Para mejorar el rendimiento de la imagen en el microscopio electrónico de barrido

(SEM), el tamaño de la sonda de electrones debe reducirse sin causar una pérdida
de corriente de ésta, lo cual se puede lograr aumentando el brillo del cañón de
electrones, para esto puede cambiarse el material del filamento (a hexaboruro de
lantano LaB6) o el mecanismo de emisión (a emisión de campo), el cual está libre
de algunas desventajas que presentan las fuentes termoiónicas (bajo brillo, vida
útil limitada, gran dispersión de energía)

Los nuevos microscopios SEM trabajan utilizando como fuente de electrones un

cañón de emisión de campo (Field Emission Gun, FEG), que proporciona haces
de electrones de alta y baja energía, más focalizados, lo que permite mejorar la
resolución espacial, tener una mayor vida útil, minimizar cargas sobre el
espécimen a observar, causando además menos daños en muestras sensibles.

En el mecanismo de emisión de campo los electrones son extraídos del cátodo por
acción de dos placas que funcionan como ánodos, es decir, cuando el cátodo es
conectado a un potencial negativo relativo al ánodo, el campo eléctrico en la punta
del filamento es tan fuerte que se reduce la barrera que evita que los electrones
salgan de ella y, como resultado, los electrones pueden saltar (efecto tunnel) y
salir del cátodo, sin necesidad de energía térmica para sacar electrones de él. El
tungsteno se usa generalmente como material del cátodo porque es lo
suficientemente fuerte para soportar el alto estrés mecánico producido en la punta
por el campo eléctrico, aunque también se han utilizado nanotubos de carbono y
silicio. Sin embargo, para operar de manera confiable este filamento requiere
trabajar a un vacío muy alto (10 -9 Pa), pues la presencia de pocas moléculas de
gas causan que la corriente emitida sea inestable.

Este tipo de fuente de electrones produce una punta de haz (crossover) después
de pasar por el ánodo con un diámetro mucho menor (10 nm) que el generado por
los filamentos de tungsteno (50 μm) y hexaboruro de lantano (10 μm), logrando
con esto obtener una mejor resolución.
A pesar de que el costo es mayor y también la complejidad, estos microscopios
han encontrado una amplia aplicación en muchos campos de investigación y
tecnología donde son importantes las capacidades de alta resolución y baja
energía del haz.

Ilustración 1. Esquema de la estructura del cátodo de emisión de campo.

Existen tres formas de emisión de campo:

a) Emisor de campo frío (CFE)

Se basa únicamente en el alto campo aplicado para hacer que los
electrones salgan del cable del cátodo. Su nombre es debido a que la
magnitud de la emisión es independiente de la temperatura de la punta.
Los electrones emitidos provienen de un área que tiene un diámetro de
pocos nanómetros y salen como un cono de electrones de varios grados de
ancho. Aunque la corriente emitida total es muy pequeña (1-10 μA), el brillo
de la fuente es del orden de 10 8 A/cm2sr a 20 keV debido al confinamiento
del haz y al tamaño pequeño de la fuente.
 En este tipo de emisor (ilustración 1) el voltaje V 1 entre el primer ánodo y la
punta determina la fuerza de campo disponible para extraer electrones y el
voltaje V0 entre la punta y el segundo ánodo conectado a tierra determina el
voltaje de aceleración del cañón, la relación de estos voltajes (V 1/V0)
cambia las propiedades focales de la lente del cañón.
La emisión de campo frío requiere que la superficie del cátodo esté
atómicamente limpia. Debido a que incluso a vacíos de 10 -5 Pa, se deposita
una monocapa de gas cada segundo, el funcionamiento durante periodos
largos requiere un vacío de alrededor de 10 -9 Pa. Antes de usarse, la punta
se limpia calentándola a una temperatura de aproximadamente 2000°C.
Inicialmente ésta emite con fuerza, pero la emisión decae a medida que se
acumula gas nuevamente. Una vez que se forma esta monocapa, la
emisión vuelve a estabilizarse y permanece prácticamente constante
durante varias horas hasta que se producen inestabilidades y la punta debe
volver a calentarse, repitiéndose el proceso. Después de tiempo, es posible
que el voltaje V1 sea insuficiente para lograr la corriente deseada, así que
será necesario reemplazar la punta.
Las ventajas de este emisor son el tamaño de fuente virtual de 3 a 5 nm,
una dispersión pequeña de energía y la duración de años de la punta.

b) Emisor de campo térmico (TFE)

Un emisor térmico tiene las mismas propiedades que un CFE, con la
diferencia de que funciona a una elevada temperatura, lo que ayuda a que
la punta se mantenga limpia, reduciendo la inestabilidad en condiciones de
vacío degradadas.
Estos emisores pueden incluso funcionar como emisores de campo frío por
un periodo breve al bajar la temperatura.
El tamaño de la fuente virtual de un TFE es el mismo que el de un CFE.
c) Emisor de campo Schottky (SFE)
En este tipo de emisor, el campo en la punta se utiliza principalmente para
reducir la barrera de la función de trabajo efectiva, para reducir aún más
esta función, se deposita ZrO2 en la punta aplanada de un pequeño
dispensador, como resultado, aunque el SFE es una fuente termoiónica, su
brillo y densidad de emisión son comparables con los de un emisor de
campo frío.
Estos cañones son similares a los de otros emisores de campo, sin
embargo, incluyen una rejilla para eliminar la emisión termoiónica no
deseada de las regiones fuera de la punta.
Un cañón de este tipo funciona de manera continua aún cuando no se
extrae corriente de él, garantizando que se mantenga limpio y estable.
El vacío requerido no es tan exigente como el de un emisor de campo frío,
pero un nivel mayor de éste ayudará a la estabilidad a largo plazo, evitando
un exceso de ZrO2 en el cátodo y maximizando el brillo.
El tamaño de la fuente virtual de un SFE es de 20 a 30 nm (debido a que el
radio del extremo de la punta es bastante grande), lo cual puede
representar una ventaja cuando se requiere una amplia gama de tamaños
de puntos.
La dispersión de energía en este tipo de emisor es mayor que en los otros
dos tipos, debido a que la punta se encuentra caliente. En cuanto a la vida
útil, es de aproximadamente 12 a 15 meses.
Las ventajas que presenta son su estabilidad y su capacidad de operar de
manera continua durante periodos largos sin ajuste.
BIBLIOGRAFÍA

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Microscopy and X-Rays Microanalysis (3.a ed.). Kluwer Academic / Plenum

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 González, G., Noguez, E. (2006) Principios de Microscopía Electrónica

Característicos de Barrido y Microanálisis por Rayos X. (1.a ed.).

Departamento de Ingeniería Química Metalúrgica, Universidad Autónoma

de México.