DIAGRAMA DE FLUJO DE

PRUEBA EN MASS SPEC

INICIO

Niveles de vacío
Presión en mangueras < 5 psig
Cámara abierta
¿Pretests ok? LDs3000 ready
La rough pump está prendida o
arranca en la prueba?

Escanear Unidad

No. de serie
¿No. de serie NO invalido, escanear
válido? de nuevo.

SI

Activar opto touch

¿Área de cámara NO
libre?

Se cierra la cámara
(Activar señal XXX)

¿Cámara
cerrada NO
completamente
?
SI

Se carga el coil con

Evacuar cámara
N2 (Se abre válvula
(Abrir válvula XXX)
XXX)

NO NO
NO ¿Timer de NO ¿Presión en la ¿Timer de
¿Presión > XXX
llenado de N2 cámara < evacuación de
psi?
done? XXXmTorr? cámara?

SI SI SI
SI
Timeout de llenado
Se cierra válvula de Timeout de
de N2.
N2 XXX evacuación de
cámara.

Settle time = XXX

F
seg.
F

Se inicia timer XXX Enable Blower

de prueba de
pressure decay

NO ¿Timer de NO
¿Blower at
blower at speed
NO speed?
¿Timer done? done?

SI SI
SI
Timeout de Timer at
Speed.
¿Caida de NO Falla de coil en
presión < XXX Proof Test F
psi?

SI

F
Desfogar presión
del coil (Abrir
Valvula Dump XXX)

NO ¿Timer de NO
¿Presión < XXX
desfogue de
psi?
proof done?

SI SI
Timeout de
Se cierra válvula desfogue de proof
Dump XXX test.

Se evacua el coil
(Abrir válvula Trash F
XXX)

NO

NO ¿Timer de Timeout de
¿Presión < XXX evacuación de evacuación de coil.
mTorr? coil done? SI

SI

F
Se cierra válvula
Trash XXX

Se checa el
background de la
cámara (Abrir
Valvula LDS XXX)

NO
¿Timer Done?

SI

NO Falla por
¿Background <
background alto. F
XXX atm-cc/sec?

SI

El valor leído de
background se hace
0

Se hace prueba de
Squirt (Abrir válvula
XXX)

NO
¿Timer Done?

SI

Cerrar Válvula
Squirt XXX

Falla por fuga

¿Fuga <X.X oz/ NO abrupta en prueba
F
yr? Squirt.

SI

Se llena coil de He
(Abrir válvula He
XXX)

NO
NO ¿Timer de
¿Presión > XXX
llenado de Helio
psi?
done?

SI

Timeout de llenado
Wait time = XXX
de Helio.
seg.

F
Iniciar Prueba Fina

NO
¿Timer Done?

SI

NO
¿Leakrate < Fuga fina.
F
XXX?

SI
NO
NO
¿Leakrate < Fine Test Extended ¿Leakrate < Fuga fina.
¿Timer done?
0.8*XXX? Time XXX?

SI SI

Se hace la
verificación (Abrir F
válvula XXX)

¿Leakrate > 0.5 NO NO

¿Timer de
LR de fuga
verificación
calibrada de
done?
verificación?

SI SI

Timeout de
Cerrar válvula He verificación de
XXX F
helio.

Cerrar válvula de
fuga de verificación
XXX

Cerrar Valvula LDS

XXX
NO

SI
Timer de ¿Timer
Descontaminación descontaminaci Apagar el Blower
de cámara ón done?
NO
¿Sistema de
recuperación de
He habilitado?

SI
Cerrar válvula
Temazcal de
Cámara
Abrir válvula
Recovery XXX

NO
Falla en Cerrar válvula
¿Timer de SI temazcal de Rough
¿Presión < XXX recuperador de
recuperación de F Pump
psi? helio.
helio done?

Revisar si se apaga la rough

Abrir válvula Trash pump

NO

SI Timeout de
¿Presión < XXX ¿Timer de
evacuación final de
mTorr? evacuación final F
coil.
de coil done?

SI

Cerrar válvula Trash Checar si no tenemos que abrir

de nuevo la trash mas adelante

Cerrar válvula
Recovery XXX

Abrir válvula
F
Dump XXX

NO
NO SI
¿Timer de Timeout de venteo
¿Presión < XXX
venteo final de final de coil. F
psi?
coil done?

SI

Ventear cámara
(Abrir válvula
Venteo XXX)

NO
NO SI
¿Presión de la ¿Timer de Timeout de venteo
cámara > XXX venteo de de cámara. F
mTorr? cámara done?

SI

Abrir la cámara

SI

¿Cámara abierta NO ¿Cortina de NO Detener

completamente seguridad movimiento de
? despejada? cámara.

SI

Cerrar válvula Dump

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en DB

FIN