Procesos de dopado

Fernando Daniel Aguirre Sagan

Definicin:

Redistribucin de tomos
desde regiones de alta concentracin de
especies mviles hacia regiones de baja
concentracin.

Difusin

1.

Intersticial: La impureza penetra en el

cristal de forma intersticial y se mueve o
salta a otra posicin intersticial.

Tipos de mecanismos de difusin

2.

Substitucional: Un tomo salta desde

un punto de la red cristalina a otro
adyacente que es necesario que est
vacante.

Tipos de mecanismos de difusin

3.

Mecanismo de patada: Un tomo de

impureza pasa de un lugar intersticial a un
lugar de la red desplazando un tomo.

Tipos de mecanismos de difusin

Los

requerimientos bsicos que debe

cumplir un sistema de difusin son:
Un mtodo para atraer las impurezas
difusoras hacia la oblea
Mantenerlas all durante un tiempo y una
T especfica

Hornos de difusin.

Se

realizan normalmente en tubos

abiertos (los hornos de difusin) en los
que las obleas se colocan en una barquilla
dentro de un tubo horizontal de cuarzo de
alta pureza. El horno se calienta
(mediante arrollamientos resistivos se
controla la T electrnicamente en la zona
central del horno: entre T entre 600 C y
1200 C.

Hornos de difusin.

Se

dopa un substrato mediante un flujo

de iones energticos de la impureza
(obtenidos de un plasma de la misma)
que se proyectan contra la oblea (blanco).

Implantacin inica.

Los

iones de impurezas penetran en el

substrato con una alta energa (velocidad)
y pierden su energa mediante colisiones
con los ncleos y los electrones que
acaban detenindolos.

Implantacin inica.

Los

iones quedan parados a una

determinada distancia de la superficie de
la oblea formado un perfil de
implantacin.

Implantacin inica.

Zona

de focalizacin: El haz de iones

seleccionado y acelerado es focalizado
mediante las correspondientes lentes
electromagnticas, que diminuyen su
divergencia a valores en torno al grado
sexagesimal.

Implantador inico

Zona

de deflexin y barrido: Est formada,

esencialmente, por placas de desviacin
electrosttica.
Separa aquellos iones que han perdido
energa en su camino por colisiones con
residuos de gas o las paredes del
implantador
Realiza irradiacin uniforme de la oblea
mediante un barrido de la misma por el haz.

Implantador inico

Cmara

del blanco. En ella se aloja la

oblea u obleas a implantar y se puede
orientar adecuadamente la muestra con
relacin al haz y, en muchos casos, hacer
un control de temperatura.

Implantador inico