrónicos, que permiten visualizar


especímenes utilizando un haz de electrones en lugar de luz
El microscopio de túnel exploratorio (STM, por sus siglas en inglés) fue el primer instrumento de sonda
exploratoria en inventarse. Mide la cantidad de corriente que fluye entre la superficie y la punta de la sonda
hecha de tungsteno
Se llama un instrumento de túnel porque su operación se basa en un fenómeno de mecánica cuántica
conocido como formación de túnel, en el que los electrones individuales en un material sólido pueden saltar
más allá de la superficie del sólido hacia el espacio.

El microscopio de fuerza atómica (AFM, por sus siglas en inglés) utiliza una sonda unida a un voladizo
delicado que se dobla debido a la fuerza ejercida por la superficie en la sonda mientras atraviesa la
superficie del espécimen. La deflexión vertical de la sonda se mide en forma óptica, con base en el patrón
de interferencia de un rayo ligero o la reflexión de un rayo láser en el voladizo.
El microscopio de fuerza magnética (MFM, por sus siglas en inglés) usa una sonda magnética cuya punta
es sensible a las fuerzas magnéticas de los átomos en la superficie del espécimen. Su principio de
operación es similar a la de la cabeza lectora en un reproductor de audiocasetes o una unidad de disco
duro.
BUCKYBOLAS Y NANOTUBOS DE CARBONO

Buckybolas: se refiere a la molécula 𝑐60 , una molécula que contiene exactamente 60 átomos de carbono y que
tiene una forma parecida a una pelota de futbol soccer, como en la figura 38.2. Los 60 átomos están dispuestos
simétricamente en 12 caras pentagonales y 20 caras hexagonales para formar una bola

Estas pelotas moleculares pueden unirse mediante fuerzas de van der Waals (sección 2.2) para formar cristales
cuya estructura reticular es cúbica centrada en la cara

En la actualidad, el 𝐶60 se llama simplemente


fullerenos, que se refiere a cualquier molécula de
carbono hueca y cerrada que consiste en 12 caras
pentagonales y diferentes números de caras
hexagonales. estos son importantes por sus
propiedades eléctricas y la capacidad de alterar estas
propiedades
Un cristal de C60 tiene las propiedades de un aislante. Sin embargo, cuando se dopa con un metal alcalino
como el potasio (para formar K3C60), se transforma en un conductor eléctrico. Aún más, presenta
propiedades de un superconductor a temperaturas de alrededor de 18 K
Los nanotubos de carbono: son otra estructura molecular que consiste en átomos de carbono adheridos en
la forma de un tubo largo. Los átomos pueden disponerse en una serie de configuraciones alternativas, tres
de las cuales se muestran en la figura 38.3

Otra importante propiedad de los nanotubos de


carbono es la emisión de campo, en el cual se
emiten electrones desde los extremos de los
tubos a velocidades muy altas cuando se aplica
un campo eléctrico paralelo al eje de un
nanotubo.
PROCESOS DE NANOFABRICACIÓN
Los procesos de fabricación para los materiales y estructuras a escala nanométrica pueden dividirse en dos
categorías básicas
Enfoques descendentes:
Los enfoques descendentes para fabricar objetos a nanoescala implican el procesamiento de materiales en
volumen (por ejemplo, obleas de silicio) y películas delgadas usando técnicas litográficas como las usadas en
la fabricación de circuitos integrados y microsistemas. Los enfoques descendentes también incluyen otras
técnicas de maquinado de precisión (sección 37.2.3) que se han adaptado para hacer nanoestructuras.
La tecnología que en la actualidad se perfecciona para la fabricación de CI se llama litografía ultravioleta
extrema (EUV, sección 35.3.2). Utiliza luz UV con una longitud de onda de hasta 13 nm, lo cual de hecho cae
dentro del rango de la nanotecnología.
La litografía con haz de electrones: funciona al dirigir un haz de electrones muy enfocado a lo largo del
patrón deseado en la superficie del material, exponiendo de esta manera las áreas superficiales usando un
proceso secuencial sin la necesidad de una mascarilla.
La litografía con haz de electrones y con rayos X se analiza en el contexto del procesamiento de circuitos
integrados

La litografía con rayos X: puede producir patrones con resoluciones de alrededor de 20 nm, y utiliza
técnicas de enmascarado, con lo que es posible la alta producción. Sin embargo, los rayos X son difíciles de
enfocar y requieren impresión por contacto o a proximidad (sección 35.3.1). Además, el equipo para
aplicaciones de producción es costoso y los rayos X son peligrosos para las personas.
La litografía con microimpresión: usa un molde plano con el patrón deseado sobre una cara (es decir, un
estampado) que deforma físicamente la superficie de la resistencia para crear características microscópicas
correspondientes a las regiones sobre la superficie del sustrato que se protegerán mientras que otras
regiones se exponen.

La litografía con nanoimpresión y la impresión por nanocontacto son los mismos procesos básicos
excepto porque las características del patrón tienen proporciones a nanoescala
ENFOQUES DE PROCESAMIENTO ASCENDENTE
En los enfoques ascendentes, los materiales iniciales son átomos, moléculas e iones Los
procesos unen entre sí a la mayoría de estos bloques de construcción, en algunos casos uno
por uno, para fabricar la entidad a nanoescala deseada. Esta sección se divide en tres
técnicas que han recibido una atención considerable en la literatura de nanotecnología: 1)
nanofabricación mediante técnicas de sonda exploratoria, 2) producción de nanotubos de
carbono y 3) autoensamble.

Nanofabricación mediante técnicas de sonda exploratoria: se describen las técnicas de microscopio


de sonda exploratoria en el contexto de la medición y la “observación” de características y objetos a
escala de nanómetros Estos instrumentos usan una sonda de aguja muy aguda para explorar una
superficie desde una distancia de alrededor de un nanómetro por encima de dicha superficie.
El microscopio de túnel exploratorio:
se aplica un voltaje a la sonda, lo que ocasiona que los electrones de la superficie salten hacia la punta de
la sonda. Los electrones que saltan pueden medirse como una corriente eléctrica. Si la punta se mueve a
través de la superficie a una elevación constante por encima de ésta, entonces la corriente será más alta en
las ubicaciones inmediatamente por encima de los átomos superficiales y más baja en los puntos entre los
átomos superficiales
El microscopio de túnel exploratorio también puede usarse para manipular átomos o moléculas individuales
que se adhieren a una superficie de sustrato mediante las fuerzas de adsorción (uniones químicas débiles)

Otra técnica de sonda


exploratoria, que resulta
promisoria para las aplicaciones
prácticas, se llama nanolitografía
de pluma.
la nanolitografía de pluma (DPN, por sus siglas en inglés)
se usa la punta de un microscopio de fuerza atómica para transferir moléculas hacia una superficie de sustrato
por medio de un menisco solvente, como se muestra en la figura 38.6. El proceso es, de alguna manera,
análogo a utilizar una pluma fuente antigua para transferir tinta a una superficie de papel mediante fuerzas
capilares.

La DPN puede usarse para “escribir”


patrones de moléculas sobre una superficie,
donde los patrones tienen dimensiones por
debajo de las micras. Se han reportado
anchos de línea de entre 10 y 15 nm [20].
Producción de nanotubos de carbono.
Los nanotubos de carbono pueden producirse mediante varias técnicas. En los siguientes
párrafos se analizan tres de ellas: 1) evaporación láser, 2) técnicas de arco de carbono y 3)
deposición química de vapor
método de evaporación láser:
es una pieza de trabajo de grafito que contiene pequeñas cantidades de cobalto y níquel
Estas trazas de metal desempeñan el papel de catalizador, actuando como sitios de nucleación
para la formación posterior de los nanotubos.
El grafito se coloca en un tubo de cuarzo que se llena de gas argón y se calienta a 1200 °C (2200
°F).
La técnica de arco de carbono
usa dos electrodos de carbono que tienen diámetros entre 5 y 20 mm y están separados por 1 mm. Los
electrodos se localizan en un contenedor parcialmente evacuado (alrededor de 2/3 de una presión
atmosférica) a través del cual fluye helio.
Para iniciar el proceso, se aplica un voltaje de alrededor de 25 V a través de los dos electrodos, lo que
ocasiona que se expulsen átomos de carbono del electrodo positivo y se transporten al electrodo negativo
donde forman nanotubos.

En el método de deposición química de vapor para producir nanotubos, el material de trabajo inicial es un
gas hidrocarburo como el metano (CH4) El gas se calienta a 1100 °C (2000 °F), con lo que se produce su
descomposición y la liberación de átomos de carbono.
Autoensamble:
Es un proceso fundamental en la naturaleza. La formación natural de una estructura cristalina durante el
enfriamiento lento de minerales fundidos es un ejemplo de autoensamble sin vida.
Entre las características deseables de los procesos atómicos o moleculares de autoensamble en
nanotecnología están:
1) pueden realizarse rápidamente,
2) 2) ocurren de manera automática y no requieren ningún control central,
3) presentan replicación masiva
4) pueden realizarse bajo condiciones ambientales benignas (con presiones iguales o similares a la
atmosférica y a temperatura ambiente).

Un principio subyacente al autoensamble es el principio de energía mínima. Las entidades físicas, como los
átomos y las moléculas, buscan un estado tal que la energía total del sistema del cual forman parte se
minimice. Este principio tiene las siguientes implicaciones para el autoensamble:
1. Debe haber algún mecanismo para el movimiento de las entidades (por ejemplo, átomos, moléculas,
iones) en el sistema, lo que ocasiona que las entidades se acerquen entre sí.
2. Debe haber alguna forma de reconocimiento molecular entre las entidades.
3. El reconocimiento molecular entre las entidades ocasiona que éstas se unan de tal forma que su
ordenamiento físico logre un estado de energía mínima.
En este libro se han encontrado varios casos de autoensamble molecular.
la formación de cristales: La formación de cristales en metales, cerámicos y ciertos polímeros y elementos es
una forma de autoensamble.

Al usar cristal de semilla inicial, se forma silicio fundido muy puro dentro de un sólido cilíndrico grande cuya
estructura reticular repetitiva coincide con la de la semilla a través de su volumen

LA NATIONAL NANOTECHNOLOGY INITIATIVE

En el año 2000, el Congreso de Estados Unidos promulgó una iniciativa nacional sobre
nanotecnología con fondos por 400 millones de dólares y que iniciaría en 2001. Los niveles de los
fondos se han incrementado en lo que ahora se llama la National Nanotechnology Initiative (NNI).
Se han asignado un total de 3 700 millones de dólares a lo largo de un periodo de cuatro años
iniciando en 2005, por lo que éste es el programa de investigación y desarrollo con fondos
federales más grande desde el programa espacial Apoyo.

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