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a) Microelectrónica
Es el punto de partida de esta técnica, lo cual explica que las aplicaciones
en este campo sean muy numerosas.
Medida de semiconductores al vacío y ultra-vacío, cristalografía,
estructura, etc.
Nanolitografía, utilización de la punta, no para analizar sino para modificar
las superficies.
Al aire, utilización industrial en substratos con: dimensión crítica; epitaxias
(dislocación, defectos, ángulos, etc.); rugosidad del substrato;
seguimiento de los procesos de limpieza y de los diferentes tratamientos
relacionados con el proceso; etc.
b) Capas finas
Todas las capas finas se pueden analizar. Se obtienen medidas de
tamaño de grano, distribución, rugosidad y perfil.
9
400 a = 11.477(8) Å
b = 4.18(1) Å 800
c = 4.351(4) Å
111
511
311
20 30 40 50 60 70 80
Grados 2 Theta
α = 4.18 Å
β = 4.35 Å
γ = 2.72 Å