Está en la página 1de 58

2.

Physique et technologie du vide

2.1 Notions de base


2.1.1. Introduction et remarques historiques
2.1.2. Théorie cinétique des gaz
2.1.3 Pression

2.2 Écoulement de gaz


2.2.1 Flux de gaz
2.2.2 Conductance
- Régimes moléculaire
- Régimes visqueux et transitoire
2.2.3 Vitesse de pompage

2.3 Systèmes à vide


2.3.1 Construction des systèmes à vide (poussé, ultra-poussé)
2.3.2 Pompage - principes, pompes primaires et secondaires,
transport/collage des molécules
2.3.3 Mesure de la pression - principes, mesures directes et indirectes
2.3.3 Composants de systèmes à vide - joints, transitions, matériaux
2.3.4 Considérations industrielles

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 1


2. Physique et technologie du vide

2.1 Notions de base


2.1.1 Introduction et remarques historiques

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 2


2. Physique et technologie du vide

Système à vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 3


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 4


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 5


2. Physique et technologie du vide

Expérience de Magdeburg

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 6


2. Physique et technologie du vide

2.1.2. Théorie cinétique des gaz (rappel)


A: Gaz parfait
Loi de Boyle: PV = const. = RoT

( ) RT
Loi générale pour les gaz

PV = W
W = masse
M o

M = masse moléculaire

Nombre de molécules par unité de volume


N
Ro  T ( )
n =  A  P = 9, 656 x 1018 P
T ( )
NA = 6,023 x 1023 molécules par mole – nombre d’Avogadro
Ln = 2,687 x 1019 molécules par cm3 – nombre de Loschmidt

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 7


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 8


2. Physique et technologie du vide

B: Gaz réel

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 9


2. Physique et technologie du vide

Équation pour des gaz réels – Van der Waals

P + A
 ( )
 (V − b ) = R T
V 
2 o

A − correction pour des forces d'attraction


V2
( 3 ) (πξ ) − correction volumique
3

b = 4N A 4
8

ξ – diamètre de la molécule

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 10


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 11


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 12


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 13


2. Physique et technologie du vide

C: Vitesse des molécules


Approximation des gaz idéaux:
• pas de forces entre les molécules
• sphères élastiques indépendants
• distance – large p.r. à la taille
• collisions élastiques continues
• échange d’énergie cinétique

Maxwell-Boltzmann: (2-1)

n nombre de molécules par unité de volume


(v, v + dv) intervalle de vitesse…fraction fv des molécules
M masse moléculaire
T température absolue

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 14


2. Physique et technologie du vide

Vitesse dans une direction :

Vitesse la plus probable – vm:


Vitesse moyenne – v:
Vitesse moyenne quadratique – (v2)

Exemple: Air, T = 300K, v = 4.6 x 104 cm/s

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 15


2. Physique et technologie du vide

Effet de M et T

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 16


2. Physique et technologie du vide

Distribution des vitesses des molécules (exemples pour N2 et He)

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 17


2. Physique et technologie du vide

2.1.3 Pression
2.1.3.1 Notions de base
(2-4)
P = n M v2 / 3 NA = n R T / NA = nkT
NA – nombre d’Avogadro
Unités: 1 Pa = 1 N/m2
1 torr = 1 mm Hg
1 atm = 760 torr
Relations: 1 atm = 1,013 x 106 dynes/cm2 = 1,013 x 105 Pa
1 torr = 1,333 x 103 dynes/cm2 = 133,3 Pa
1 bar = 0,987 atm = 750 torr
Parcours libre moyen – λ

πdc2λn = 1 λ = 1 / π dc2 n

Exemple - air: P= 1 atm, dc = 0,5 nm, λ = 50 nm, ou λ = 0,005 / P [torr]

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 18


2. Physique et technologie du vide

Effet de la température sur le parcours moyen libre

Équation de Sutherland

λ= 1
 2 π nξ 2 1 + C 
 T ( )
λT = λ∞ / 1 + C 
 T

C – Constante de Sutherland
λT − parcours libre à T
λ∞ − parcours libre à T → ∞
ξ - diamètre de la molécule
Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 19
2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 20


2. Physique et technologie du vide

Relation entre les paramètres

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 21


2. Physique et technologie du vide

2.1.3.2 Exemples spéciaux

A: Gamme des pressions


dans difféerents types
d’application

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 22


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 23


2. Physique et technologie du vide

B: L’air et la pression dans l’atmosphère

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 24


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 25


2. Physique et technologie du vide

C: Taux d’impact des molécules sur la surface


∅ - nombre de molécules qui frappent un élément de surface par unité de temps


Φ = ∫ vx dn x
0


M  Mv 2x  RT
Φ=n
2 Π RT ∫0 x  2RT  x
v exp − dv = n
2π M

1
Φ= nv
4

Φ P
= moles/cm2 − s 
NA ( 2 Π MRT) 2
1

P[ torr]
Φ = 3,513 x 10 22
molécules/cm2 − s
(MT)
1
2

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 26


2. Physique et technologie du vide

Exemples
1. Passage à travers d’une ouverture A (cm3):
? taux de départ: ΦΑ
? flux volumique par seconde
dV/dt = Φ A/n = 3,64 x 103 (T/M)1/2 A [cm3/s]
Exemple: Air, 300K, A [cm2], dV/dt = 11,7 A [l/s]
2. Couches de contamination
Formation d’une monocouche de contamination ( ~ 1015 at./cm2)
Temps de contamination caractéristique:

Exposition d’une surface au collage (probabilité = 1):


1 L (Langmuir) = 10-6 torr–s ~ 0,38 monocouche
Air, T=20 degC, 1 atm.....monocouche dans 3,5x10-9 s

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 27


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 28


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 29


2. Physique et technologie du vide

2.2 Écoulement des gaz

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 30


2. Physique et technologie du vide

2.2.1 Régimes d’écoulement

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 31


2. Physique et technologie du vide

Nombre de Knudsen: Nombre de Reynolds:


Kn = λ / D
Re = ρν D
η
(D – diamètre du tuyau, η - viscosité)

Kn

<0,01

0,01<Kn<1
>1

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 32


2. Physique et technologie du vide

2.2.2 Écoulement et conductance dans le régime moléculaire

Taux d’écoulement: Q = C ( P1 − P2 ) [ton − l / s ]


C – conductance

Débit net dans le plan d’un orifice: (φ1 − φ2 ) A [l / s ]


C = 3, 66 (T / M ) 2 A
1
Conductance d’un orifice:

Pour l’air à 300K: C = 11,7 A [l / s ]

Systèmes des conductances:

∑c
1 1
En série: ctot = i
En parallèle:
ctot
= ∑c
i
Analogie avec les circuits électriques

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 33


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 34


2. Physique et technologie du vide

Conductance de différents
systèmes dans le régime
moléculaire

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 35


2. Physique et technologie du vide

Exemple 1:
Jeu de piège froid
(D = 10 cm)

C1 = 919 l / s
C2 = 4065 l / s = C5
C3 = 331 l / s
C4 = 58, 6 l / s
C6 = 303 l / s
Ctot = 40 l / s

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 36


2. Physique et technologie du vide

Exemple 2:
Écoulement à travers un coude (régime moléculaire)

C = 3,81(T / M ) D3 / [ L1 + L2 + 1.33 D ]
1
2

Correspondance à un tuyaux de longueur équivalente:


( L1 + L2 ) < Le < ( L1 + L2 + 1.33D )

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 37


2. Physique et technologie du vide

2.2.2 Écoulement et conductance


dans le régime visqueux

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 38


2. Physique et technologie du vide

1
0,998  mkT  2
Viscosité des gaz η = 2   (Éq. 2.71, Roth)
πξ  π 
[1 poise = 1 gcm-1s-1]
1
avec la correction de Sutherland 0,998  mkT  2

2  
η= πξ  π 
(1 Pa-s = 1 kgm-1s-1 = 10 poise)
 c
 1 + 
 T

Nombre de Reynolds Re = ρν D
η

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 39


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 40


2. Physique et technologie du vide

Conductance d’un orifice:

C=

Conductance et débit d’un


Q = π a 4 /16η L  ( P12 − P22 )
tuyau cylindrique:

= π a 4 / 8η L  P ( P1 − P2 )

C = Q / ( P1 − P2 ) = 3, 27x10-2  D 4 / η L  P

D = 2a [ cm] , P [ten ] , η [ poise] , C [l / S ]


C Aiz ,20 ° C = 182 ( D 4 / L ) P

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 41


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 42


2. Physique et technologie du vide

2.2.3 Écoulement dans le régime transitoire - moléculaire/visqueux

Équation générale pour le flux

Cm = conductance dans le régime moléculaire

Cm = [ 2π RoT / M ] 2 ( D 3 / L )
1 1

6
Cv = conductance dans le régime visqueux

π D4
Cv = P
128η L
Équation de Knudsen:

C = Cm J , où
1+ ( M / RoT ) 2 DP / η
1
Cv
J = +
Cm 1 + 1, 24 ( M / R T ) 1 2 DP / η
o

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 43


2. Physique et technologie du vide

Au point i:

Cv / Cm =  6π / (128η )  [ M / 2π RoT ] 2 DPi = 1


1

= 116 ( T / M ) 2 η
1
PD
i torr − em
D / λi = 13,5

Exemple: Air, T = 20oC

1 + 271DP + 4790 ( DP )
2

J =
1 + 316 DP
−3
PD
i = 13,5 x 5 x 10 = 6,7 x 10 2
torr − em

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 44


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 45


2. Physique et technologie du vide

2.2.3 Vitesse de pompage

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 46


2. Physique et technologie du vide

A: Calcul de la vitesse de pompage


Vitesse de pompage S: volume de gaz qui passe à travers de l’entrée par unité de temps à la
pression P (au niveau de la pompe):

S = Q/P [l / S ]
Sp
Q… débit «sortant» du système S=
P, S… quantité au niveau de l’entrée Sp
1+
C

Sp… vitesse de pompage intrinsèque de la «pompe », Sp = Q/Pp


Qp… débit parasite (dégazage, flux inverse…)

 Qp 
Q = S p P − Q p = S p P 1 − 
 S p 
P 
Q = 0… taux de flux ultime implique P0 (pression ultime)

Q p = S p Po
 P 
Vitesse effective: S = Q / p = S p 1 − o  (S → 0 pour P → Po )
 P
Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 47
2. Physique et technologie du vide

B: Système sans et avec le flux parasite

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 48


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 49


2. Physique et technologie du vide

C: Les sources de flux parasite

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 50


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 51


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 52


2. Physique et technologie du vide

D: Vitesse de pompage effective

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 53


2. Physique et technologie du vide

E: Temps de pompage

d (VP ) dP
Q=− = −V
dt dt
dP ( t )
−V = S p P − Qp
dt

Pi – la pression initiale, P0 – la pression ultime

P ( t ) − Qp / S p P ( t ) − Po  S pt 
= = exp  − 
Pi − Qp / S p Pi − Po  V 

t = (V/S) log (P0/P)

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 54


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 55


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 56


2. Physique et technologie du vide

F: Conception des systèmes à vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 57


2. Physique et technologie du vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 58