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REPUBLICA BOLIVARIANA DE VENEZUELA

MINISTERIO DEL PODER POPULARPARA LA DEFENSA


UNIVERSIDAD NACIONAL EXPERIMENTAL POLITECNICA DE LA
FUERZA ARMADA NACIONAL BOLIVARIANA
NUCLEO ARAGUA-SEDE MARACAY

Diseño, termodinámica y desarrollo


de un micro turborreactor.

Docente: Autora:
Ing. Wilson Osorio Osnira Seijas, 26.220.883

Maracay, junio del 2020.


DESARROLLO

Que es MEMS: Sistemas-Micro-Electro-Mecánicos o MEMS, son una tecnología que,


en su forma más general puede ser definida como elementos mecánicos y electro-
mecánicos (por ejemplo dispositivos o estructuras) miniaturizados que se realizan con
técnicas de micro-fabricación.

Termodinámica de una turbina de gas: El ciclo Brayton, también conocido como ciclo
Joule o ciclo Froude, es un ciclo termodinámico consistente, en su forma más sencilla,
en una etapa de compresión adiabática, una etapa de calentamiento isobárico y una
expansión adiabática de un fluido termodinámico compresible. Es uno de los ciclos
termodinámicos de más amplia aplicación, al ser la base del motor de turbina de gas,
por lo que el producto del ciclo puede ir desde un trabajo mecánico que se emplee para
la producción de electricidad en los quemadores de gas natural o algún otro
aprovechamiento caso de las industrias de generación eléctrica y de algunos motores
terrestres o marinos, respectivamente, hasta la generación de un empuje en un
aerorreactor.
REQUISITOS FUNCIONALES Y RESTRICCIONES

Al igual que el diseño de cualquier máquina, el diseño de una microingeniería es un


problema abierto que representa una complicada compensación entre muchas
restricciones en conflicto. Cualquier número de diseños puede dar como resultado un
sistema operativo que satisfaga todas las restricciones y, al mismo tiempo, cumpla con
los requisitos funcionales. El diseño del motor de demostración proviene de un diseño
ya hecho, fue impulsado por los requisitos funcionales y por las restricciones impuestas
por la necesidad programática, las impuestas por la física del dispositivo y las
impuestas por las capacidades de fabricación. Las siguientes secciones describen estos
requisitos y restricciones.

REQUISITOS FUNCIONALES

En el momento del diseño, no había requisitos funcionales externos impuestos para el


motor de demostración MIT o sus descendientes. No hubo aplicaciones específicas y,
por lo tanto, no hubo requisitos específicos para empuje, potencia de salida, tamaño o
peso. El principal requisito funcional del motor de demostración es demostrar la
integración de las tecnologías de componentes de microingeniería en un sistema
completo.

Aunque la integración es el único requisito funcional del motor de demostración, los


motores descendientes deben demostrar un nivel de rendimiento que exceda claramente
el rendimiento de otras fuentes compactas de energía, como baterías y pilas de
combustible. Con estos fines, se utilizó el siguiente conjunto de objetivos generales de
diseño para el motor de demostración:
(l) Un empuje de diseño de aproximadamente 10 g (equivalente a 10-20 vatios de
potencia mecánica).

(2) Una vida útil del motor de decenas de minutos o más.

(3) Un diseño con un número mínimo de pasos de proceso no comprobados.

(4) Diseño para potencial de crecimiento futuro:Adición de un generador eléctrico


(salida de energía eléctrica), Combustión de hidrocarburos, (combustibles líquidos),
Recuperación (eficiencia térmica mejorada).

Dada la considerable incertidumbre asociada con el rendimiento de los componentes


individuales, el motor fue diseñado para producir tanta potencia como sea posible. Esto
condujo a un motor que era lo más grande posible mientras se consideraba que
satisfacía las limitaciones de la microfabricación. Un motor más grande conduce a un
mayor flujo de masa a través del motor y una turbomaquinaria más eficiente (mayor el
número de Reynold). Ambos factores conducen a una mayor potencia de salida.

FACTORES PROGRAMÁTICOS

El diseño del motor de demostración depende en gran medida de las necesidades y


limitaciones del programa general de microingeniería MIT. Muchos de los conceptos
y tecnologías que formaban parte del programa general se desarrollaron con un motor
de demostración en mente. Un concepto de motor inicial condujo a una serie de
dispositivos de 'banco de pruebas' más simples que se construyeron para demostrar
tecnologías críticas. Las lecciones de los dispositivos completados se incorporaron al
diseño del motor de demostración.

El desarrollo del motor de demostración estuvo fuertemente influenciado por el hecho


de que gran parte de la investigación fundamental de microingeniería tuvo lugar
simultáneamente con el diseño del motor de demostración. Las restricciones de
programación otorgan una alta importancia a la evolución del motor a partir de la
tecnología probada existente tanto como sea posible, en lugar de depender del
desarrollo de ideas nuevas y no probadas. Las limitaciones de recursos limitan el
número de ideas de diseño que se pueden analizar e implementar. En muchos casos, el
motor de demostración está diseñado en torno a lo que es prácticamente factible o
incluso probado, en lugar de lo que es teóricamente óptimo. Esta es la razón por la cual,
por ejemplo, el motor de demostración utiliza un cojinete circular "simple" y una
cámara de combustión integral. En el momento del diseño, ambos conceptos ya se
habían utilizado para otros dispositivos de desarrollo de microingeniería. Los
siguientes conceptos utilizados en el diseño del motor de demostración fueron elegidos
por razones programáticas:

(l) Cojinetes de gas. Los rodamientos de gas son una consecuencia del equipo de micro
rodamientos del MIT.

(2) Combustor integral. Una cámara de combustión integral es una consecuencia del
micro cámara de combustión del MIT.
(3) Construcción totalmente de silicio. Actualmente, MIT solo puede fabricar con
silicio.

(4) Turbomáquina de una sola etapa y bobina simple. Esto simplifica el dispositivo.

(5) Combustible de hidrógeno. El hidrógeno tiene los márgenes de inflamabilidad más


amplios.

(6) Un ciclo termodinámico simple de Brayton. Esto simplifica el dispositivo.

RESTRICCIONES FÍSICAS

El diseño también está limitado por la física de los procesos químicos, mecánicos y de
dinámica de fluidos inherentes a un motor de turbina de gas. Aquí se describen los
mecanismos físicos fundamentales que limitan el diseño.

Reacciones químicas del combustor

Los procesos químicos dentro de la cámara de combustión ocurren durante un período


de tiempo finito. Si estas reacciones deben restringirse dentro de la cámara de
combustión, deben completarse dentro del tiempo de residencia del flujo en la cámara
de combustión. Este tiempo de residencia es proporcional al volumen del combustor e
inversamente proporcional al caudal volumétrico del motor. Por lo tanto, hay un
volumen mínimo de cámara de combustión establecido por el caudal volumétrico del
motor y el tiempo de residencia requerido para que se complete la reacción de
combustible-aire. Aumentar la presión del aire aumenta la densidad y, por lo tanto,
aumenta el tiempo de residencia para un volumen fijo. El aumento de la temperatura
de reacción disminuye la densidad pero acelera la velocidad de reacción. Mehra
demostró una combustión completa de hidrógeno e hidrocarburos con tiempos de
residencia de 0.5 mseg y 1.5 mseg respectivamente

Teniendo estabilidad

El carrete del motor tiene una velocidad de diseño de 1.2 millones de RPM. A menos
que el rotor pueda acelerarse rápidamente a través de regiones operativas inestables, el
rodamiento debe permitir un funcionamiento estable del rodamiento en todo el rango
de velocidad desde el arranque hasta la velocidad de diseño. La física del diseño de
cojinete de diario establece un requisito en su geometría. Esto incluye la longitud del
cojinete del diario, el ancho del espacio del cojinete del diario, y el cono y el arco
permitidos del cojinete del diario. Debido a que el control de perfil es uno de los
aspectos más difíciles de la microfabricación, la interacción de las restricciones físicas
del rodamiento y sus limitaciones de fabricación tiene un impacto significativo en el
diseño general del motor.

Rendimiento de turbomaquinaria

El compresor y la turbina deben tener suficiente flujo de masa, relación de presión y


eficiencia para cerrar el ciclo termodinámico del motor y entregar el empuje requerido.
El éxito del combustor también está estrechamente relacionado con el éxito del
compresor. Para un tiempo de residencia fijo, el volumen requerido de la cámara de
combustión es inversamente proporcional a la densidad del flujo. La eficiencia general
del ciclo se beneficia de los aumentos en la eficiencia. Como se muestra en capítulos
posteriores, un motor práctico requiere una eficiencia de turbomaquinaria superior al
50%. Este requisito tiene implicaciones para el diseño de la cuchilla, la altura de la
cuchilla, las dimensiones del compresor y la velocidad de rotación del carrete.

Integridad estructural

Las tensiones y temperaturas permitidas de los componentes están limitadas por las
propiedades del material. Estos requisitos influyen en la velocidad del rotor (de ahí la
relación de presión), la temperatura de combustión (de ahí el empuje específico) y la
altura de la pala (de ahí el flujo de masa). Para obtener el máximo rendimiento del
motor, la estructura está diseñada para funcionar cerca de sus límites de estrés y
temperatura (5001000 MPa y 900-1000K para silicio). Las propiedades de material a
alta temperatura del silicio hacen que el enfriamiento sea necesario y suponen una
limitación sustancial en el diseño del compresor y la turbina. Los análisis de Chen, Ye
y Huang muestran que, para la geometría del motor de demostración, las tensiones
máximas del rotor no superan los 500 MPa. Un motor totalmente de silicio diseñado
para estas tensiones debe funcionar con una temperatura de estructura giratoria de
menos de 950 K. La estructura estática está diseñada para una temperatura estructural
de menos de 1200 K y una tensión máxima por debajo de 100 MPa.

RESTRICCIONES DE FABRICACIÓN

El diseño del motor también está altamente limitado por las capacidades de
microfabricación. El estado del arte actualmente disponible en microfabricación
MEMS impone las siguientes restricciones en el diseño:
Características bidimensionales

La microfabricación de MEMS es esencialmente un proceso 'plano': todas las


características tridimensionales se forman mediante el ensamblaje de formas
bidimensionales. En general, la forma bidimensional de una característica solo está
limitada por las capacidades de la compañía de producción de máscaras. Sin embargo,
estas formas solo se pueden grabar para crear formas 3D prismáticas derechas. Es
posible introducir una geometría tridimensional limitada utilizando múltiples grabados
anidados para crear pasos. También es posible introducir filetes limitados en la base de
las características. Sin embargo, los cortes inclinados o las formas tridimensionales
compuestas generalmente no son posibles actualmente.

Tamaño mínimo de la característica

El tamaño mínimo de la característica en el motor está limitado por la capacidad de


fabricar esa característica. La producción de mascarillas y la fotolitografía limitan el
tamaño mínimo de orificio de los restrictores para los cojinetes de empuje, las pestañas
para la retención del rotor y el grosor del borde posterior de la cuchilla, los orificios de
enfriamiento, etc. Como regla general, las características más pequeñas alcanzables
fueron 10 um con relaciones de aspecto entre 30: I y 50: l. Para las características
unidas, 50 um es un espesor de pared mínimo práctico.

Tamaño máximo de la característica

El espesor máximo de una oblea en el motor está limitado por la capacidad de procesar
esa oblea. En general, en el MIT, las obleas más gruesas para uso práctico tenían 1 mm
de espesor. La restricción en el grosor de la oblea puede limitar la altura de la cuchilla,
la profundidad del cojinete del muñón y la altura de la cámara de combustión. El
tamaño máximo de un dado está limitado por el deseo de colocar un número razonable
de dados en una sola oblea.

Una oblea de cuatro pulgadas como se usa en el MIT puede contener un máximo de 10
troqueles con un tamaño de troquel de 2,1 cm. Al hacer crecer el dado más allá de 2,1
cm, se reduce el recuento de dados a 4 o menos. El tamaño máximo también está
vinculado a la dimensión mínima a través de la definición de máscara. El tamaño de
matriz estándar para microchips grandes es 2,0 cm.

Alineación de obleas

El motor de demostración está construido a partir de varias capas, cada una con
características en ambos lados. Estas capas están unidas entre sí. La alineación de
adelante hacia atrás de las características grabadas en cada lado de una oblea y la
alineación de oblea a oblea es importantes para el desequilibrio del rotor. La alineación
también es importante para tolerar el ancho de las características que se deben unir.

Embalaje

El número de puertos fluídicos y eléctricos está limitado por la capacidad de conectar


estos puertos al mundo exterior. Las conexiones fluídicas se realizan con juntas tóricas
(paquete frío) o tubos soldados con vidrio (paquete caliente). El tamaño mínimo de
conexión se establece por la disponibilidad de tubos, juntas tóricas y cuentas de vidrio
utilizadas para hacer estas conexiones. Para ambas juntas tóricas y conexiones de
soldadura de vidrio, un espacio de conexión práctico es de 2 mm. El embalaje también
limita la temperatura de la pared exterior del dispositivo. Las conexiones de soldadura
de vidrio tienen una temperatura máxima práctica de 1000-1200 K.

Tecnología de fabricación de mascarillas

La tecnología de fabricación de máscaras establece el tamaño mínimo de la


característica, el tamaño máximo de la matriz y la relación del tamaño de la matriz con
el tamaño de la característica. Usando generadores de máscara paso a paso
convencionales, una máscara que requiere características finas definidas con mucha
precisión (1 um) tampoco puede tener características muy grandes. Por ejemplo, el
motor de demostración requiere características de 4 um y, por lo tanto, no puede ser
mucho más grande que 2 cm. Las máscaras de haz electrónico más caras pueden ofrecer
características submicrónicas sin límite en el tamaño de la matriz.

REQUISITOS DE PRUEBA

El diseño del motor de demostración también está limitado por la necesidad de


instrumentar el dispositivo para la prueba. Los requisitos de prueba establecen el tipo
y la cantidad de interconexiones fluídicas y eléctricas requeridas, el tipo de esquema
de empaque, la temperatura de funcionamiento permitida del dispositivo y los aspectos
de la geometría del dispositivo. Un motor de producción solo necesitaría unas pocas
conexiones con el mundo exterior: arranque de aire, entrada / salida eléctrica y
conexiones de combustible. El motor de demostración debe estar equipado para tomar
medidas de rendimiento que nos permitan comprender el comportamiento del motor.
En consecuencia, requiere una serie de puertos adicionales que incluyen: presión de
descarga del impulsor, presión de descarga del compresor o relación de presión (OPR),
presión entre hileras de turbina, presión de boquilla o relación de presión del motor
(EPR), presión de presurización lateral, presión de cojinete de cojinete, cojinete de
empuje presión, etc. Esta instrumentación introduce un nivel adicional de complejidad
al dispositivo.

DISEÑO

Se consideraron varios conceptos de diseño preliminares antes de dibujar el conjunto


completo de máscaras del motor de demostración. Estos diseños preliminares
establecen la geometría básica de la sección transversal del motor. Cada diseño cumplió
con todos los requisitos funcionales y las restricciones generales enumeradas
anteriormente al tiempo que tenía una o más ventajas particulares. Cada diseño
preliminar también incluía un proceso de fabricación asociado "Strawman". A medida
que el diseño progresaba, se introdujeron una serie de nuevos conceptos que
simplificaban la fabricación o mejoraban el rendimiento del motor. A menudo, estos
eran objetivos en conflicto.

Las modificaciones evolutivas de estos diseños preliminares condujeron al diseño del


motor de demostración de referencia. Este diseño de línea de base del motor de
demostración formó la base para todos los estudios paramétricos del rendimiento del
motor. También se utilizó para el diseño detallado de componentes. El diseño de línea
de base no se pudo fabricar en el tiempo disponible, por lo que se introdujeron varias
simplificaciones de diseño en parte a través del esfuerzo de desarrollo de fabricación.
Esto condujo a un conjunto de dispositivos fabricados que difieren del diseño de
referencia, un turbocompresor y un motor de demostración fabricado (a diferencia del
motor de demostración 'de referencia'). Figura 2-3ilustra la evolución del dispositivo.
MOTOR DEMO DE BASE

La Figura 2-1 ilustra el diseño final elegido para el motor de demostración de línea
base del MIT. El diseño surgió de la experiencia del MIT con otros equipos
relacionados con la microingeniería y de las restricciones generales enumeradas
anteriormente. El motor de demostración de línea de base está construido a partir de
seis obleas. Se utiliza una oblea para el compresor. Un segundo se utiliza para la
turbina. Se usaron dos obleas cada una para los cojinetes de empuje hacia adelante y
hacia atrás. La cámara de combustión está compuesta por una combinación del rotor y
las obleas con cojinetes de empuje en popa.

El diseño del motor de demostración introdujo una serie de cambios significativos del
diseño originalmente propuesto por el MIT. Eliminó la maquinaria eléctrica (la energía
eléctrica no es un requisito funcional para el motor de demostración), reemplazó el
sistema de cojinetes del motor de línea de base con el cojinete de cojinete circular liso
de carga lateral y los cojinetes de empuje hidrostáticos utilizados en la plataforma de
microcojinetes MIT, e incorporó un empuje Sistema de equilibrio para equilibrar las
fuerzas de presión sobre el rotor.

El diseño del motor de demostración también es más grande que el diseño original de
microingeniería del MIT. El motor de demostración fue diseñado para un flujo nominal
de núcleo de 0.36 g / seg de aire a una relación de presión de 3: 1 y una temperatura de
entrada de la turbina de 1600K. El análisis posterior mostró que el esquema de
enfriamiento del motor de demostración reduciría la relación de presión del compresor
a 1.8. El radio del impulsor del compresor se duplicó a 4 mm y la altura de la pala se
duplicó a 400 um. La velocidad de la punta se mantuvo a 500 m / seg dando una
velocidad de rotor de 1.2 millones de RPM.
El motor de demostración utiliza un carrete de rotor de dos obleas formado uniendo el
disco del compresor directamente al disco de la turbina. Esto elimina las obleas
utilizadas para el eje en diseños anteriores. El cojinete diario está ubicado en el disco
de la turbina. Los discos de la turbina y el compresor tienen un tamaño diferente, lo
que reduce el estrés de la turbina para una velocidad determinada del compresor y
regula la cantidad de calor transferido entre la turbina y el compresor. Esto también
aumenta el L / D del rodamiento y proporciona espacio para un pistón de equilibrio de
empuje y un esquema opcional de carga lateral del rodamiento de diario.

El motor de demostración introdujo por primera vez el concepto de una cámara de


combustión aislada térmicamente para reducir las temperaturas de la pared exterior del
dispositivo y al mismo tiempo permitir altas temperaturas de salida de la cámara de
combustión. El análisis preliminar mostró que esta nueva cámara de combustión podría
funcionar con una temperatura de salida de 1600K, una temperatura de la pared de la
cámara de combustión de 1200K y una temperatura de la pared exterior de 850K. Como
se propuso inicialmente, la cámara de combustión aislada debía usar una capa de vidrio
para aislar la cámara de combustión de la estructura exterior. El vidrio de alta
temperatura deseado no estaba fácilmente disponible. El análisis térmico más tarde
mostró que el vidrio era deseable pero no necesario y el diseño se cambió para usar Sí.

En lugar de utilizar un motor eléctrico para el arranque, el motor de demostración


depende del aire de arranque suministrado externamente. Para introducir este
suministro de aire, el diseño incluye disposiciones para conexiones fluídicas externas
tomadas del programa de microcohetes del MIT. Estas conexiones fluídicas también se
utilizan para tomas de presión, líneas de suministro de combustible y líneas de aire de
arranque.
Finalmente, el nuevo diseño aprovechó un nuevo esquema de enfriamiento de la turbina
inicialmente estudiado por Chen para permitir la construcción totalmente de silicio.
Este esquema se describe con más detalle a continuación, pero básicamente implica
descargar el exceso de calor de las palas de la turbina y el disco en el flujo del núcleo
del compresor conduciendo el calor a través del eje del carrete y dentro de la estructura
del compresor. El esquema funciona porque el silicio tiene una conductividad térmica
relativamente alta y el dispositivo tiene dimensiones relativamente pequeñas, lo que
permite una baja impedancia térmica entre las dos estructuras.

DISPOSITIVOS FABRICADOS

El diseño básico del motor de demostración incorpora una serie de tecnologías no


desarrolladas. Para simplificar el desarrollo de estas tecnologías, el motor de
demostración fue precedido por dos micro plataformas más simples que se
desarrollaron en paralelo: (l) la plataforma en caliente y (2) la plataforma del
turbocompresor. Estas plataformas tienen dos objetivos. El primero es demostrar el
funcionamiento de los componentes clave del motor sin requerir el funcionamiento de
un motor completo. El segundo es desarrollar las tecnologías de fabricación necesarias
para un motor de demostración completo. Ambos equipos son similares en diseño al
motor de demostración de línea de base, pero son algo más fáciles de fabricar.

Estructura Estática Caliente

La estructura estática en caliente, o "plataforma en caliente", tiene la misma geometría


de trayectoria de flujo que el motor de demostración de línea de base, pero no tiene
turbomaquinaria rotativa. El propósito de la plataforma en caliente es verificar el
rendimiento de la cámara de combustión (caída de presión, eficiencia de la cámara de
combustión, eficiencia química, temperatura de entrada de la turbina), evaluar el
rendimiento del inyector de combustible, probar combustibles alternativos y validar la
integridad estructural a temperaturas de funcionamiento. La plataforma en caliente fue
desarrollada y probada por Mehra. Cadou y Spadaccini llevan a cabo pruebas continuas
de una cámara de combustión de hidrocarburos. La figura 24 ilustra un dibujo
esquemático y SEM de la sección transversal de la estructura estática en caliente.

Los resultados de Mehra muestran que la geometría de la cámara de combustión del


motor de demostración que quema hidrógeno puede proporcionar una temperatura de
salida de la turbina de 1600 K y una eficiencia máxima de la cámara de combustión de
0,95. Debido a complicaciones geométricas exclusivas de la plataforma en caliente, no
se realizaron pruebas en las condiciones específicas de diseño del motor de referencia.
Sin embargo, demostró operación en el equivalente escalado dinámicamente de la
condición en diseño.

Turbocompresor

El turbocompresor tiene la misma morfología que el motor de demostración de línea


de base, pero tiene caminos separados para el compresor y el gas de la turbina. El
propósito del turbocompresor es verificar el funcionamiento de los cojinetes y la
turbomáquina. Además, el turbocompresor debería permitir una medición más precisa
de los parámetros de rendimiento de los componentes que la que puede realizar con
una cámara de combustión operativa o un ciclo completo.

La morfología del turbocompresor es idéntica a la morfología del motor de


demostración, excepto por la eliminación de la "camisa de enfriamiento" que une el
escape del compresor con la entrada del combustor. El compresor, la turbina y el
combustor se retienen y son geométricamente similares al motor de demostración. Para
acelerar la fabricación, se modificaron ciertos aspectos del diseño del motor de
demostración de referencia para el turbocompresor. Al momento de escribir este
artículo, las técnicas actuales de microfabricación "de vanguardia" no admiten un
grabado de 500 um con grabado de diario o las obleas 700-900 um requeridas para
cuchillas de 400 um. Las razones se explican en detalle en el Capítulo 4 , Fabricación
Como resultado, el turbocompresor se modificó para tener un cojinete de 300 um y
cuchillas de 200 um. El esquema de presurización lateral y el "sello de la llanta" del
compresor también se eliminaron para facilitar la fabricación y abordar un problema
estructural asociado con la deflexión del disco del compresor a altas velocidades.

Diseño de motor de demostración fabricado

Aunque todos los análisis subsiguientes del sistema y los componentes lo utilizaron
como "línea de base", no se pudo fabricar el diseño completo del motor de
demostración. Como se mencionó anteriormente, en el momento de la fabricación del
turbocompresor, las técnicas de fabricación del MIT no admitían cojinetes de 500 um
ni cuchillas de 400 um. Inicialmente, se estaban realizando esfuerzos para desarrollar
estas capacidades en paralelo con el turbocompresor y luego implementarlas en el
motor de demostración. Ninguna de las capacidades se desarrolló a tiempo. Como
resultado, el primer motor de demostración recibió el mismo cojinete diario de 300 um
y las cuchillas de 200 um utilizado en el turbocompresor.

En comparación con la plataforma en caliente y los diseños del motor de demostración


de línea de base, la geometría del turbocompresor fabricado y el motor de demostración
de primera construcción reducen a la mitad el área de flujo del motor y el volumen de
la cámara de combustión. Los cálculos de CFI) indican una eficiencia reducida del
compresor asociada con las palas más cortas del compresor. La eliminación de los
sellos aumenta las fugas del compresor. La Tabla 2-3 cuantifica el impacto acumulativo
de estos cambios en el rendimiento del ciclo previsto. Aunque las predicciones de
eficiencia del compresor CFI) son inciertas (estimar +/- 10 puntos en comparación con
los experimentos de equipo de macrocompresor escalado), el cálculo sugiere que la
primera versión modificada del motor de demostración tiene un ciclo abierto y
requerirá inyección de aire para operación sostenida.

ANÁLISIS DE CICLO

Esta sección describe los estudios comerciales de nivel de sistemas fundamentales


realizados para el micro motor de demostración. Estos incluyen análisis de ciclos
paramétricos, consideración de ciclos alternativos y estudios de comercio de diseño
mecánico. Los objetivos de esta sección son identificar la sensibilidad del rendimiento
del motor a parámetros importantes, ilustrar las consideraciones que impulsaron el
diseño del motor de demostración y sugerir mejoras para los diseños futuros.

FUNDAMENTOS

Una vez que se establecieron los requisitos funcionales del motor de demostración, el
diseño comenzó con un análisis de ciclo. Un análisis de ciclo es una herramienta
general para modelar el comportamiento del motor sin un conocimiento detallado de la
geometría mecánica.

Los motores de turbina de gas son motores de calor. Como todos los motores de calor,
funcionan convirtiendo la energía térmica liberada por un combustible en combustión
en energía mecánica útil. Esta energía mecánica puede aparecer como trabajo
suministrado a un eje giratorio (un motor de turboeje) o como la velocidad impartida a
un chorro de escape (un motor de turborreactor). En cualquier caso, el proceso de
conversión de energía se puede modelar utilizando un ciclo termodinámico que implica
la compresión, el calentamiento y la expansión de un fluido de trabajo. En el caso de
un motor a reacción, el fluido de trabajo es aire. El rendimiento general de cualquier
motor a reacción puede predecirse con una precisión razonable utilizando un análisis
termodinámico de este ciclo.

El ciclo termodinámico para un motor de turbina de gas simple se conoce como el ciclo
Brayton. El ciclo ideal de Brayton, ilustrado en la Figura 2-6, involucra los siguientes
pasos:

(l) Compresión isentrópica (reversible, adiabática) del fluido de trabajo.

(2) Adición constante de presión-calor.

(3) Expansión isentrópica del fluido de trabajo calentado.

(4) Rechazo de calor a presión constante.

Los motores a reacción son máquinas de ciclo abierto. En consecuencia, el cuarto paso,
el rechazo de calor a presión constante, ocurre cuando el escape del motor se mezcla
con la atmósfera circundante. Como lo ilustra la Figura 2-7, los componentes del motor
que logran cada paso son (l) Compresor, (2) Combustor, (3) Turbina (compresor de
accionamiento) y boquilla de escape. Cuando el motor funciona como un turboeje, un
cuarto componente, (4) el generador eléctrico, convierte la energía mecánica de la
turbina giratoria en energía eléctrica.

ANÁLISIS DEL CICLO IDEAL

El ciclo ideal de Brayton es un punto de partida importante para comprender el papel


de dos parámetros clave del ciclo: (l) Temperatura de entrada de la turbina, Tt4 y (2)
Relación de presión global, Ttc. Juntos, estos dos parámetros de ciclo establecen la
potencia de salida (o empuje) y la eficiencia de un motor de turbina de gas ideal.

La potencia de salida de un ciclo de Brayton es proporcional al área que encierra en un


diagrama de temperatura y entropía (Ts). Esta área se establece mediante una
combinación de la relación de presión y la temperatura máxima del ciclo, Tt4. Para
cualquier relación de presión dada, aumentar Tt4 siempre aumentará la potencia de
salida del motor. Esto se ilustra en la Figura 2-9. Por otro lado, para cualquier Tt4 fijo
siempre habrá una relación de presión específica que maximice la potencia de salida.
Para relaciones de presión superiores o inferiores a este valor, el área del ciclo se reduce
y la potencia de salida se reduce.

La eficiencia térmica (ntherm) de un ciclo es la relación entre la energía mecánica de


salida y la energía del combustible de entrada. La eficiencia térmica del ciclo Brayton
ideal se determina directamente a partir de la relación de presión global de la siguiente
manera:

Para un ciclo ideal, una relación de presión grande significa una alta eficiencia térmica.
La relación de alta presión es
therm = 1 -2 = 1

La forma tradicional de lograr una alta eficiencia en un motor de avión. Los motores
de aviones comerciales modernos tienen relaciones de presión de hasta 45.

Para un ciclo Brayton simple ideal, siempre hay un conflicto entre una mayor eficiencia
térmica (maximizar la relación de presión) y una mayor potencia o potencia de salida
(específica, relación de presión finita). La figura 2-8 ilustra esto. Por supuesto, un Tt4
más grande implica una relación de presión más alta para una salida de potencia
máxima. Esto, a su vez, implica una mayor eficiencia térmica para el ciclo de salida
máximo. Por lo tanto, los aumentos en Tt4 siempre son beneficiosos. Como se muestra
a continuación, estas observaciones son generalmente ciertas para los ciclos de Brayton
no ideales también.

ANÁLISIS DE CICLO NO IDEAL

La potencia de salida del ciclo de Brayton viene dada por la pequeña diferencia entre
dos números grandes (salida de trabajo de la turbina y entrada de trabajo del
compresor). En consecuencia, las turbinas de gas son extremadamente sensibles a las
ineficiencias de los componentes. Una predicción precisa del rendimiento del motor
requiere que se tenga en cuenta el comportamiento no ideal de los componentes.

El ciclo ideal de Brayton nunca se puede lograr en la práctica porque siempre hay un
comportamiento no reversible asociado con los componentes. Las no idealidades más
importantes son:
(l) Difusión imperfecta en la entrada del motor

(2) Mecanismos de pérdida de presión (por ejemplo, fricción, golpes, mezcla) en el


compresor y la turbina.

(3) Pérdida de calor, combustión incompleta y pérdidas de presión en la cámara de


combustión.

(4) Expansión imperfecta en la boquilla de escape

(5) Purga del aire de descarga del compresor para cojinetes, refrigeración y usos
auxiliares.

(6) Variaciones relacionadas con la temperatura en las propiedades del fluido de trabajo
(cp, cv, etc.)

(7) Compresión no adiabática y expansión

La Figura 2-11 ilustra el impacto que cada no idealidad tiene en el ciclo general del
motor. El séptimo comportamiento, la compresión no adiabática, no suele ser una
preocupación para los motores convencionales que funcionan en el diseño. Sin
embargo, como se discutirá más adelante, es muy importante para el micro motor de
demostración. El análisis de ciclo no ideal tiene en cuenta el comportamiento de
componentes no ideales al incluir las siguientes eficiencias de componentes y
parámetros de rendimiento:

Eficiencias de turbomaquinaria

La eficiencia isentrópica de un compresor no ideal (TIC) que funciona a un flujo másico


específico y la relación de presión total-total se define como la inversa de la relación
entre la potencia real del eje de entrada y la potencia requerida para un proceso de
compresión isentrópica ideal del mismo relación de presión total-total:

Porderisentropico
Poder actual

La eficiencia isentrópica de una turbina no ideal (nt) que funciona a un flujo másico
específico y la relación de presión total total se define como la relación entre la potencia
real del eje entregada y la potencia entregada por un proceso de expansión isentrópica
ideal de la misma relación de presión total-total . Simbólicamente

PoderActual
PoderIsentropico

Rendimiento del Combustor


La eficiencia global de la cámara de combustión de una cámara de combustión no ideal
se define como la relación entre el calor entregado al flujo de la cámara de combustión
y la energía total almacenada del combustible entregado a la cámara de combustión.

Cámara de combustión

La eficiencia de combustión de un proceso de combustión no ideal se define como la


fracción del combustible total que se quema por completo dentro de la cámara de
combustión. A los fines del análisis del ciclo, la eficiencia de la combustión se puede
agrupar en la eficiencia de la cámara de combustión.

La cámara de combustión también tiene una caída de presión debido a pérdidas


viscosas en la trayectoria del flujo y la adición de calor a un flujo en movimiento. La
relación de presión de la cámara de combustión, ltb, es la relación de las presiones
totales en la entrada y salida de la cámara de combustión.

El aire de purga es aire que sale del flujo del núcleo del motor durante una parte del
ciclo. En un motor de turbina de gas de bobina simple como el motor de demostración,
existen tres tipos principales de purga: (l) purga por la borda, (2) purga de descarga de
GNV y (3) purga de descarga de la turbina. Debido a que el rendimiento del ciclo se ve
afectado por las relaciones, todas estas hemorragias se miden como una fracción del
flujo másico del núcleo.
La Figura 2-10 ilustra los sangrados para un turborreactor de un solo carrete. El
sangrado por la borda es el aire que se elimina completamente del ciclo. El aire de
purga de descarga de NGV se une al flujo del núcleo después de los álabes de guía de
la boquilla de la turbina (NGV), pero antes del rotor de la turbina. Este fluido todavía
funciona para el ciclo porque fluye a través de la turbina. Sin embargo, realiza un
trabajo menos efectivo que el núcleo porque no atraviesa la cámara de combustión y,
por lo tanto, tiene una entalpía más baja. El aire de purga de descarga de la turbina
vuelve a unirse al flujo del núcleo en el rotor de la turbina, antes de la boquilla de
escape. Este fluido hace poco trabajo en la turbina porque se introduce a medio camino
o completamente aguas abajo. Sin embargo, contribuye al empuje del motor porque
aumenta el flujo de masa de la boquilla. Nuevamente, este aire generalmente tiene una
entalpía más baja que el flujo central. El aire que se usa para enfriar la estructura de la
turbina es el sangrado de descarga de la turbina.

Procedimiento de análisis de ciclo no ideal

Una vez que se conocen el rendimiento y las eficiencias de los componentes, el


rendimiento general y los parámetros de un ciclo no ideal se pueden calcular
equilibrando la salida de potencia de la turbina con la entrada de potencia requerida por
el compresor.

Para el diseño del motor de demostración, el análisis de ciclo no ideal se calculó


utilizando dos herramientas. La primera herramienta es GASTURB TM, una
"plataforma de ciclo" comercial para el análisis de motores de turbina de gas no ideal.
GASTURB tiene en cuenta todas las ineficiencias de los componentes. Además, utiliza
tablas de búsqueda dependientes de la temperatura y la química para las propiedades
del fluido. GASTURB permite estudios de ciclos paramétricos y optimizaciones de
ciclos, y se utilizó para todos los estudios de ciclos paramétricos descritos aquí.
Groshenry modificó GASTURB para la combustión de hidrógeno y lo verificó contra
NPAS.

El análisis de ciclo no ideal también se realizó utilizando una hoja de cálculo


personalizada de Microsoft Excel detallada en los apéndices. Para simplificar, la hoja
de cálculo utiliza propiedades de fluido fijas para los cálculos de compresores y
turbinas. Todos los cálculos supusieron ay = 1.4 y 1004.5 J / kg-K en el compresor e y
= 1.28 y cp - 1320 J / kg-K en la turbina. Los primeros son valores para el aire a
temperatura y presión estándar. Estos últimos son valores de CEA, un programa de
análisis de equilibrio químico, para una mezcla de hidrógeno / aire con combustión
completa a una temperatura de 1600K. Los cálculos de hidrógeno asumieron un valor
de calentamiento de combustible de 120 MJ / kg-K. Los cálculos de hidrocarburos
asumieron un valor de calentamiento de combustible de 43.3 MJ / kg-K. El cálculo de
la hoja de cálculo también incluye la capacidad de tener en cuenta la transferencia de
calor de la turbina al compresor. Los cálculos se compararon con los cálculos de
parámetros variables de GASTURB.

La Tabla 2-1 compara los cálculos de la hoja de cálculo con GASTURB para el ciclo
del motor de demostración de referencia y un ciclo de microingeniería de mayor
rendimiento. La tabla muestra menos del 5% de error para el empuje del turborreactor,
menos del 5% de error para el consumo de combustible de hidrógeno y menos del 10%
de error para el consumo de combustible específico de empuje (TSFC). La tabla
también muestra que la transferencia de calor de modelado cambia los resultados en
menos del 10%. El ciclo de la hoja de cálculo se utilizó para todos los estudios de
comercio de sistemas debido a su flexibilidad en comparación con GASTURB.
CICLO DE BASE

Se calculó un ciclo de referencia para el motor de demostración utilizando estimaciones


iniciales para el rendimiento de los componentes y el análisis de ciclo no ideal descrito
anteriormente. Las estimaciones iniciales se repitieron hasta que se encontró un ciclo
que cumplía con los requisitos funcionales sin dejar de ser consistente con las mejores
estimaciones sobre los niveles de rendimiento de los componentes alcanzables. Este
ciclo de referencia varió a lo largo de la fase de diseño preliminar del motor de
demostración a medida que el diseño del motor cambió y se dispuso de nueva
información para predecir el rendimiento de la turbomaquinaria, los rodamientos y la
cámara de combustión. Durante el verano de 1998, se eligió un ciclo final de "línea de
base" como el ciclo objetivo para la fase de diseño detallado. Este ciclo de referencia
condujo a niveles de rendimiento específicos para cada componente.

La Tabla 2-3 resume el ciclo de referencia calculado con la formulación de la hoja de


cálculo. El análisis predice un motor con un ciclo cerrado que funciona con una
temperatura de entrada de la turbina (Tt4) de 1600 K, una relación de presión total del
compresor (OPR) de 1.8 y un flujo másico del núcleo de 0.36 gramos / seg. La
eficiencia del compresor isentrópico es 0.50, la eficiencia isentrópica de la turbina es
0.70. La relación de presión del combustible es de 0.98 y la eficiencia del combustible
es de 0.99. El consumo de energía del rodamiento (arrastre) es de 13 W. El ciclo supone
un sangrado por la borda del 5% para suministrar los rodamientos de gas. El análisis
predice un empuje del motor de 9 gramos con un consumo de combustible de 16 g / h
de hidrógeno. Esto proporciona un consumo de combustible específico de empuje (T
SFC) de 1.8 g / g-hr y un impulso específico de (ISP) de 2050 segundos. Si se opera
con un combustible de hidrocarburos como butano, propano o queroseno, este motor
tendría un consumo de combustible de 43 g / h y un TSFC de 4.9 g / g-h (ISP de 740
segundos). La eficiencia térmica general del motor es del 2%.
El ciclo de línea base asume la operación del turborreactor. Si el motor funciona como
un motor de turboeje para la generación de energía eléctrica, tendría una potencia de
salida del eje de 7,6 W y un consumo de combustible específico de potencia (PSFC)
de 2,0 g / W-h. Si se usa un combustible de hidrocarburos, el consumo de combustible
será de 43 g / h, lo que da un PSFC de 5,6 g / W-h. Estos números representan la
eficiencia mecánica del motor del turboeje. Si el motor produce energía eléctrica, la
potencia mecánica y la eficiencia deben multiplicarse por la eficiencia del generador
(3070-50%).

ESTUDIOS COMERCIALES DE ANÁLISIS DE CICLO

El ciclo de referencia descrito en el Capítulo 2 se basa en las mejores estimaciones


disponibles para el rendimiento individual de los componentes del motor. El
rendimiento real de los componentes puede variar sustancialmente, lo que lleva a
variaciones en el rendimiento general del ciclo. Además, debido a que el diseño fue
evolutivo, algunas de las nuevas lecciones aprendidas durante el desarrollo no pudieron
incorporarse a la línea de base.

El programa de análisis de ciclo GASTURB se utilizó para estudiar la influencia del


rendimiento de los componentes en el ciclo del motor de demostración de referencia.
Se consideraron varios parámetros, incluida la eficiencia de la turbomáquina y la
relación de presión, el rendimiento de la cámara de combustión, la resistencia del
rodamiento, el sangrado, la recuperación, etc. Estos estudios paramétricos se describen
a continuación. A lo largo del resto de esta sección, a menos que se especifique lo
contrario, los parámetros del ciclo utilizados son los del ciclo de relación de presión
1.8 indicado en la Tabla 2-3.
Rendimiento de turbomaquinaria

Como se muestra en la sección anterior, el ciclo de Brayton es muy sensible a la


relación de presión. Por lo tanto, el rendimiento de la turbomaquinaria es muy
importante. Los siguientes estudios analizan el papel del rendimiento del compresor y
el rendimiento de la turbina.

La eficiencia térmica de un ciclo Brayton ideal (todos los componentes 100%eficientes)


aumenta continuamente al aumentar la relación de presión, mientras que la potencia se
maximiza a una relación de presión específica. Para un ciclo Brayton ideal en el rango
de diseño del motor de demostración Tt4 (1400-1800K), la relación de presión de
potencia máxima está entre 15 y 20. Para un ciclo no ideal, esta presión es más baja.
Los estudios computacionales y experimentales de micro turbomáquinas realizados
hasta la fecha muestran eficiencias en el rango de 0,30 a 0,65. Para este rango de
eficiencias, la potencia se maximiza a relaciones de presión entre 3 y 5.

Tanto el compresor como la turbina juegan un papel importante en la eficiencia general


del ciclo. Para una relación de presión dada, las turbinas son típicamente más eficientes
que los compresores. Esto se debe al hecho de que las turbinas funcionan con un
gradiente de presión favorable, mientras que los compresores funcionan con un
gradiente de presión adverso. Un gradiente favorable fomenta las capas límite adjuntas,
reduciendo las pérdidas viscosas y el bloqueo. Dependiendo de los detalles del ciclo,
un punto de eficiencia del compresor puede ser más valioso o menos valioso que un
punto de eficiencia de la turbina. Cuando la turbina es muy eficiente (por ejemplo,
0,95) y el compresor es ineficiente (por ejemplo, 0,50), la eficiencia del compresor será
más importante. Lo contrario también es cierto.
La Figura 2-12 ilustra el rendimiento del ciclo para el motor de demostración de línea
de base funcionando con relaciones de presión moderadas (2.0-6.0). La figura ilustra
el impacto de las variaciones tanto en el rendimiento de la turbina como del compresor.
El estudio del ciclo muestra que para eficiencias superiores a 0,50, hay una variación
de empuje de + / 50% ya que la relación de presión varía de 2.0 a 5.0. Por el contrario,
el empuje casi se duplica a medida que la eficiencia del compresor se mueve de 0.50 a
0.65.

16.5

10

Figura 2-12: Impacto del rendimiento de la turbomáquina en el ciclo del motor de


demostración.

Los resultados muestran que aumentar la eficiencia del compresor es la herramienta


más efectiva para aumentar el rendimiento del motor. Una ganancia de 15 puntos en la
eficiencia del compresor puede duplicar el empuje y cortar el TSFC en más de un factor
de dos. Lograr el mismo efecto con la turbina requeriría una ganancia de 20 puntos en
la eficiencia de la turbina a 0,90.
La turbina y el compresor muestran cambios similares en el empuje con cambios en la
eficiencia. Sin embargo, tenga en cuenta que en todo el rango de presión y eficiencia,
el flujo de combustible varía solo en +/- 20%. Por el contrario, el empuje varía en un
factor de cuatro. En el caso del rendimiento de la turbomáquina, los cambios en TSFC
reflejan principalmente cambios en el empuje.

Ciclos de Brayton de bajo OPR

Un motor puede funcionar con baja eficiencia del compresor si también tiene una
relación de baja presión. Tal motor tendrá un empuje muy bajo porque casi toda la
potencia se usa para accionar el compresor. En tal situación, el proceso de compresión
contribuye poco al Tt4, por lo que el consumo de combustible es relativamente
independiente (+/- 5%) del rendimiento del compresor. El empuje, mientras tanto, es
cercano a cero y puede duplicarse o incluso triplicarse con cambios de un solo punto
en la eficiencia del compresor o OPR. TSFC es la relación de estos dos y, por lo tanto,
es extremadamente sensible.

La Figura 2-13 ilustra el rendimiento del ciclo para el motor de demostración de línea
de base funcionando con relaciones de baja presión (1.5-2.0) y eficiencias del
compresor entre 0.40 y 0.65. El consumo de combustible es constante dentro de +/- 5%
del valor nominal de diseño. El empuje varía entre 2 gf y 16 gf dando un T Rango SFC
de 8.0-1.0 g / hr / g (ISP 450-3600 sec). Para eficiencias del compresor inferiores a
0,50, cada punto de eficiencia vale aproximadamente 1 gf de empuje. Para eficiencias
superiores a 0.50, cada punto de eficiencia vale 0.2-0.3 gf de empuje. Un punto de
relación de presión vale entre 1 y 2 gf de empuje, dependiendo de la eficiencia. El
aumento de la relación de presión siempre es beneficioso en este rango de rendimiento.
10 16
Thrust [gramsforce]

Figura 2-13: Ciclos del motor de demostración de baja relación de presión.

Combustor de Hidrógeno

La cámara de combustión puede afectar el rendimiento del motor a través de dos


variables de rendimiento. Una caída en la eficiencia de la cámara de combustión se
traduce directamente en una quema de combustible adicional sin aumentar el empuje.
Una caída en la relación de presión de la cámara de combustión se muestra como una
reducción en el empuje sin cambios en el consumo de combustible.

La Figura 2-14 ilustra el efecto de la relación de presión de combustión y la eficiencia


en el ciclo de referencia del motor de demostración. El análisis muestra una caída de
empuje de 3,6 gramos y un aumento de 1,0 g / g / hr T SFC por cada medio punto de
relación de presión de la cámara de combustión. El consumo real de combustible no se
ve afectado. El consumo de combustible es proporcional a la eficiencia de la cámara
de combustión, mostrando un aumento de 2.5 g / h por cada caída de 10 puntos en la
eficiencia. Esto corresponde a un aumento de 0.25 g / g-hr en TSFC. El empuje es
insensible a la eficiencia de la cámara de combustión, mostrando una pérdida de empuje
de 1,5 g sobre una caída de 30 puntos en la eficiencia.

24

10 12 14 16

Empuje [gramos de fuerza]

Figura 2-14: Impacto del comportamiento de combustión no ideal en el ciclo del motor
de demostración.

Combustión de hidrocarburos

Los estudios paramétricos anteriores fueron para un turborreactor alimentado con


hidrógeno. Se eligió el hidrógeno como combustible inicial porque es el combustible
más fácil de quemar en un dispositivo pequeño. Sin embargo, el hidrógeno no es un
combustible fácilmente almacenable. Los combustibles de hidrocarburos como el
butano, el propano, el acetileno o el queroseno se pueden almacenar como líquidos y
son preferibles para aplicaciones de energía portátiles.
Cambiar a un combustible de hidrocarburos afecta el ciclo de dos maneras. Primero,
los hidrocarburos tienen un valor de calentamiento de combustible menor que el
hidrógeno (aproximadamente 43 MJ / kg frente a 120 MJ / kg). Esto conduce a
aproximadamente el triple del consumo de combustible y un TSFC
correspondientemente más bajo. En segundo lugar, los productos químicos de la
reacción de combustión son diferentes. Esto conduce a un cambio en las propiedades
del fluido del flujo del núcleo de la turbina y un cambio correspondiente en el ciclo
general. La Figura 2-15 compara los cálculos de GASTURB para motores
turborreactores de combustión de hidrógeno y queroseno. El cálculo muestra que la
cinética química solo tiene un efecto insignificante (menos del 1%) en las estimaciones
de rendimiento cuantitativas y ningún efecto en los resultados cualitativos. Las
estimaciones de rendimiento del motor de combustión de hidrocarburos se pueden
extrapolar con precisión a partir de cálculos basados en hidrógeno simplemente
multiplicando la combustión de combustible, PSFC, TSFC o 1 / 1sp por la relación
inversa de los valores de calentamiento.

16.5

Figura 2-15: Comparación de los resultados de la combustión de hidrógeno e hidrocarburos (queroseno).


Sangrado del compresor y flujos secundarios

Todos los motores de turbina de gas involucran algún tipo de sistema de flujo
secundario. En un motor convencional, el sistema de flujo secundario purga el aire de
la descarga del compresor para proporcionar aire auxiliar de alta presión para uso del
cliente y como refrigerante para cojinetes, álabes de turbina y discos de turbina. En la
microingeniería de demostración, el aire de purga de la descarga del compresor se usa
para presurizar el sistema de soporte de gas. Alternativamente, este aire puede
suministrarse externamente, creando un sangrado 'negativo'. El aire también se escapa
a través de los sellos giratorios que separan las porciones de alta y baja presión del
motor. Finalmente, el aire de purga se puede usar como refrigerante. Cualquiera sea la
aplicación, el sangrado del aire del compresor lo elimina del ciclo y, en consecuencia,
tiene un impacto en el rendimiento general del ciclo.

Como se mencionó anteriormente, hay tres tipos de purga: (l) purga por la borda, (2)
purga de descarga de GNV y (3) purga de descarga de la turbina. En el motor de
demostración, el aire de suministro de los cojinetes de empuje hacia delante se purga
por la borda. También lo son las fugas a través de los puertos de presurización lateral
y los puertos de instrumentación. El diario que lleva el aire de suministro es el sangrado
de descarga de GNV. El aire de suministro del cojinete de empuje de popa de
demostración es el sangrado de descarga de la turbina. Si el motor de demostración
tuviera enfriamiento de la película de la turbina, este aire también sería un sangrado de
descarga de la turbina.

La Figura 2-17 ilustra el impacto del sangrado en el ciclo del motor de demostración
de referencia para un rango de relaciones de presión del compresor. La figura muestra
los efectos tanto del sangrado por la borda como del sangrado NGV. Dependiendo del
punto de reinyección dentro de la turbina, el rendimiento con la purga de descarga
turbinada estará en algún punto intermedio. Para todos los sangrados, el empuje y el
consumo de combustible disminuyen a medida que aumenta el sangrado. El empuje
disminuye porque se pierden la entalpía y el flujo de masa. El consumo de combustible
disminuye porque con más purga, se requiere menos combustible para mantener la
misma relación combustible / aire y Tt4 en la cámara de combustión. El sangrado de
NGV ofrece un rendimiento mucho mejor que el sangrado por la borda, lo que permite
duplicar el sangrado para un nivel de empuje dado.

16.5

10 12 14 16 18
Thrust [gramsforce]

Figura 2-17: Impacto de la resistencia del rodamiento en el ciclo fijo del motor de
demostración de flujo másico.

Según los resultados descritos anteriormente, el motor de demostración muestra


aproximadamente 3 gramos de empuje perdido por cada 5 puntos porcentuales de
sangrado por la borda y 1,5 gramos de empuje perdido por cada 5 puntos porcentuales
de sangrado de descarga de NGV. Un sangrado al agua del 15% utilizado para lograr
una relación de presión de 4.0 conduce a un empuje de 12.5 y un consumo de
combustible H2 de 12.5 g / h. Esto proporciona un TSFC de 1.0 g / hr / g (ISP 3600
sec), una reducción del 60% del valor de referencia de 1.6 g / hr / g.

Rodamiento

La turbomáquina giratoria en un motor de turbina de gas está soportada por un conjunto


de cojinetes. Los motores convencionales usan una variedad de rodamientos, incluidos
rodamientos de bolas, rodamientos de rodillos, rodamientos de película de aceite. El
motor de demostración utiliza cojinetes de gas. Típicamente, la resistencia de estos
rodamientos se escala con la velocidad del rotor al cuadrado. Al mismo tiempo, el
aumento de presión (por lo tanto, la relación de presión) también aumenta con la
velocidad al cuadrado. Existe una compensación entre una mayor relación de presión
y una mayor resistencia del rodamiento. Dependiendo del arrastre en el diseño de los
rodamientos, aumentar la velocidad del rotor puede aumentar o disminuir el empuje.

La Figura 2-16 ilustra la compensación entre la relación de presión y la resistencia del


rodamiento para el ciclo de demostración del motor de referencia, suponiendo un flujo
másico fijo del motor. El ciclo muestra que existe una compensación directa entre la
resistencia del rodamiento y el empuje. Cada 5 vatios de resistencia de rodamiento
cuesta 2 gramos de empuje. La relación de presión del compresor tiene poca influencia
en la sensibilidad del empuje al arrastre del rodamiento.

La figura también muestra el impacto del aumento de la velocidad del rotor. Dada una
geometría de carrete fija, aumentar la velocidad del carrete en un 40% duplica la
resistencia del rodamiento. Al mismo tiempo, el aumento de presión se duplica. Si el
motor inicialmente tiene una relación de presión de 2.0 y una resistencia de rodamiento
de 10 vatios, la relación de presión irá a 3.0 y la resistencia a 20 vatios. La Figura 2-16
muestra que esto conduce a una reducción del 12% en el empuje específico y un
aumento del 6% en TSFC. Si, el arrastre inicial se duplicara 5W a IOW, habría un
aumento del 4% en el empuje específico y una disminución del 6% en TSFC.

18

Figura 2-16: Impacto del sangrado en el ciclo del motor de demostración.

Presumimos un flujo másico fijo del motor arriba. Una suposición más representativa
es que el flujo de masa del compresor es proporcional a la velocidad del rotor, de modo
que un aumento del 40% en la velocidad conduce a un aumento del 40% en el flujo de
masa del motor. La Figura 2-18 ilustra el impacto de la velocidad del rotor en el
rendimiento del motor de demostración de línea de base cuando el flujo másico es
proporcional a la velocidad del rotor. La figura muestra que con la geometría actual, el
rendimiento se maximiza a aproximadamente el 140% de la velocidad del rotor,
aumentando el empuje de 10 gramos a 15 gramos y la eficiencia térmica del 2% al 3%.
La Figura 2-19 compara la velocidad y la eficiencia del rotor para varios arrastres de
cojinetes diferentes. La figura muestra que las reducciones en la resistencia del
rodamiento pueden conducir a un aumento significativo en la eficiencia térmica,
entregando aproximadamente 2 puntos de eficiencia por cada cambio de 12.5 puntos
en la relación de potencia del rodamiento / compresor.

La eficiencia máxima se produce a velocidades del rotor entre 140% y 160% del diseño.
Si la resistencia del rodamiento se reduce en dos tercios a 4W y la velocidad aumenta
al 140%, el motor ofrecerá eficiencias térmicas superiores al 6%.

Ciclos del turboeje

Debido a que la aplicación inicialmente prevista para el motor de demostración es como


un sistema de propulsión para un micro vehículo aéreo, los estudios paramétricos
anteriores se centraron en los motores turborreactores. Sin embargo, las aplicaciones
portátiles de energía eléctrica requerirán un motor de turboeje con un generador
eléctrico integrado. GASTURB y la hoja de cálculo Excel se utilizaron para evaluar el
rendimiento del motor de demostración como motor de turboeje. Los cálculos muestran
que el diseño de la línea de base daría aproximadamente 7,5 vatios de potencia del eje
si funcionara como un motor de turboeje.

En comparación con los motores convencionales, el motor de demostración ofrece bajo


rendimiento (pobre TSFC o eficiencia térmica). El ciclo de referencia tiene un bajo
rendimiento porque supone una baja relación de presión y eficiencia. La relación de
presión y la eficiencia son bajas porque el compresor funciona con un calentamiento
considerable, lo que genera grandes pérdidas dentro de los pasos de la cuchilla. El
Capítulo 4 describe los mecanismos detrás de este fenómeno en detalle. Sin embargo,
el mensaje esencial es que el rendimiento del compresor puede mejorar sustancialmente
si se elimina el calentamiento del compresor. Un compresor mejorado podría funcionar
conceptualmente con una relación de presión de 3.0 y una eficiencia del 65%. Como
muestra la Tabla 2-3, un motor de este tipo ofrecería una mejora de cinco veces en la
potencia de salida del eje de 8 W a 40 W y una mejora correspondiente en la eficiencia
térmica de la turbina de gas de 2.1% a 1 1%.

Punto de equilibrio de analisis

Debido a que la turbina debe producir suficiente potencia para accionar el compresor,
los motores de turbina de gas tienen un punto de equilibrio mínimo. Si algún
componente individual está por debajo de su eficiencia de equilibrio, el ciclo no se
cerrará. La eficiencia de equilibrio se calcula fácilmente configurando el trabajo de la
turbina igual a la suma del trabajo del compresor y del rodamiento:

Esta relación proporciona eficiencia de equilibrio en función de la relación de presión


del motor (OPR) y la temperatura de entrada de la turbina (Tt4). La Figura 2-20 traza
la relación para el ciclo de referencia del motor de demostración. los

77c t brng bleed p

Los resultados muestran que la eficiencia del compresor de equilibrio para el ciclo de
línea de base es del 44% y que cerca de la línea de base cada aumento de 200K en Tt4
reduce la eficiencia del compresor de equilibrio en aproximadamente 7 puntos
porcentuales.
Resumen de análisis de ciclo

La Tabla 24 resume los resultados cuantitativos del estudio del ciclo paramétrico. Estos
resultados cuantitativos son solo representativos ya que las sensibilidades específicas
varían con los parámetros exactos del ciclo. Sin embargo, son útiles para generar
estimaciones del impacto de varios posibles cambios de diseño.

El análisis paramétrico nos lleva a la siguiente conclusión cualitativa: Las formas más
efectivas para mejorar el rendimiento del motor son aumentar la eficiencia del
compresor y la relación de presión global (OPR) del compresor. Eficiencias en el rango
de 0.50-0.65 y relaciones de presión en el rango 3.0-5.0 son deseables. Las formas
prácticas de lograr este objetivo se describen en secciones posteriores. El arrastre del
rodamiento relacionado con la velocidad también es importante y la eficiencia térmica
de la geometría existente puede mejorarse en un factor del 50% al aumentar la
velocidad del rotor al 140% del diseño.

ENFRIAMIENTO DE TURBINAS

El enfriamiento de la turbina es el principal impulsor del diseño de microingeniería de


demostración. Como la mayoría de los motores a gran escala, la turbina de
microingeniería está diseñada para funcionar a temperaturas de gas muy superiores a
los límites de temperatura de su material estructural. En consecuencia, la estructura de
la turbina requiere enfriamiento. De lo contrario, la temperatura estructural alcanzará
la temperatura del gas y la turbina fallará.

Las restricciones particulares impuestas en el diseño del esquema de enfriamiento por


las restricciones de microfabricación hacen que el problema de enfriamiento del motor
de demostración sea aún más desafiante que para los motores convencionales. Primero,
el motor de demostración debe manejar una carga de calor comparativamente mayor.
Esto se debe a que la relación entre el área humedecida y el área de flujo transversal es
grande, pero los coeficientes de transferencia de calor y las temperaturas son
comparables. El área extra mojada es el resultado de palas de baja relación de aspecto
y un disco de turbina que está directamente expuesto al flujo de flujo de calor alto y
caliente en la turbina.

En segundo lugar, en comparación con los motores convencionales, hay menos


esquemas de enfriamiento mecánicamente factibles para el motor de demostración.
Finalmente, el motor de demostración tiene una baja eficiencia de componentes y, por
lo tanto, es muy sensible a la energía perdida en el esquema de enfriamiento.

Las siguientes discusiones describen los problemas a nivel de sistemas asociados con
el enfriamiento de la turbina. Sin embargo, el enfriamiento de la turbina también afecta
el diseño estructural y el diseño de la turbomáquina a nivel de componente.

Entorno operativo de turbina

La Tabla 2-5 compara los entornos operativos de la turbina del motor de demostración
y un motor convencional. Al igual que un motor convencional, la microingeniería está
diseñada para operar con temperaturas totales de entrada de la turbina en el rango de
1400K-1800K. Desafortunadamente, debido a que el diseño de microingeniería de
línea de base es completamente de silicio, tiene una temperatura estructural limitante
mucho más baja que un motor convencional. Aunque el silicio tiene una temperatura
de fusión de 1685 K, tiene poca resistencia a temperaturas superiores a 950 K. Las
cuchillas de un motor convencional pueden aceptar temperaturas estructurales que son
300-400K más calientes. Los discos de un motor convencional están limitados a
temperaturas comparables, pero no están expuestos directamente al flujo del núcleo
como en el motor de demostración.

Enfriamiento de transferencia de calor de turbina a compresor

En motores a gran escala, la carga de calor en la turbina se maneja usando una


combinación de enfriamiento por convección, enfriamiento de película y
recubrimientos de barrera térmica. La figura 2-21 ilustra una pala de turbina enfriada
convencional. Los esquemas de enfriamiento por convección y enfriamiento por
película implican la circulación del aire de enfriamiento purgado del compresor y que
pasa a través de los conductos de enfriamiento en las palas. Estos esquemas no se
implementan fácilmente en el motor de demostración porque aumentan la complejidad
de la fabricación. Sin embargo, muestran un potencial sustancial para mejorar el
rendimiento general del motor. Consulte la sección adjunta para obtener más detalles
sobre el enfriamiento por convección y el enfriamiento de la película.

Debido a que los esquemas de enfriamiento convencionales son difíciles de incluir en


el proceso de fabricación del motor de demostración, se requiere un esquema de
enfriamiento alternativo. Afortunadamente, la microingeniería tiene algunas
propiedades únicas que permiten que la transferencia de calor de turbina a compresor
se use como un enfoque de enfriamiento por convección alternativo mecánicamente
simple.

La figura 2-23 ilustra el mecanismo de enfriamiento del motor de demostración.


Debido a que la estructura de la microingeniería es muy pequeña y a que la
conductividad térmica del silicio es muy alta, el calor se conduce fácilmente a través
de la estructura del carrete. La alta conductividad significa que cantidades sustanciales
de exceso de calor pueden transferirse fácilmente desde el lado de la turbina del carrete
al lado del compresor del carrete con solo una pequeña diferencia de temperatura entre
los dos lados. Debido a que el carrete está más caliente que el fluido del compresor, el
calor se descargará en el flujo del núcleo del compresor. El resultado es una forma de
enfriamiento por convección.

1600

2-23: Variar el aislamiento térmico cambiando el área del eje.

Modelado e impacto en el rendimiento

El esquema de enfriamiento de transferencia de calor del compresor de turbina combina


estrechamente los comportamientos fluidos y térmicos / estructurales del motor de
demostración. El rendimiento del compresor en particular es sensible a la transferencia
de calor y, en consecuencia, a la temperatura del carrete. Las temperaturas estructurales
del compresor y la turbina son sensibles a la temperatura de entrada de la turbina y a la
transferencia de calor al compresor.
La interacción entre estos dos subsistemas del motor se puede modelar mediante un
modelo de parámetro agrupado unidimensional simple. La estructura del carrete del
motor de demostración está modelada como un compresor isotérmico y una turbina
isotérmica, cada una a una temperatura diferente, conectada por un eje con una
resistencia térmica uniforme y un gradiente lineal de temperatura. Como ilustra la
Figura 2-22, la conductancia del eje se controla variando el área unida del disco de la
turbina. Este modelo estructural se describe en detalle en el Apéndice B. Este sistema
estructural está acoplado a los sistemas fluídicos a través de coeficientes fijos de
transferencia de calor en la turbina y el compresor. La relación de presión y la eficiencia
del compresor son proporcionales al flujo de calor del compresor. Diseño de
componentes. Los cambios en el rendimiento de la turbina se descuidan. El rendimiento
del ciclo general se calcula a partir del rendimiento del compresor y los parámetros del
ciclo de referencia.

Basado en el modelo descrito anteriormente, la Figura 2-24 muestra el impacto de la


transferencia de calor de la turbina-compresor sobre la estructura del motor y el
rendimiento del compresor. Los resultados muestran que el diseño actual tiene una
temperatura de la turbina de 920 K y una temperatura del compresor de 850 K para una
temperatura de entrada de la cámara de combustión de 1600K. Esto proporciona una
transferencia de calor de turbina a compresor de 52 W y reduce la eficiencia del
compresor a 0,35 desde su nivel adiabático 3D predicho de 0,60.

Los resultados muestran que el diseño requiere un aislamiento térmico sustancial del
compresor y la turbina para lograr una caída significativa en la transferencia de calor
del compresor y una mejora correspondiente en la eficiencia del compresor. Disminuir
la conductancia al 10% de su valor de referencia reduce la transferencia de calor del
compresor en un 20% de 52 W a 42 W. Esto proporciona una mejora de 4 puntos en la
eficiencia. Cortar la conductancia del eje al 1% de su valor de referencia reduce la
transferencia de calor en 2/3 a 15 W, eleva la eficiencia al valor del ciclo de referencia
de 0,50. Sin embargo, esto conducirá la temperatura de la pared de la turbina a 1350 K,
lo que requiere materiales avanzados o un esquema de enfriamiento de 'barrera' como
el enfriamiento de la película. Este análisis motivó a Miller a estudiar el uso de carburo
de silicio en un rotor aislado térmicamente. Miller demostró que una estructura híbrida
de carburo y silicio permite una mayor temperatura de funcionamiento de la turbina,
reduciendo así la transferencia de calor a través del carrete.

En comparación con el modelo de identificación presentado aquí, los resultados 3D de


Chen muestran una temperatura del carrete entre 690 K en el lado del compresor y 815
K en el lado de la turbina. Esto proporciona una transferencia de calor de 35 W y una
eficiencia del compresor de 0,40. La discrepancia es el resultado de dos factores.
Primero, los efectos 3D aumentan la resistencia térmica del carrete, reduciendo la
transferencia de calor. En segundo lugar, el modelo 3D predice temperaturas generales
más bajas porque su modelo de fluido no incluye la caída en la eficiencia (aumento de
la temperatura del fluido del compresor) asociada con la adición de calor del
compresor. Se está realizando un modelado adicional en el MIT para mejorar la
coincidencia entre los resultados de ID y 3D. A pesar de la discrepancia, los resultados
de ID capturan el impacto cualitativo de la adición de calor y apuntan a la necesidad de
reducir la transferencia de calor al compresor en una cantidad sustancial. Incluso a los
35 W predichos por Chen, el compresor no alcanza el nivel de equilibrio de 0.44
calculado para el ciclo.
TEMPERATURA DE ENTRADA DE TURBINA

Los requisitos para el enfriamiento de la turbina degradan sustancialmente el


rendimiento del compresor. Un enfoque es variar tanto la geometría como la
temperatura de entrada de la turbina. Si se reduce la temperatura de entrada a la turbina,
se reducirá la transferencia de calor de la temperatura de la turbina al carrete. La
temperatura estructural de la turbina también disminuirá. Si se aumenta el aislamiento
térmico entre el compresor y la turbina, la temperatura de la turbina se puede elevar
nuevamente al límite del material, reduciendo aún más la transferencia de calor. El
resultado neto es una compensación entre el rendimiento mejorado del compresor
debido a una menor transferencia de calor y una menor potencia de la turbina debido a
una temperatura de entrada de la turbina más baja.

La Figura 2-25 ilustra el impacto de este concepto de control térmico en el rendimiento


del motor de demostración. La transferencia de calor y el consiguiente rendimiento del
compresor se calculan a partir de la temperatura de entrada de la turbina, la temperatura
estructural y el coeficiente de transferencia de calor de la turbina. El ciclo de referencia
se recalcula con el nuevo rendimiento del compresor y la temperatura de entrada de la
turbina. El gráfico supone que la temperatura estructural de la turbina se mantiene fija
a 950 K y que el coeficiente de transferencia de calor de la turbina de referencia de
2580 W / m2-K no se ve afectado por la temperatura del gas de la turbina. El ciclo se
calculó para varios valores de Tt4. El cálculo muestra que el rendimiento del motor de
demostración aumenta monotónicamente con la temperatura de entrada de la turbina.
Los beneficios de la reducción de la transferencia de calor del compresor no se ven
superados por la caída en la potencia de la turbina asociada con un Tt4 más bajo. La
temperatura de entrada de la turbina del motor de demostración debe mantenerse a 1600
K o más.
Baseline Thrust = 9-10 grams, Fuel burn = 16 grams hydrogen / hr

Turbomachinery Thrust -50% to as OPR varies from 2.0 to 5.0


Thrust +100% as compressor efficiency varies from 0.50 to 0.65
TSFC -50% as compressor efficiency varies from 0.50 to 0.65

Low OPR Fuel burn independent (+1-5%) of compressor performance


(OPR 1.5-2.0) Thrust 2 grams to 16 grams as efficiency from 0.40 to 0.65
TSFC varies 8.0 gig-hr to 1.0 gig-hr as efficiency varies from 0.40 to
0.65 One point of efficiency is worth between 0.2 ands I .0 grams of
thrust.
Hydrogen Combustor Fuel burn proportional to combustor efficiency: 2.5 g/hr of fuel per 10 points of efficiency
Thrust insensitive to combustor efficiency. Fuel burn insensitive to pressure ratio.
TSFC +0.25 gig-hr for every 10 points of combustor efficiency.
3.6 gram drop in thrust for every 1/2 point of compressor efficiency.

Hydrocarbon Performance insensitive (1%) to combustion chemistry.


Combustio Hydrocarbon fuel burn and TSFC -3x hydrogen results.

Bleed 3 grams of lost thrust for even,' 5 points of overboard bleed.


1.5 grams of lost thrust for every 5 points of NGV discharge bleed.

Bearing drag Max engine perfromance at 140% rotor speed


2 points of engine thermal efficiency for every 12.5 point change in bearing/compressor
power ratio.

Breakeven analysis Breakeven compressor efficiency is approximately 44%.


Every 200K increase in Tt4 drop breakeven efficiency 7 points.

Tabla 2-5: Comparación del entorno operativo de la turbina en motores de


demostración y motores convencionales.

RESUMEN DEL CAPÍTULO

Este capítulo describe el diseño general del sistema del micro motor de demostración.
La discusión incluyó la identificación de requisitos funcionales y restricciones, análisis
de ciclo, diseño y oficios a nivel de sistemas. El esfuerzo de diseño muestra que es
factible un motor turborreactor de ciclo cerrado, totalmente de silicio.

El diseño propuesto supone una relación de baja presión (1.8), un compresor de baja
eficiencia (0.50) y una baja eficiencia térmica (menos del 2%). El rendimiento se puede
mejorar a una eficiencia del 6% al aumentar la relación de presión a 3.0 y la eficiencia
del compresor a 0.50-0.65. Si las limitaciones estructurales lo permiten, también se
puede lograr un mayor rendimiento al aumentar la velocidad del rotor en un 40%.

El ejercicio de diseño muestra que la temperatura estructural de la turbina es el principal


requisito que limita el rendimiento. El esquema de enfriamiento de la turbina propuesto
transfiere calor al compresor, lo que lleva a una relación de baja presión y eficiencia.
El trabajo futuro debería centrarse en reducir esta transferencia de calor mediante el
uso de enfriamiento de película y / o materiales y estructuras avanzadas. Si la
transferencia de calor se reduce en un 60%, debería ser posible un motor de ciclo
cerrado.

Figura 2- 1: Sub-sistema de ingeniería ejemplo


Gorra delantera

Cojinete de empuje delantero

Compresor

Turbina

Cojinete de empuje de cola

Tapa de popa

Figura 2-2: Concepto de apilamiento de oblea.


Diseño del motor de demostración de línea de base:

- 400 um cuchillas.

- 500 um diario.

- 900 um combustor.

- Combustor con 'chaqueta de enfriamiento'.

- turbomaquinaria integrada.

Estructura estática en caliente [Mehral Turbocharger Build I (Fabricated)

- 400 um cuchillas - 225 um cuchillas

- 1000 um combustor - 300 um journal

- Combustor con 'camisa de enfriamiento' - 525 um combustor

- Sin rodamientos ni turbomáquina - Sin 'camisa de enfriamiento', caminos de gas separados


DISEÑO DE COMPONENTES
Este capítulo describe los detalles del diseño de componentes para el micro motor de
demostración. Los objetivos del capítulo son documentar el razonamiento detrás del
diseño de cada componente, identificar los problemas de diseño a nivel de componentes
críticos y las compensaciones, y proponer áreas de enfoque para futuros diseños de
componentes. El diseño del componente del motor de demostración representa el
esfuerzo acumulativo de más de 30 estudiantes, profesores y personal en el programa
MIT.

Diseño del sistema, el motor de demostración se compone de tres subsistemas


principales: (l) Turbomachinery, (2) Combustor y (3) Rodamientos. La turbomáquina
incluye el compresor, la turbina y la estructura giratoria asociada. La cámara de
combustión incluye la cámara de combustión propiamente dicha, los inyectores de
combustible y la estructura estática asociada. Los cojinetes incluyen los cojinetes de
empuje, el cojinete diario y el sistema de flujo secundario asociado.

Todos los subsistemas del motor fueron diseñados como parte de un proceso de
ingeniería basado en la revisión del diseño. Primero, la morfología básica se determinó
durante el diseño y los estudios de sistemas. Luego, las especificaciones y requisitos
funcionales se definieron como parte del proceso de diseño del sistema. Dada la
morfología, las especificaciones y el conocimiento de las capacidades de fabricación
disponibles, se desarrollaron diseños y dimensiones preliminares de los componentes.
Los diseños preliminares se presentaron en una revisión preliminar del diseño y se
modificaron en base a aportes externos. Estos diseños fueron refinados en detalle por
los otros investigadores en los grupos de diseño de componentes. Este diseño final fue
revisado en una revisión crítica de diseño. Los dibujos del dispositivo y las máscaras
se hicieron de este diseño para la implementación de fabricación. El dispositivo fue
fabricado con el mejor esfuerzo posible para que coincida con la intención del diseño.
Al mismo tiempo, el diseño se analizó más a fondo utilizando técnicas de análisis
refinado.

COMPRESOR

La eficiencia general del ciclo y la potencia de salida se mejoran a medida que aumenta
la eficiencia del compresor y a medida que aumenta la relación de presión para niveles
de hasta 5.0. El análisis también mostró que un motor con una relación de presión de
1.8 y una eficiencia de 0.50 podría cerrar un ciclo. La eficiencia de equilibrio es 0.40.
Por lo tanto, los requisitos funcionales para el motor de demostración se convirtieron
en una relación de presión de 1.8 y una eficiencia superior a 0.40. Para lograr el objetivo
final de 10 gramos, el compresor se dimensionó para un flujo másico de 0,36 gramos.

El diseño del compresor está limitado de las siguientes maneras: (l) Las propiedades
del material del silicio limitan la tensión máxima permitida a 500-1000 MPa; (2) Las
capacidades de microfabricación limitan la geometría a las formas extruidas
bidimensionales.

Diseño de compresor

Dados los requisitos funcionales y las limitaciones, el motor de demostración fue


diseñado para una velocidad punta de 500 m / seg, una relación de presión adiabática
de 3.0 y una eficiencia adiabática del 50%. La geometría se ilustra en la imagen 3-1.
Jacobson inicialmente diseñó este compresor para un radio de 2 mm y una relación de
presión de 4. Jacobson analizó el diseño usando 21) MISES, un código CFI de capa
límite integral. Youngren volvió a escalar y optimizó el diseño para que coincida con
el radio de 4 mm y un flujo másico de 0,36 g / seg del diseño preliminar del motor.
Youngren también modificó el cálculo de 21), para tener en cuenta la adición de calor.
Gong analizó el compresor rediseñado de Youngren con adición de calor en 3D
utilizando FLUENT.

8 mm 6 mm
Parámetros de diseño del compresor: Parámetros de diseño de turbina:

Flujo de masa: 0.36 g/sec Flujo de masa: 0.345 g/sec


Pressure Ratio (Adiabiatic): 3 Pressure Ratio (Adiabiatic): 1 .6
Relación de presión: 1 .8 Relación de presión: 1 .6
Eficiencia adiabática: 0.50 Eficiencia adiabática: 0.70
Temperatura de la pared: 850 K Temperatura de la pared: 850 K
Temperatura del gas (entrada):300 K Temperatura del gas(entrada): 1600 K
Altura de la cuchilla: 400 um Altura de la cuchilla: 400+ um

Figure 3-1 : Geometría de compresor y turbina.


Rendimiento del compresor

La Figura 3-2 traza el mapa del compresor para el motor de demostración según lo
previsto por el 3D CFI)]. El mapa muestra una relación de presión máxima predicha de
2.7 con una eficiencia de 0.53 y una eficiencia máxima de 0.59 con una relación de
presión de 2.3 cuando el compresor funciona adiabáticamente, Diseño del sistema, el
motor de demostración funciona con un compresor "caliente" para el enfriamiento de
la turbina. A una temperatura de la pared del compresor de 800K, el compresor tiene
una relación de presión pico predicha de 1.8 a una eficiencia de 0.33 y una eficiencia
pico predicha de 0,36 a una relación de presión de 1,7. El esquema de enfriamiento
provoca una caída de más del 30% en el rendimiento previsto del compresor,
empujándolo por debajo de la eficiencia de equilibrio del ciclo del 44% previsto.

0.0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6


Flujo másico / flujo másico de diseño.

Imagen 3-2: Líneas de velocidad del compresor (100%) predichas por CFD.
Transferencia de calor de modelado

(3D CFI) son herramientas poderosas para el diseño y el análisis, sin embargo, siguen
siendo demasiado complicados para implementar en estudios de sistemas. Sin
embargo, los cálculos de CFI) de Gong y Youngren muestran que la transferencia de
calor influye sustancialmente en el rendimiento del compresor del motor de
demostración y, por lo tanto, en el ciclo general. Se requiere un modelo simplificado
de este comportamiento para incorporarlo a los estudios de rendimiento del sistema.

Se deben tener en cuenta tres factores para modelar con precisión el comportamiento
del compresor en presencia de adición de calor: (l) cambios en la eficiencia, (2)
cambios en la relación de presión, (3) cambios en el flujo másico.

Los tres factores pueden explicarse con un modelo simple de "precalentamiento" del
comportamiento del compresor. Este modelo rompe el proceso de compresión no
adiabática en un calentamiento a presión constante a la presión de entrada seguido de
un proceso de compresión adiabática a la presión final. El concepto se ilustra en la
Figura 3-3. Gong inicialmente validó este modelo contra 3D CFI) para las predicciones
de eficiencia. Como se muestra aquí, el modelo también es válido (+/-
aproximadamente 10%) para la relación de presión y la predicción de flujo másico.

Dado un flujo de calor específico calculado a partir de los coeficientes de transferencia


de calor pronosticados, la temperatura del gas de entrada y la temperatura estructural,
la eficiencia de un compresor con adición de calor puede predecirse mediante la
siguiente ecuación:
Esta ecuación simplemente carga la eficiencia del compresor por la relación del trabajo
requerido para

12 heat

donde AT heat = cp)

comprima el flujo a una relación de presión dada después de calentar versus antes de
calentar. El término ATheat es simplemente el aumento de la temperatura del flujo
asociado con el calentamiento, de modo que T + ATheat es la nueva temperatura de
entrada efectiva. La Figura 34, tomada de Gong, compara este modelo y los cálculos
de CFI) para una variedad de puntos de operación, diseños y condiciones de entrada
del compresor. El modelo coincide con los resultados del CFI) dentro del 10%.

El mismo argumento puede extenderse a los cambios del modelo en la relación de


presión. Si el flujo en el compresor del motor de demostración se modela como
incompresible, el aumento de presión a través del compresor será proporcional a la
fuerza centrífuga sobre un elemento fluido. Si todo el calentamiento ocurre antes de la
compresión, el flujo de calor afectará la densidad del fluido y, por lo tanto, la presión
subir, a través de la ley de los gases ideales, P = pRT. El aumento de presión con la
adición de calor es entonces:

12 heat

c adiab -1) 12 heat

La figura 3-5 compara este modelo de relación de presión con los cálculos de Gong 21)
y 3D CFI). La figura muestra que el modelo hizo coincidir los cálculos con un 10%
para relaciones de presión adiabáticas por debajo de 2.0. A medida que aumenta la
relación de presión, el supuesto de flujo incompresible se rompe y el error aumenta
rápidamente. En todos los casos, el modelo predice en exceso la relación de presión.

Figura 3-5: Comparación del modelo de relación de presión con los resultados de CFD.

El argumento también puede extenderse a los cambios del modelo en el flujo másico
del compresor. La eficiencia máxima del compresor se producirá cuando los triángulos
de velocidad del flujo coincidan con los ángulos de la pala. Si la velocidad del rotor se
mantiene fija, esto corresponderá a un valor específico de la velocidad del flujo. En
esta condición, el flujo másico en los pasos de la cuchilla dependerá de primer orden
solo de las propiedades del gas de entrada. Suponiendo una velocidad especificada, el
flujo de masa a través del motor de demostración

adiab

El compresor adiab será proporcional a la densidad de entrada. Por lo tanto, el flujo


másico del motor se puede modelar:
La Figura 3-6 compara este modelo de relación de presión con los cálculos de Gong
21) y 3D CFI). La figura muestra que el modelo coincidió con todos los cálculos dentro
del 5% para las relaciones de presión adiabáticas por debajo de 2.0 y dentro del 15%
para todos los casos.

Figura 3-6: Comparación del modelo de flujo másico con los resultados de CFD

Geometria Modificada

Varias modificaciones a la geometría de la línea base pueden mejorar el rendimiento.


El barrido reducido de la cuchilla aumenta la relación de presión y el flujo másico del
motor sin sacrificar la eficiencia. Las cuchillas huecas pueden reducir el arrastre y el
bloqueo de la punta. Una cubierta de punta también puede mejorar el rendimiento si se
pueden desarrollar sellos adecuados.
Resumen

El diseño del compresor del motor de demostración está dominado por factores de
microfabricación. El rendimiento está limitado por tres factores principales: (l)
transferencia de calor debido al enfriamiento de la turbina, (2) efectos numéricos de
Reynold y (3) geometría de la pala. De estos factores, la transferencia de calor es la
más importante, ya que reduce el aumento de la presión del compresor y la eficiencia
en un 60% de sus valores adiabáticos.

TURBINA

La Figura 3-1 ilustra el diseño de la turbina de microingeniería. La turbina está diseñada


para una relación de presión de 1.2, un flujo másico de 0.345 g / seg y una temperatura
estructural de 950K a una temperatura de entrada de gas de 1600K. Al igual que el
compresor, la turbina fue diseñada en 21) usando MISES. Jacobson desarrolló un
diseño inicial de turbina fría utilizado en la plataforma de microcojinetes de Lin. Mehra
analizó este diseño en un cálculo adiabático de 300K de entrada (CFI 3D), quien
descubrió que la turbina 3D tenía un flujo de buen comportamiento con capas límite
adjuntas y sin una geometría de flujo tridimensional significativa. Mehra encontró una
eficiencia de turbina adiabática 3D de 0.85 versus una eficiencia de 21) de 0.95.
Youngren diseñó una nueva turbina para el motor de demostración. Este diseño tuvo
en cuenta los efectos de transferencia de calor en la estructura 950K. La nueva turbina
también fue rediseñada para ofrecer una mayor potencia de salida específica. Los
cálculos de Youngren 21) muestran una eficiencia isentrópica total a total de la turbina
de 0,91. Usando la relación de Mehra de 21) a la eficiencia 3D, esto corresponde a la
eficiencia 3D 'base' de 0.70. Phillippon está analizando la turbina del motor de
demostración en 3D utilizando el código Fluent comercial CFI). Los resultados de estos
cálculos no estaban disponibles al momento de la escritura.
Al igual que el compresor, la turbina es sensible a la transferencia de calor. El
enfriamiento de las capas límite de la turbina aumenta su densidad, lo que provoca una
mayor tendencia a que la capa se centrifugue hacia afuera. Este efecto es menos
prominente en la turbina debido al gradiente de presión beneficioso. Al igual que el
compresor, la eficiencia de la turbina es sensible a la transferencia de calor. Sin
embargo, el impacto es que la turbina es mucho más pequeña debido a la alta
temperatura de entrada. Suponiendo el mismo modelo de precalentamiento /
precalentamiento utilizado para el compresor, la eficiencia de la turbina es:

adiab

Para una temperatura de entrada de la turbina de 1600 K y 50 W de transferencia de


calor, esto proporciona una relación de eficiencia de 0,90.

El diseño actual de la turbina se basa en los 21) diseños iniciales de compresor y turbina
de Youngren. Actualmente se está realizando un análisis detallado del diseño de la
turbina. Las indicaciones preliminares sugieren que el diseño actual de la turbina no
coincide con el compresor debido a los efectos tridimensionales.

ESTRUCTURA DE LA BOBINA

Esta sección describe brevemente los principales problemas asociados con el diseño
estructural de la estructura giratoria del motor de demostración. Los cuatro problemas
principales que deben abordarse para el diseño estructural del carrete son (l)
propiedades del material, (2) tensiones del rotor, (3) deflexión del disco y (4) fluencia.
Requisitos funcionales y restricciones

El requisito funcional de la estructura giratoria es mantener la integridad estructural a


una velocidad de punta del compresor de 500 m / seg y una temperatura de gas de
turbina de 1600K. Además, la estructura del carrete debe implementar el esquema de
enfriamiento de la turbina. Las restricciones sobre el diseño estructural del carrete son
impuestas por la microfabricación e incluyen el uso de silicio como material y el uso
de técnicas de microfabricación 2D extruidas.

Propiedades materiales

El motor de demostración está fabricado con silicio de cristal único. El silicio se utiliza
porque actualmente existen herramientas para fabricar microestructuras con la
precisión necesaria para una microingeniería. El silicio monocristalino tiene excelentes
propiedades mecánicas a bajas temperaturas. Sin embargo, sus propiedades mecánicas
se degradan rápidamente con el aumento de la temperatura. Esto requiere el
enfriamiento de la estructura de microingeniería. Si existieran herramientas para
fabricar microestructuras a partir de cerámica refractaria de alta temperatura, como el
carburo de silicio o el nitruro de silicio, estos materiales serían preferibles al silicio.
Lohner ofrece una discusión exhaustiva sobre los méritos y diversos materiales,
incluyendo silicio y carburo de silicio para aplicaciones de microingeniería.

Las propiedades mecánicas del silicio se resumen en la Tabla 3-1. Desde la perspectiva
del diseño estructural del carrete, las características más importantes del material son
la resistencia a fallas (omax), la resistencia centrífuga (ormx l / 2 / p), la temperatura
máxima de operación y la conductividad térmica. La resistencia a la falla,
particularmente en forma de resistencia centrífuga, determina la velocidad máxima de
funcionamiento de un diseño de rotor dado (la tensión del rotor se escala con el
cuadrado de la velocidad del rotor). La temperatura máxima de operación determina el
nivel de enfriamiento de la turbina requerido para una temperatura de gas dada. La
conductividad térmica determina el nivel de transferencia de calor de las secciones
calientes a las secciones frías de una geometría de motor dada.

El comportamiento de rendimiento a alta temperatura es una propiedad material


particularmente importante del silicio monocristalino. Aunque el silicio se derrite a
1688 K, pierde resistencia mecánica a temperaturas mucho más bajas. A temperaturas
superiores a aproximadamente 900 K, el límite elástico del silicio disminuye
rápidamente. La figura 3-7 ilustra el límite elástico frente a la temperatura. Además,
una vez que las tensiones en la estructura exceden esta resistencia y el material
comienza a ceder, la resistencia disminuye aún más, lo que lleva a una tensión continua.
La consecuencia práctica de este comportamiento es que los componentes más
calientes deben operar con tensiones más bajas y no se puede permitir que las tensiones
críticas en componentes como el rotor excedan el límite elástico incluso en transitorios.
En base a los datos presentados en la Figura 3-7, 950 K es un límite de temperatura
práctico para estructuras rotativas altamente estresadas (100s de MPa).

Estrés

El estrés es el factor principal que limita la velocidad operativa y, por lo tanto, la


relación de presión del rotor del motor de demostración. El motor de demostración está
construido completamente de silicio y, por lo tanto, tiene un esfuerzo operativo máximo
de aproximadamente 500 MPa a la temperatura de diseño de 950K. Hay tres tensiones
importantes en la estructura del rotor: (l) tensión del disco, (2) tensión de la raíz de la
pala del compresor y (3) tensión de la raíz de la pala de la turbina. Las tensiones en el
compresor y los discos de la turbina son el resultado de fuerzas centrífugas a medida
que aumenta la velocidad del rotor. Los discos deben mantenerse unidos. También
deben retener las cuchillas. Chen calculó el esfuerzo del disco para un micro motor
'generalizado' y descubrió que estaba por debajo de 600 MPa. Verificaste los resultados
para la geometría del motor de demostración

Las tensiones de la raíz del álabe del compresor y la turbina son el resultado de una
combinación de fuerzas de presión de fluido y fuerzas centrífugas que intentan 'doblar'
el álabe. Chen demostró que las fuerzas centrífugas son el factor principal que establece
la tensión de la raíz de la cuchilla del motor de demostración, y las presiones de los
fluidos juegan un papel menor (menos del 10%). Chen también demostró que la tensión
de la raíz en las palas del compresor no es crítica debido a su baja relación de aspecto
(altura de la pala / cuerda). Para la geometría del motor de demostración con cuchillas
sólidas, la tensión máxima en las cuchillas es de aproximadamente 160 MPa a la
velocidad de diseño de

1.2 millones de RPM. El estrés de la raíz de la cuchilla puede reducirse al vaciar las
cuchillas. Miller demostró que este estrés puede reducirse a 100 MPa al vaciar las
cuchillas. El estrés en la raíz de la cuchilla también es una función del radio de filete
en la raíz de una cuchilla. Según los cálculos de Chen, la tensión en la raíz de la cuchilla
puede variar en un 50% a medida que el radio del filete se mueve de 26 um a 38 um.
El diseño de referencia del motor de demostración requiere filetes de 40 um en cuchillas
de 400 um de altura.

Desviación

El motor de demostración está diseñado con espacios de precisión para cojinetes de


empuje, cojinetes de cojinete y espacios libres de puntas. Como resultado, la
deformación dependiente de la velocidad de la estructura giratoria también es
importante. Los cálculos de deflexión deben tener en cuenta los efectos centrífugos, los
efectos de expansión térmica diferencial y los cambios dependientes de la temperatura
en las propiedades del material. Chen estudió inicialmente la desviación de un diseño
general de rotor de microingeniería. Estudiaste la desviación de la estructura del motor
de demostración, teniendo en cuenta todos los factores. El resultado más importante
del estudio es la extensa desviación de la punta del compresor a la velocidad de diseño.
Debido a que el compresor sobresale de la turbina y a que las palas del compresor son
grandes, el carrete tiene un fuerte modo 'paraguas' que enrolla el compresor sobre la
turbina. Este modo abre el espacio libre de la punta del compresor y pellizca el "sello
de la llanta" del compresor. Para evitar el contacto entre el sello de la llanta y la
estructura estática, el sello no se implementó en el motor de demostración fabricado y
los dispositivos de turbocompresor descritos aquí. Los resultados también muestran
cambios menores en las holguras operativas de cojinetes de empuje y cojinetes de
empuje.

Arrastrarse

La fluencia es la principal preocupación estructural final para el diseño del motor de


demostración. En los motores convencionales, los discos de la turbina tienen un "límite
de fluencia", lo que significa que su vida útil se establece por el tiempo que le toma al
disco crecer una cantidad específica bajo una carga continua de alta temperatura. Chen
demostró que el comportamiento de rendimiento plástico del silicio monocristalino, la
fluencia es menos preocupante para el motor de demostración. Si el carrete funciona a
tensiones por debajo del límite de rendimiento dependiente de la temperatura, la
estructura tendrá un comportamiento elástico con poco o ningún efecto de arrastre. Si
la estructura opera más allá de este esfuerzo, el silicio 'fluirá', causando una falla
instantánea.
DISEÑO TÉRMICO DE CARRETE

El diseño térmico del carrete controla la temperatura de la turbina y, en consecuencia,


el esfuerzo máximo permitido. En el motor de demostración, la estructura del carrete
se enfría conduciendo calor desde la estructura de la turbina al flujo del compresor.
Este esquema tiene una serie de consecuencias del sistema.

ESTRUCTURA ESTÁTICA Y DEL COMBUSOR

El combustible se quema en la cámara de combustión para elevar la temperatura del


flujo de descarga del compresor, energizándolo para impulsar la turbina. Debido a que
la cámara de combustión controla la temperatura máxima del ciclo, es el determinante
principal de la potencia de salida del motor. La cámara de combustión requiere una
geometría de flujo para dirigir el flujo del núcleo fuera del compresor hacia la cámara
de combustión y fuera de la cámara de combustión hacia la turbina. Esta ruta de flujo
también aísla la cámara de combustión, preservando la eficiencia térmica. Juntos, la
cámara de combustión y la ruta de flujo asociada constituyen la 'estructura estática' del
motor. El diseño de la estructura estática es considerablemente menos difícil que el
diseño de la estructura giratoria. Sin embargo, el diseño de la estructura estática tiene
un impacto significativo en el tamaño y la fabricación del motor.

El proceso de combustión implica dos pasos fundamentales: mezcla de combustible y


combustión. La mezcla de combustible incluye la inyección del combustible y la
difusión del combustible en el aire de descarga del compresor para crear una mezcla de
combustible / aire. La combustión implica ignición y reacción química de la mezcla de
combustible / aire. Juntos, ambos pasos deben realizarse en el tiempo que tarda el flujo
de aire principal en pasar de la descarga del compresor a la entrada de la turbina. El
tiempo de mezcla está controlado por la escala relativa del chorro de mezcla y el flujo
del núcleo. Se puede lograr una mezcla más rápida utilizando un mayor número de
inyectores de combustible más pequeños. El tiempo de reacción química es
independiente de la geometría. En cambio, se rige por la cinemática química asociada
de la reacción de combustión. El aumento de la temperatura aumenta la velocidad de
reacción, disminuyendo el tiempo de reacción. El aumento de la presión también
conduce a un aumento en la velocidad de reacción, aunque esta dependencia es más
débil que la dependencia de la temperatura.

RODAMIENTOS Y FLUJO SECUNDARIO

El rotor del motor de demostración está soportado por un conjunto de cojinetes de gas
que suspenden el rotor radial y axialmente. Un par de cojinetes de empuje opuestos
soporta el rotor axialmente. Un diario circular que se apoya en el borde de la turbina
soporta el rotor radialmente. Ambos rodamientos son hidrostáticos y se suministran
con aire externo.

El requisito funcional principal del sistema de rodamientos es evitar que el rotor golpee
las superficies de la pared a velocidades de hasta 1.2 millones de RPM. Esto requiere
un funcionamiento estable de los rodamientos en todo el rango de velocidades. Las
principales limitaciones de diseño son las capacidades de fabricación y el uso del flujo.
Finalmente, un motor autoportante requeriría cojinetes roscados internamente, y el
sistema de cojinetes tendría que funcionar sin usar una fracción excesiva del flujo de
masa del compresor. En este caso, se prefieren los cojinetes hidrodinámicos porque no
requieren flujos de purga. Para simplificar las pruebas, el diseño de demostración actual
utiliza rodamientos hidrostáticos presurizados externamente.
Rodamientos axiales

Estos rodamientos funcionan inyectando aire a presión a través de una serie de capilares
largos en un espacio estrecho. El motor de demostración específico tiene veinte l de
diámetro, restrictores de 100 um de largo espaciados uniformemente alrededor de un
círculo en un radio de 0,75 mm. El espacio de rodamiento totaliza 7 um (3.5 a cada
lado del rotor) y tiene un radio de I mm. La microfabricación y las restricciones
programáticas son los principales impulsores del diseño del rodamiento de empuje.
Analizó la rigidez del diseño específico del motor de demostración. A diferencia de los
dispositivos de los cojinetes de empuje del motor de demostración son un diseño nuevo.
Su éxito, Resultados experimentales, confirma aún más la validez de las metodologías
de diseño actuales.

Cojinete de diario

El cojinete del muñón del motor de demostración retiene el rotor en la dirección radial.
El rodamiento es simplemente un espacio estrecho (15 um) entre el disco de la turbina
y la estructura estática del motor. Como se ilustra en la Figura 3-8, el rodamiento tiene
provisiones para un grifo externo que conduce a la parte posterior del disco del
compresor. Este grifo se puede usar para medir la presión en este lado del cojinete del
diario o para establecer esa presión. Tal como se diseñó originalmente, los cojinetes
del muñón iban a funcionar de forma hidrodinámica. La operación hidrodinámica
requiere una carga lateral para la estabilidad. Los resultados experimentales con el
equipo de rodamiento micro muestran que la operación hidrostática del rodamiento
suministrada externamente debería permitir la operación a la velocidad de rotor
diseñada de 1.2 millones de RPM. Como resultado, los dispositivos fabricados fueron
modificados para la operación hidrostática.
Sistema de flujo secundario

Como se discutió anteriormente, ambos sistemas de rodamientos requieren


presurización externa. Al mismo tiempo, el motor fue diseñado para usar solo
interconexiones fluídicas frontales para que sea compatible con la instalación en un
micro vehículo aéreo. En particular, el sistema de flujo secundario del motor de
demostración debe viajar desde la superficie frontal del dispositivo hasta el centro de
la matriz a través del borde exterior y la superficie posterior. Esto se hace para
suministrar aire al rodamiento y al cojinete de empuje de popa mientras se preserva el
aislamiento térmico de la cámara de combustión. Resultados experimentales, el sistema
de flujo secundario contribuyó a los límites en la operación del dispositivo.

FABRICACIÓN DE COMPRESOR

Este capítulo analiza el desarrollo de los procesos de fabricación de los dispositivos de


prueba de motor de demostración inicial. La primera parte de esto presenta la base de
las capacidades de microfabricación actualmente disponibles para el desarrollo de
micros motores y describe el estrecho acoplamiento entre la capacidad de fabricación
y el diseño. La segunda parte de este capítulo describe el proceso general de fabricación
utilizado para construir los dispositivos de prueba iniciales. Las partes finales de este
capítulo discuten las capacidades de fabricación específicas que se desarrollaron para
realizar los dispositivos de prueba iniciales y las nuevas capacidades que deben
desarrollarse para realizar completamente el diseño completo.

La fabricación de los dispositivos de motor de demostración inicial representa el


esfuerzo acumulativo de varios investigadores y personal del MIT. El flujo del proceso
descrito aquí es original. La implementación del proceso y el desarrollo de nuevas
técnicas de proceso son obra de Arturo Ayon,
TECNOLOGÍA DE MICROFABRICACIÓN

Al igual que los motores de turbina de gas a escala convencional, los micros motores
están fundamentalmente limitados por los materiales disponibles y las técnicas de
fabricación. Las turbinas de gas exigen materiales de alta resistencia y bajo peso que
sean capaces de sobrevivir a las altas temperaturas. Estas demandas han llevado a los
fabricantes de motores convencionales a utilizar superaleaciones avanzadas a base de
níquel monocristalino en turbinas y materiales ligeros de alta resistencia, como
aleaciones de titanio en compresores. Sin embargo, aunque las turbinas de gas
convencionales utilizan algunos de los materiales más avanzados disponibles, sus
diseños están limitados en última instancia por las capacidades de fabricación. Por
ejemplo, el uso de cerámicas refractarias como el carburo de silicio monocristalino o
el nitruro de silicio monocristalino para la fabricación de turbinas podría mejorar
drásticamente el rendimiento de los motores convencionales y esto ha sido un área de
investigación durante varios años. Sin embargo, además de las cuestiones de
durabilidad, resistencia al impacto, etc., los fabricantes de motores no tienen acceso a
técnicas de fabricación convenientes y asequibles para estos materiales, lo que impide
su uso generalizado. Los compuestos avanzados tienen una historia similar.
Finalmente, como todos los sistemas mecánicos, los diseños de motores están tan
limitados por la fabricación como por la teoría o la capacidad de diseño.

La base tecnológica para la fabricación de micros motores se basa en las tecnologías


existentes de las comunidades de fabricación de microelectrónica y MEMS.
Específicamente, el silicio monocristalino es el material más ampliamente disponible
y conveniente para la microfabricación. La comunidad requiere obleas delgadas
(cientos de micras) de silicio monocristalino extremadamente puro para la fabricación
de circuitos integrados de alta velocidad. Hay herramientas disponibles para fabricar
obleas, grabar obleas y depositar recubrimientos de película delgada de varios
materiales. La comunidad MEMS se ha basado en esta base tecnológica, agregando la
capacidad de realizar grabados profundos y unir obleas individuales. Para una
descripción completa de las técnicas de fabricación de MEMS.

Los exigentes requisitos de los fabricantes de semiconductores hacen que las obleas de
silicio disponibles sean un buen material para la fabricación de micro motor. La alta
relación resistencia / peso del silicio monocristalino lo hace muy adecuado para
turbomáquinas de alta velocidad. Además, la base de fabricación asociada ofrece una
serie de beneficios que incluyen: (l) fabricación por lotes, (2) tolerancias de micras, (3)
recuento mínimo de piezas y (4) una base de proveedores preparada. La limitación de
esta base es su fuerte asociación con el silicio. Al igual que con los motores
convencionales, el carburo de silicio y el nitruro de silicio son materiales preferidos
para la fabricación de micro motores. Sin embargo, al igual que los motores
convencionales están vinculados a los metales, el micro motor de demostración está
vinculado al silicio por la disponibilidad de tecnologías de microfabricación.

SISTEMAS DE IMPLICACIONES DE LA MICROFABRICACIÓN

El Capítulo 2, Diseño del sistema, cubrió las muchas limitaciones que la


microfabricación impone al diseño del sistema del motor de demostración. Los
métodos de grabado limitan la geometría a 21) formas prismáticas extruidas. La altura
de la cuchilla y las profundidades de los cojinetes se limitaron a 225 um y 300 um para
un rendimiento práctico. La fabricación de mascarillas y el área de oblea disponible
limitan los tamaños de troqueles a 2.1 cm cuadrados. Todas estas restricciones pueden
cambiar con un esfuerzo de desarrollo de fabricación adicional, pero son de
importancia secundaria. Las dos implicaciones más críticas de la microfabricación en
el sistema general del motor de demostración son la uniformidad de grabado a nivel de
matriz y la alineación de la oblea. Estos dos factores controlan directamente el
equilibrio del rotor giratorio y, por lo tanto, las velocidades de rotación alcanzables.

FABRICACIÓN DE TURBOCHARGER Y DEMO MOTOR

Los capítulos I y 2 introdujeron el diseño general del motor de demostración. Esta


sección describe el proceso de fabricación final desarrollado para el motor de
demostración. Se fabricaron dos tipos de dispositivos: (l) turbocompresores y (2)
motores de demostración, diseño del sistema, ambos dispositivos son idénticos,
excepto por el hecho de que las rutas de gas de la turbina y el compresor están separadas
en el turbocompresor, lo que permite un suministro de aire de la turbina por separado.
La descripción aquí presenta el proceso de fabricación del turbocompresor.

El proceso de fabricación es un proceso de microfabricación MEMS a nivel de obleas


de silicio que involucra seis obleas de silicio, 19 máscaras, 17 pasos de grabado
profundo, 12 deposiciones de película de óxido y tres pasos de unión / recocido
separados. El proceso utiliza cuatro obleas pulidas de doble cara de 450 um y dos obleas
pulidas de doble cara de 525 um. Las superficies de unión de todas las obleas están
protegidas en todo momento con una película de óxido de sacrificio que se elimina solo
antes de la unión. El tiempo total de fabricación de principio a fin es de
aproximadamente seis semanas. Para obtener una descripción detallada de las técnicas
de procesamiento de microingeniería estándar del MIT utilizadas aquí, consulte las
referencias de Ayon, Khanna, Zhang,
TÉCNICAS DE FABRICACIÓN HEREDADAS

El proceso del motor de demostración depende en gran medida de las técnicas de


fabricación heredadas de otros dispositivos MIT.

Proceso DRIE alineado de doble lado a través de oblea

Los procesos del turbocompresor y del motor de demostración se basan en una


variación del proceso de grabado de iones reactivos profundos de doble cara alineado
a través de la oblea descrito por Lin y también utilizado por Frechette. El flujo de
proceso básico es:

(l) Fotolitografía en el lado frontal de la oblea y crecimiento de película protectora de


óxido en el lado posterior.

(2) Primer grabado profundo de silicio en la mitad de la oblea.

(3) Fotolitografía en el reverso de la oblea y película protectora en el anverso.

(4) Coloque la oblea grabada en una oblea de mango.

(5) Segundo grabado profundo de silicio, alcanzando la base del primer grabado y
'rompiendo' la oblea.
(6) Eliminación de la manipulación de obleas y películas de protección de superficies.

Este proceso puede crear obleas con cámaras y canales de flujo que luego se tapan
cuando una segunda oblea se une al lado de la cámara de la oblea grabada. El proceso
también puede crear estructuras de rotor liberadas.

Reglas de fabricación

La experiencia obtenida de los esfuerzos de desarrollo de fabricación de dispositivos


anteriores relacionados con la microingeniería condujo a un conjunto de reglas
heredadas a seguir al diseñar el proceso de fabricación del motor de demostración. Para
obtener detalles sobre estas reglas. Las reglas heredadas son:

(l) Evite las cavidades selladas. Causan deformación plástica de la oblea durante el
recocido de unión.

(2) Alivie o quite las películas estresadas para evitar el arco de la oblea. El arco de la
oblea impide la unión.

(3) Aplique baja presión durante la unión para evitar el agrietamiento de la oblea.

(4) Evite las características afiladas. Causan un grabado local acelerado debido a la
falta de uniformidad. Campos.
(5) Durante los grabados, proteja las superficies de unión de la parte trasera con una
capa de óxido de sacrificio.

(6) Evite mezclar grandes y pequeños a través de características grabadas. Las


características grandes grabarán hasta tres veces más rápido que las características
pequeñas.

(7) Proteja TODAS las superficies de unión de principio a fin con una capa protectora
de óxido de sacrificio. Esta capa protege las superficies de unión de ser grabadas y
también protege contra las películas que quedan después de los pasos químicos.

(8) Mida el arco inicial de la oblea para TODAS las obleas. Las obleas con arco causan
problemas de unión.

(9) Utilice siempre una oblea de manipulación en niveles con grandes áreas expuestas,
membranas delgadas o características frágiles. Si las membranas cubren un área muy
grande, use obleas de manipulación gruesa o obleas de doble asa. Las obleas de mango
evitan la flexión de las obleas durante el manejo.

DESAFÍOS DEL PROCESO

El motor de demostración es un dispositivo MEMS complejo. Es similar en muchos


aspectos a la estructura estática en caliente de seis obleas descrita y los dispositivos de
micro cojinete y microcompresor de cinco obleas descritos. Sin embargo, el motor de
demostración tiene las siguientes características principales que lo hacen más
complicado que estos otros dispositivos.

(l) Un rotor de dos obleas. El motor de demostración es el primer dispositivo MEMS


que incluye un rotor de obleas múltiples diseñado para rotación de alta velocidad. El
rotor se forma mediante la unión de obleas separadas de turbina y compresor. El rotor
unido presenta desafíos para la retención del rotor y la alineación de enlace de oblea a
oblea.

(2) Grandes características de precisión. El motor de demostración tiene características


más grandes que el equipo de rodamiento micro y el compresor micro motor. El tamaño
total de la matriz es mayor (2,1 cm frente a 1,5 cm) para acomodar la cámara de
combustión. El diámetro del rotor es mayor (8 mm frente a 4 mm) para un mayor flujo
de masa total. Los espacios libres de la punta de la cuchilla también son mayores (20
um frente a 8 um). Al mismo tiempo, las características del motor de demostración
requieren una precisión mucho mayor que la plataforma de combustión (+/- 0.5-5.0
um vs. +/- 10-100 pm). La combinación de grandes dimensiones y características de
precisión impacta el diseño y la fabricación de la máscara, los métodos de grabado, las
técnicas de manejo de obleas y el aserrado de troqueles.

(3) Estructuras térmicamente aisladas. Al igual que la plataforma de combustión en


caliente, el motor de demostración tiene provisiones para una cámara de combustión
aislada térmicamente. Sin embargo, a diferencia del equipo de combustión en caliente,
el motor de demostración también tiene estructuras de precisión que se forman durante
los mismos grabados que el aislamiento térmico. La presencia del aislamiento térmico
afecta el enfoque de los grabados de precisión.
(4) Grabados múltiples de punto final. Al igual que el micro cohete reportado y a
diferencia de los dispositivos reportados, el proceso del motor de demostración tiene
varios grabados con múltiples puntos finales. Un grabado de punto final múltiple define
múltiples características, todas las cuales deben completarse antes de la terminación
del grabado. El grabado dependiente de la relación de aspecto y las máscaras anidadas
(descritas a continuación) agravan este problema. Los múltiples puntos finales
impactan la selección de recetas. Y técnica de grabado.

GEOMETRÍA

La Figura 4-1 ilustra nuevamente el concepto básico de fabricación del motor de


demostración. Como muestra la figura, los motores se construyen uniendo una pila de
seis obleas de silicio grabadas individualmente. Diez "matrices" del motor pueden
caber en una pila de obleas de cuatro pulgadas. Cada oblea en la pila corresponde a un
"nivel" de la estructura del motor. Las obleas primeras y sexta son niveles de cierre que
sellan las rutas de flujo del motor. Las obleas tercera y cuarta son niveles de rotor
correspondientes al compresor y la turbina, respectivamente. Las obleas segunda y
quinta son niveles de cojinetes de empuje correspondientes a los cojinetes de empuje
hacia adelante y hacia atrás, respectivamente. Los pasos del proceso para la pila
completa de obleas son esencialmente simétricos con respecto a la línea de enlace
central.

Desde la perspectiva de la fabricación, el motor de demostración tiene seis


características geométricas importantes. Se identifican en la Figura 4-2. La primera
característica importante es un rotor de dos obleas que consiste en un compresor y una
turbina, cada uno compuesto de palas y un disco y separados de la estructura no
giratoria (estática) por la segunda característica geométrica importante, un diámetro de
6 mm, 10 um ancho, 300 um rodamiento diario profundo. La tercera característica
importante es un volumen de cámara de combustión vacío cortado de la estructura
estática de la oblea de la turbina. El cuarto es un canal vacío de 'camisa de enfriamiento'
que separa la estructura de la cámara de combustión de la estructura externa del troquel.
La camisa de enfriamiento está atravesada por "puentes" de 100 pm que conectan la
estructura de la cámara de combustión con el resto del troquel. Las características
importantes quinta y sexta son los cojinetes de empuje hacia adelante y hacia atrás,
espacios de 'tamaño micrónico' que separan el rotor de la estructura estática por encima
y por debajo.

GRABADOS

Las características mecánicas del motor de demostración se 'micromanan a granel' al


grabar obleas de silicio en blanco. El proceso de fabricación implica dos tipos de
grabado. Los grabados profundos tienen una profundidad de 10-1000 gm y definen
características 'verticales', como cojinetes y cuchillas. Grabados poco profundos, tienen
1-20 gm de profundidad y definen características 'horizontales' tales como huecos de
rodamiento de empuje y espacios libres de punta. Todos los grabados para el motor de
demostración y el turbocompresor, incluidos los grabados superficiales, se realizaron
en las dos herramientas de grabado de plasma de grabado iónico reactivo profundo
(DRIE) de MIT's Surface Technology Systems. Los grabados fueron desarrollados por
Ayon,

FLUJO DE PROCESO

La figura 4-10 ilustra el flujo del proceso de fabricación. El proceso comienza con la
oblea de rodamiento de empuje hacia adelante. Esta oblea está grabada con un grabado
profundo en el lado frontal que define tomas de presión y cámaras de combustible, un
grabado profundo en el lado posterior que define los limitadores de los cojinetes de
empuje y un grabado superficial en el lado posterior que define la separación de la
punta de la cuchilla. El grabado de limpieza de la punta se implementa con una máscara
anidada.

Oblea de rodamiento de empuje hacia adelante (a) (a) Cámara de grabado .


(b) Limitadores de ataque químico (b) - (c
(b) Espacio libre de la punta de la hoja de grabado [máscara anidada]

Oblea de compresor
(a) Deposit thermal oxide for bonding.
(b) Pattern thermal oxide.
(b)-(c) (c) Etch blades
(d) Bond compressor to forward thrust bearing.
(e) Etch compressor gap.(d) (f) Etch compressor disk clearance [nested mask].

Oblea de turbina. (a)-


(a) Etch journal bearing. (b)
(b) Etch thrust bearing clearance.
(b) Bond turbine to compressor.(c) (c) Etch blades.

Oblea de cojinete de empuje de popa (a )


(a) Etch plenum
(b) Etch restrictors(b)-(c)
(c) Etch blade tip clearance [nested mask)

Forward capping wafer (a) (a) Etch inlet and fluidic interconnects.

Aft capping wafer (a)-(b)


(a) Etch die saw marks
(b) Etch exhaust nozzle and fluidic interconnects

Assembly
(a) Bond 2/3/4 to 1, 5, and 6
(b) Release rotor with I : I HF etch(a)

La oblea del compresor es la segunda oblea en el proceso. Esta oblea está recubierta en
el frente con un óxido térmico de 1,5 um que se usa para la retención del rotor. La oblea
está grabada en la parte posterior para definir el espacio de funcionamiento del
compresor y en la parte frontal para definir las cuchillas. El compresor que funciona
con el espacio grabado queda parcialmente incompleto, dejando una membrana
delgada (50 um) de silicio que retiene el rotor. Luego, la oblea del cojinete de empuje
delantero se une a la oblea del compresor a través del óxido térmico adherible. Después
de que el compresor y las obleas con cojinetes de empuje hacia adelante se unen, el
ataque químico del lado posterior del compresor continúa con una máscara anidada,
liberando el rotor. Este segundo grabado también empotra el disco del compresor para
evitar la unión involuntaria en el futuro. El resultado final de esta etapa de
procesamiento es un par de obleas unidas con un rotor del compresor completamente
definido retenido por una película de óxido de sacrificio intercalada entre el compresor
y el cojinete de empuje delantero.

La oblea de la turbina es la tercera oblea en el proceso del motor de demostración. El


proceso comienza con un grabado superficial en la parte posterior que define parte de
la brecha del cojinete de empuje. Luego, al igual que la oblea del compresor, esta oblea
se graba con un grabado de cojinete de diario y luego un grabado de cuchilla. El
combustor también se define por estos dos grabados. El grabado de la cuchilla se
completa solo parcialmente, reteniendo la turbina con una película delgada. Luego, la
turbina se une al par de obleas del cojinete de empuje hacia adelante del compresor. Se
completa el grabado de la cuchilla, y el resultado final es una pila unida de tres obleas
con una cámara de combustión abierta y un carrete rotativo completamente definido
(compresor más turbina) retenido al cojinete de empuje delantero a través de una
película de óxido de sacrificio. Esta pila de tres obleas contiene todos los componentes
principales del motor.

Las tres obleas centrales (compresor, turbina y cojinete de empuje delantero) de la pila
de obleas del motor de demostración requirieron pasos secuenciales de procesamiento
y unión para crear un rotor retenido. Las tres obleas restantes solo se unen durante el
paso de enlace final. Se procesan de forma independiente. Las obleas de `` tapado ''
hacia adelante y hacia atrás requieren solo un grabado profundo. La tapa de popa tiene
las características para la boquilla de escape del motor. La tapa delantera tiene la
geometría para los puertos de entrada y de interconexión fluídica. Estas obleas están
grabadas desde adentro (superficie de unión) hacia afuera. Esto protege la geometría
en la interfaz de enlace de los efectos de grabado reentrante. La tapa de popa también
está estampada en la parte posterior con un grabado superficial para la alineación de la
sierra. Esto es necesario porque los troqueles están muy espaciados y se pueden cortar
sin alinear con precisión. La oblea del cojinete de empuje posterior es casi idéntica a la
oblea del cojinete de empuje delantero, excepto por la adición de un grabado poco
profundo que define la brecha del cojinete de empuje.

Una vez que las seis obleas están completas y la pila de tres obleas (compresor, turbina,
cojinete de empuje delantero) está unida, se eliminan todos los óxidos protectores
restantes, y el conjunto completo de obleas se une y se recoce para formar una pila de
motor de demostración de seis obleas. La pila completa se corta en motores
individuales (troqueles). En esta etapa, hay 10 motores individuales, cada uno completo
con una cámara de combustión y un carrete de compresor / rotor de turbina retenido.
Los rotores se liberan al grabar el óxido de retención de sacrificio a nivel del troquel
con ácido fluorhídrico. Después de la liberación, los troqueles están listos para el
envasado en frío con juntas tóricas o el envasado en caliente con interconexiones Kovar
/ vidrio.

PROBLEMAS DE PROCESO Y DESARROLLO

Al igual que los otros dispositivos relacionados con la microingeniería construidos


hasta ahora, el motor de demostración requería el uso de técnicas de procesamiento
especiales no descritas en referencias comunes de MEMS. Algunas de estas técnicas
fueron heredadas de dispositivos de microingeniería anteriores ll. Otros fueron
desarrollados específicamente para el proceso del motor de demostración. Esta sección
detalla importantes problemas de procesamiento y técnicas especiales desarrolladas
para el motor de demostración.

ALINEACIÓN Y VINCULACIÓN DE WAFER

El motor de demostración requiere una alineación precisa de la máscara de ataque


frontal y posterior y una alineación de unión precisa. La desalineación en el compresor
o las obleas de la turbina conduce al desequilibrio del rotor. La desalineación entre el
grabado de la cuchilla y el grabado del cojinete desplaza las cuchillas en relación con
el centro geométrico del rotor. La desalineación del compresor y la turbina durante la
unión compensa el centro de gravedad del rotor del centro geométrico del cojinete del
muñón. El porcentaje de desequilibrio de un rotor es la relación de este desplazamiento
con el espacio del cojinete del muñón.
Los cálculos de Jacobson muestran que las desalineaciones aleatorias secuenciales tan
pequeñas como +/- 2 um introducen un nivel de desequilibrio acumulativo del 50% en
el rotor del motor de demostración. Los resultados experimentales del equipo de micro
rodamientos del MIT sugieren que el motor de demostración requerirá un nivel de
desequilibrio de menos del 5% para lograr una velocidad de funcionamiento total de
1,2 millones de RPM. Suponiendo una suma de desalineaciones de raíz cuadrada
media, esto requiere una precisión de alineación de +/- 0.5 um para todos los pasos de
alineación.

El nivel alcanzable de precisión de alineación de máscara depende de la calidad de la


herramienta de alineación de máscara. Los steppers pueden lograr alineamientos de
máscara de frente a frente de +/- 0.25 gm. El 'alineador de contacto' de Electronic
Visions (EV) utilizado para la alineación de la máscara del motor de demostración es
capaz de alinear de frente a frente dentro de +/- 0.5 urn y alineación de adelante hacia
atrás dentro de +/- I gm. La herramienta 'Visor de alineador' de Electronic Visions
utilizada para la unión de obleas tiene una precisión de alineación de +/- 2 gm. Para los
dispositivos de motor de demostración descritos en esta tesis, la alineación global de la
máscara se midió dentro de +/- 2.0 um usando una herramienta de medición de
alineación EV TBM-8 con una precisión de medición de +/- 0.5 um. La alineación del
enlace se midió dentro de +/- 5 pm usando la misma herramienta.

Los niveles de alineación de máscara y oblea logrados en la construcción presentada


aquí son insuficientes para fabricar un rotor de motor de demostración equilibrado que
pueda alcanzar la velocidad de diseño completa. El MIT continúa con los esfuerzos
para mejorar la alineación. La precisión de la alineación del objetivo para la alineación
de la máscara de adelante hacia adelante y de adelante hacia atrás es de +/- 0.5 gm. La
precisión de alineación objetivo para la unión de la oblea también es +/- 0.5 um. Esto
conduciría a un desequilibrio del rotor del 5%.

UNIFORMIDAD

Las obleas de turbocompresor grabadas en el plasma del grabador STS muestran una
falta de uniformidad de la profundidad de grabado en la oblea. Esta es la consecuencia
de una velocidad de grabado no uniforme a través de la oblea. La falta de uniformidad
de grabado depende de la receta y la máscara, pero un grabado típico varía en
profundidad en +/- 10% a través de la oblea y puede variar hasta 15 um en el rotor de
un solo dado. La causa hipotética de esta falta de uniformidad es la acumulación
localizada de productos de reacción. Cuando los troqueles están densamente
empacados (p. Ej., Diez troqueles de motor de demostración por oblea), el área grande
de grabado expuesto limita la difusión de los productos, aumentando la falta de
uniformidad. Con baja densidad de troquel (por ejemplo, cuatro troqueles de motor de
demostración por oblea), se mejora la uniformidad. El MIT continúa con los esfuerzos
para desarrollar grabados más uniformes.

RETORNO DE ROTOR

El motor de demostración contiene un rotor de rotación libre para la turbomáquina. La


fabricación de piezas de movimiento libre es un problema tradicional de MEMS. En
un dispositivo micromaquinado a granel como el motor de demostración, las piezas
libres se caerán de la oblea al finalizar el grabado si no se retienen. Una vez que las
partes se han caído, es extremadamente difícil manipular las piezas y limpiarlas lo
suficiente antes de unir las obleas. Además, en el caso del motor de demostración, el
rotor está hecho de dos piezas. Si estas piezas se caen antes de la unión de la oblea, no
se pueden alinear con precisión para la unión.
Se han utilizado varias técnicas para abordar el problema de la retención del rotor. Estas
técnicas se ilustran en la Figura 4-11. El diseño original de microingeniería del MIT
requería una película de liberación sacrificial. CC Lin usó pestañas de liberación láser
(LAE) para retener los rotores de su plataforma de rodamiento micro. L. Frechette
utilizó pestañas mecánicas de corte [l ll. Ambos esquemas de pestañas implican unir la
parte libre (rotor) a la estructura estática de otra oblea a través de una estructura
mecánica de sacrificio. El beneficio principal del enfoque de tabulación es la falta de
pasos químicos que puedan dañar los componentes eléctricos de película delgada en el
dispositivo. La desventaja del enfoque de tabulación es que es un proceso en serie. La
liberación, en particular, debe realizarse en una base de matriz por matriz.

El proceso del motor de demostración se concibió originalmente como un proceso de


obleas paralelas. En un proceso puramente paralelo, cada oblea se procesa de manera
completamente independiente de las otras obleas en la pila. Las seis obleas se unen
simultáneamente para crear una pila de dispositivos. Se intentó aplicar el concepto de
pestaña a un proceso de motor de demostración de obleas paralelas utilizando pestañas
"crossjournal" dentro de la oblea. Este desarrollo se describe en los apéndices. El
enfoque de la pestaña 'cross-journal' fue abandonado debido a dificultades de
procesamiento. Este enfoque no debe confundirse con el enfoque de enlace cruzado
utilizado con éxito por Frechette.

El enfoque de tabulación se reemplazó con el proceso de óxido de sacrificio descrito


en las secciones anteriores. Con este enfoque, el rotor se retiene uniéndolo al
rodamiento de empuje delantero. El enlace se realiza a través de una capa delgada (0.5
um) de óxido térmico que está diseñada para acelerar el grabado localmente. Después
de que el motor de demostración está completamente fabricado, la capa de óxido se
disuelve en 1: 1 HF etchant. La Figura 4-13 muestra una oblea de compresor con óxido
de sacrificio antes de la unión. La Figura 4-12 muestra la película de óxido de un par
de obleas unidas y de sección transversal. El enlace de óxido a silicio es muy fuerte.
Los únicos rotores perdidos durante la fabricación se debieron al fallo de las estructuras
de silicio de soporte.

Al igual que los esquemas de retención de pestañas del equipo de rodamientos micro
del MIT y el compresor micro motor, el proceso de óxido de sacrificio es un proceso
en serie. El cojinete de empuje delantero y el compresor se unen antes de que se
complete el ataque químico del hueco del compresor. El beneficio principal del enfoque
de óxido de sacrificio es la facilidad de liberación. Los dados se pueden lanzar uno por
uno o en lotes. Además, el enfoque de óxido de sacrificio no deja grietas residuales que
puedan conducir a un desequilibrio o falla estructural a velocidad. La desventaja del
esquema de liberación de óxido es que no es necesariamente compatible con los
dispositivos eléctricos utilizados actualmente por otros dispositivos relacionados con
el micro motor MIT. Durante la liberación, el 1: 1 también ataca el óxido aislante
utilizado en el motor. Este problema puede abordarse protegiendo las películas del rotor
con una capa de nitruro o utilizando una película de sacrificio alternativa.

GRABADOS DE MÁSCARA ANIDADA

Como se mencionó anteriormente, algunos de los espacios libres en el motor de


demostración son demasiado profundos para permitir el recubrimiento de resistencia
para múltiples grabados. La fotoprotección no cubre uniformemente los bordes de los
grabados profundos, lo que lleva a un enmascaramiento no deseado que causa
características de grabado irregulares.
En tal situación, se debe usar una máscara anidada. Las máscaras anidadas permiten
múltiples grabados profundos en el mismo lado de una oblea mediante el uso de dos
materiales de enmascaramiento diferentes anidados entre sí. El motor de demostración
utilizó el proceso de máscara anidada de óxido / fotorresistencia de dos niveles
ilustrado en la Figura 4-14. Simultáneamente con este esfuerzo.

Las máscaras anidadas requieren la optimización del espesor del óxido. La máscara de
óxido debe ser lo suficientemente gruesa para sobrevivir al segundo ataque sin fallar.
Al mismo tiempo, los óxidos más gruesos requieren tiempos de deposición más largos,
causan arco de obleas y requieren tiempos de grabado de óxido de BOE más largos
para la separación. Si se usa un grabado de óxido de BOE para definir el óxido, las
características de la máscara aumentarán de tamaño por el grosor del óxido porque el
óxido graba isotrópicamente.

GRABADOS DE PUNTO FINAL MÚLTIPLES Y GRABADO DEPENDIENTE


DE RELACIÓN DE ASPECTO

Un grabado de punto final múltiple define múltiples características, todas las cuales
deben completarse antes de la terminación del grabado. El motor de demostración tiene
dos grabados múltiples de punto final. El primero es el grabado de la pala de la turbina.
Este grabado tiene una característica de área grande (1-10 mm de diámetro) para las
cuchillas y la cámara de combustión y características de área pequeña (300 um de
diámetro) para interconexiones fluidas a través de obleas. El primer punto final ocurre
cuando el área abierta de la cuchilla alcanza el cojinete del muñón. El segundo punto
final ocurre cuando las interconexiones de fluido a través de la oblea alcanzan las
características correspondientes en la parte posterior. Todos los halos están a la misma
profundidad. Sin embargo, la velocidad de grabado durante el grabado de la cuchilla
depende del tamaño de la característica, un fenómeno conocido como grabado
dependiente de la relación de aspecto. Las características más grandes graban más
rápido. Dependiendo de la receta de grabado, el segundo punto final puede retrasar el
primero hasta 50 pm en un grabado profundo de 200 gm. La Figura 4-15 ilustra la
velocidad de grabado versus el tamaño de la característica para varias formulaciones
de grabado diferentes en STS etcher del MIT. El proceso del motor de demostración
resolvió el problema de grabado de punto final múltiple mediante el uso de 'MIT-37',
un grabado dependiente de relación de aspecto que se ilustra en la Figura 4-15.
Desafortunadamente, esta formulación sacrifica la calidad de la pared lateral y
proporciona filetes pobres en las raíces de la cuchilla. Se sugiere que los dispositivos
futuros incorporen cambios de máscara para abordar el problema de puntos finales
múltiples. Para obtener detalles adicionales sobre el grabado dependiente de la relación
de aspecto.

El segundo grabado de punto final múltiple es un grabado de máscara anidada, el


grabado de separación de la parte trasera del compresor. Este grabado define
simultáneamente una cámara de área grande de máscara de óxido y continúa el espacio
del compresor de máscara fotorresistente. Los dos puntos finales son (l) la brecha de
espacio libre del compresor y (2) un espacio libre del compresor de 50 gm. Si el primer
punto final no se alcanza simultáneamente con o antes del segundo punto final, el disco
del compresor se adelgazará. En el peor de los casos, el disco puede estar
completamente grabado. El grabado dependiente de la relación de aspecto hace que el
segundo grabado de área grande se "ponga al día" con el grabado de trinchera estrecho
inicial. En consecuencia, el segundo punto final es difícil de alcanzar simultáneamente
con el primero y el espacio libre termina en el rango de 50-120 gm. La solución
nuevamente es utilizar un grabado como el MIT-37 que tiene poca dependencia de la
relación de aspecto.
ESTRUCTURAS AISLADAS TERMALMENTE

El proceso del motor de demostración tiene características térmicamente aisladas. El


aislamiento térmico se produce cuando una característica está separada del grueso de
la oblea por pequeñas estructuras. En el caso del motor de demostración, la cámara de
combustión está aislada térmicamente de la oblea mediante una 'camisa de
enfriamiento' con pequeños puentes. Si las características térmicamente aisladas se
calientan durante un ataque químico, las propiedades químicas del ataque químico
cambiarán localmente. Los síntomas incluyen resistencia al secado, grabado acelerado
y pérdida de anisotropía.

El grabador mantiene frías las obleas haciendo fluir Helio a través de la superficie
posterior de la oblea. Cuando la oblea tiene características pasantes, debe montarse en
una oblea de mango para evitar que el helio se filtre en la cámara de grabado. El flujo
de enfriamiento mantiene fría la oblea del mango y, por extensión, cualquier porción
de la oblea de grabado que esté en contacto térmico íntimo con la oblea del mango.
Siempre que el grabado no se haya despejado a través de la oblea, existe una ruta
térmica entre la oblea del mango y cada parte de la oblea de grabado. Sin embargo,
surgen problemas una vez que el grabado se borra a través de la oblea. Las
características suspendidas ya no tienen una ruta térmica directa a la oblea. En cambio,
están separados del grueso de la oblea por pequeñas estructuras térmicamente
resistentes.

Los pasos químicos del proceso de grabado profundo son procesos activados
térmicamente gobernados por una ecuación de velocidad de Arhennius. Se presume
que cuando las estructuras aisladas térmicamente se calientan, el grabado químico se
acelera. El grabado de la pared lateral, en particular, es un proceso de grabado casi
puramente químico (no está influenciado por el bombardeo de iones). La Figura 4-16
muestra el grabado acelerado de las paredes laterales de la camisa de enfriamiento de
la cámara de combustión. El ataque químico también se vuelve más isotrópico, lo que
causa la explosión de la característica y la pérdida del control de la pared lateral.

Hay dos soluciones al problema del aislamiento térmico. El primero es detener el


ataque químico exactamente cuando el aislamiento térmico se define por la ruptura del
ataque químico. Las máquinas de combustión en caliente de

Fueron procesados de esta manera. El motor de demostración no puede usar este


enfoque porque los grabados de la camisa de enfriamiento también tienen otros puntos
finales (por ejemplo, avance del diario). Esto condujo a un segundo enfoque: garantizar
que todas las características entren en contacto con la oblea del asa. El proceso MIT
estándar anterior

10 El mecanismo de aislamiento térmico que explica la pérdida de calidad de grabado


fue inicialmente hipotetizado por el autor. La evidencia experimental del mecanismo
fue inicialmente observada por R. Khanna.

Para el montaje de obleas con asa, el 'montaje de anillo' fotorresistente solo hace
contacto con los bordes de la oblea. En consecuencia, las características aisladas de la
matriz individual no tienen una ruta térmica a la oblea del mango. Como parte del
proceso del motor de demostración, R. Khanna desarrolló un nuevo enfoque de
"montaje objetivo". La montura objetivo utiliza anillos concéntricos de resistencia. Los
anillos concéntricos aseguran que todas las características tengan una conexión directa
con la oblea del mango a través de la resistencia. La figura 4-17 ilustra los dos enfoques.
CONTROL DE UNIFORMIDAD DEL GRABADO A TRAVÉS DE GRABADOS

La uniformidad de un grabado juega un papel importante cuando las obleas se graban


en ambos lados, como lo son para el motor de demostración. Durante un grabado no
uniforme, las características pasantes de cada dado se abrirán paso en un momento
diferente. En el caso del proceso del motor de demostración, el grabado es más rápido
cerca de los bordes de la oblea, por lo que los troqueles externos se rompen primero.
Los troqueles internos se graban lentamente y pueden romperse hasta 30 minutos
después. Los grabados de alta relación de aspecto tienden a ser mucho más uniformes
que los grabados de área grande. La penetración no uniforme permite que el plasma
grabe las características en el lado anverso de los troqueles exteriores. La falta de
uniformidad es especialmente un problema para los grabados con múltiples puntos
finales o la sensibilidad al sobregrabado (p. Ej. Grabados de toberas con cojinetes de
empuje, grabados de pestañas, grabados de máscara anidados).

La falta de uniformidad durante los grabados es un problema de nivel de oblea grueso


y puede abordarse utilizando una solución de nivel de oblea gruesa. El proceso del
motor de demostración utiliza parches de troquelado, un procedimiento desarrollado
por Khanna y Tackas. A medida que una característica objetivo seleccionada en cada
dado alcanza su profundidad objetivo, ese dado se parchea con fotorresistencia para
evitar el grabado continuo. El grabado continúa hasta que todos los troqueles estén a la
profundidad deseada, lo que permite que las regiones de grabado más lentas "alcancen"
a las regiones más rápidas. El resultado es una oblea con troqueles que pueden tener
falta de uniformidad local, pero que todos tienen la misma profundidad promedio. Este
enfoque no aborda la falta de uniformidad a nivel de matriz responsable del
desequilibrio del rotor. La falta de uniformidad a nivel del troquel depende del diseño
de la oblea y de la formulación química específica del grabado.
El "motor de demostración de referencia" se diseñó originalmente con una geometría
más avanzada que el "motor de demostración fabricado". El diseño de base del motor
de demostración requería cuchillas altas de 400 um (en comparación con 225 um) para
un mayor flujo de masa del motor y un rodamiento de muñón profundo de 500 gm (en
comparación con 300 pm) para una mejor estabilidad del rodamiento. Esto condujo a
una oblea de compresor de 700 um (frente a 525 pm) de espesor y una oblea de turbina
de 900 um (frente a 525 um) de espesor. El diseño de línea de base también requería
filetes de 20-50 um en la base de las palas de la turbina y del compresor para garantizar
la integridad estructural a la velocidad de diseño de 1.2 millones de RPM. Aunque no
se implementó en las versiones de demostración del motor presentadas aquí, los
procesos se desarrollaron parcialmente para estas geometrías avanzadas.

500 um rodamientos de diario profundo, el cojinete del diario del motor de


demostración es un espacio circular simple que puede funcionar como un cojinete de
gas hidrostático o hidrodinámico. Los procesos mejorados de soporte de diario son un
objetivo continuo del programa de desarrollo del motor de demostración. En particular,
los cojinetes de guía más largos (grabados más profundos) ofrecen un mejor
rendimiento de los cojinetes. Diseño de componentes, la estabilidad de un rodamiento
hidrodinámico aumenta con la longitud. Además, cuanto más profundo es el diario,
más grueso es el disco del rotor. Debido a que el disco del rotor es la masa 'equilibrada',
un rotor con un diario más profundo tiene un menor nivel de desequilibrio.

El motor de demostración se diseñó inicialmente para un rodamiento de diario de 500


um de profundidad. Los dispositivos relacionados con la microingeniería anteriores
solo habían utilizado cojinetes de 300 um. Con 300 um de profundidad y 12 urn de
ancho con solo una variación de ancho de +/- 0.5 um, estos rodamientos están cerca de
los límites actuales para un proceso de grabado de zanjas profundas basado en
fotorresistencia. Los cojinetes de diario más profundos requieren un nuevo proceso de
máscara dura. Como parte del desarrollo del motor de demostración, Ayon, Zhang y
Khanna desarrollaron una nueva máscara de disco duro, 500 pm de profundidad,
grabado con diario. Al adaptar los parámetros de grabado, pudieron grabar un diario de
16 g de ancho y 500 g de profundidad con una variación de ancho de +/- 4 um. La
Figura 4-18 compara el grabado de revista de 500 um actual con el grabado de 300 um
de última generación.

Hasta la fecha, el tiempo de desarrollo para el grabado de la revista 500 um ha sido de


6 meses. Aunque claramente superior a los grabados anteriores de 500 pm, el grabado
actual de 500 um no ofrece la tolerancia de ancho de +/- 1 pm del grabado de 300 pm.
Los cálculos muestran que para una operación hidrodinámica estable, el cojinete del
diario requiere una tolerancia de +/- 1. El grabado de 500 gm tiene dos inconvenientes
adicionales. Primero, a las 8 horas de tiempo total de grabado, lleva más del doble de
tiempo que un grabado diario de 300 um. En segundo lugar, la máscara de óxido es
difícil de eliminar. Para sobrevivir al grabado de 8 horas, la máscara de óxido debe
tener al menos 8 um de espesor. Al final del grabado, las regiones expuestas de la
máscara tendrán menos de 1 g de espesor. Después del grabado, estas regiones se
pueden eliminar con BOE en tan solo 30 minutos. Sin embargo, debido a la geometría
del grabador STS, partes de la oblea están cubiertas durante el grabado. Estas porciones
permanecen con un grosor de 8 um y requieren hasta 3 horas de grabado BOE. El
resultado es un sobregrabado BOE largo de la superficie de unión de silicio. Un
grabado de BOE tan largo puede hacer que la oblea no se pueda unir, causando un
rendimiento deficiente.
Cuchillas altas de 400 um

El motor de demostración se diseñó inicialmente para un flujo másico del motor de


0,36 g / seg. Para lograr este flujo másico, la altura de la cuchilla se duplicó a 400 gm
de los 200 gm utilizados en dispositivos microingeniería anteriores. La Figura 4-19
ilustra un grabado de cuchilla de compresor de 400 gm. Las alturas de las cuchillas
para las versiones iniciales del motor de demostración se cambiaron a 225 um porque
el proceso de 225 um está bien establecido. La transición a las cuchillas de 400 um
resultó sencilla en el grabador STS-I del MIT. Las cuchillas de 400 um no se pudieron
grabar en una oblea de 4 pulgadas en el grabador profundo STS-2 del MIT debido a la
falla de resistencia. El problema parece estar asociado con el montaje de obleas de 4
pulgadas en una oblea con mango de 6 pulgadas.

Radio de filete de cuchilla

El motor de demostración requiere filetes en las raíces de la cuchilla para la


supervivencia estructural durante la operación a toda velocidad. Los cálculos de Chen
mostraron que se necesitaban filetes en el rango de 2040 um. Se estudiaron los
parámetros de grabado para determinar una receta adecuada para generar los filetes. El
estudio mostró que el radio del filete aumenta con la presión de la cámara de grabado.
Sin embargo, la calidad de la superficie disminuye con la presión de la cámara de
grabado. La fuerza del filete resultante es una compensación entre la geometría global
(radio del filete) y la geometría local (calidad de la superficie). Desafortunadamente,
el filete no se pudo incluir en las versiones iniciales del motor de demostración porque
el grabado del filete tiene una dependencia deficiente en la relación de aspecto. Las
versiones futuras incluirán una geometría de máscara modificada para acomodar la
dependencia de la relación de aspecto. Como se mencionó anteriormente, múltiples
puntos finales obligaron al ataque químico de la turbina a usar una formulación especial
de ataque no dependiente de la relación de aspecto (MIT-37).
LECCIONES APRENDIDAS Y CONCLUSIÓN

Aunque se asemeja a dispositivos anteriores relacionados con microengine rotativo y


no rotativo, el motor de demostración tiene requisitos de fabricación más estrictos y
requirió un desarrollo de proceso adicional considerable. El rotor de dos obleas
complica la retención / liberación del rotor y hace que la alineación sea un problema
crítico. El desequilibrio del rotor y la combinación de características grandes y
pequeñas hacen que la uniformidad de grabado sea un problema. La presencia
simultánea de una cámara de combustión y un rotor de precisión combina los
problemas del aislamiento térmico y los grabados de múltiples puntos finales.
Grabados más profundos requirieron el uso de máscaras anidadas por primera vez en
una turbomáquina MEMS. Por lo tanto, el proceso conceptualmente simple de unir la
cámara de combustión con un carrete giratorio resultó ser un desafío formidable de
microfabricación. Las funciones avanzadas, como las cuchillas de 400 pm y los diarios
de 500 gm, tan deseables como pueden ser desde una perspectiva de diseño, agravan
enormemente esta tarea de desarrollo ya difícil. En última instancia, el proceso de
fabricación del motor de demostración tuvo que ser conducido lo más cerca posible del
proceso de micro cojinete ya desarrollado simplemente para que un dispositivo sea
probado

CONFIGURACIÓN EXPERIMENTAL

Este capítulo describe la configuración experimental y la instrumentación para las


pruebas del dispositivo de micro motor de demostración. La configuración
experimental incluía un paquete mecánico que conectaba los dispositivos de prueba a
microescala con los sensores a escala convencional, un sistema integrado de
instrumentación y manejo de gases, y un sistema computarizado de adquisición y
reducción de datos. El sistema de instrumentación está diseñado tanto para el
turbocompresor como para los dispositivos de prueba del motor de demostración.
EMBALAJE

Los dispositivos de prueba del motor de demostración requieren un embalaje fluido


para interactuar con el entorno externo. El embalaje trae combustible para la cámara de
combustión, aire de suministro externo para los cojinetes de gas y la turbina, y líneas
de presión para los diversos grifos de presión. El embalaje debe cumplir
simultáneamente con las restricciones impuestas por la fabricación, el funcionamiento
del dispositivo y las pruebas. Esto condujo a dos esquemas de empaque diferentes: un
"paquete frío" para la prueba de temperatura ambiente de la turbomáquina y un
"paquete caliente" para pruebas con una cámara de combustión operativa. Solo se
utilizó el paquete frío para los experimentos presentados aquí.

EMBALAJE EN FRÍO

Como no incluye una cámara de combustión en funcionamiento, el turbocompresor


funciona a temperatura ambiente. El motor de demostración también se prueba a
temperatura ambiente para caracterizar la turbomáquina. La función principal del
embalaje es suministrar conexiones fluídicas sin fugas a la instrumentación del
dispositivo a escala macro. El esquema de empaque no debería requerir un
procesamiento de matriz adicional más allá de la liberación del rotor. El embalaje debe
permitir un desmontaje y montaje convenientes para realizar pruebas rápidas.

El diseño del paquete frío es similar a los paquetes de plexiglás / aluminio de 3 placas
El paquete consta de placas superiores e inferiores de acero inoxidable que intercalan
el troquel y una placa espaciadora de aluminio que coloca el troquel. Las rutas de flujo
de interconexión fluídica se mecanizan en las placas de acero inoxidable. Las juntas
tóricas sellan los puertos de fluido en la interfaz placa / matriz. El separador de aluminio
es dos milésimas más grueso que la matriz, lo que garantiza que las juntas tóricas, no
las placas de acero, entren en contacto con el dispositivo. La compresión de la junta
tórica es nominalmente 33%. La Figura 5-1 ilustra el paquete frío completo.

También se construyó un paquete frío de plexiglás / aluminio. Este paquete se filtró en


las juntas tóricas y no se usó para las pruebas. El paquete de plexiglás / aluminio se
ilustra en la Figura 5-2 para ayudar a la visualización del esquema de envasado en frío.

El motor de demostración y el turbocompresor tienen 16 interconexiones fluídicas. Las


16 conexiones están en la parte frontal. Este enfoque de solo lado frontal mantiene la
compatibilidad con el proceso de "paquete dinámico" que se detalla a continuación.
Hay cuatro interconexiones OD de 2 mm y doce interconexiones OD de 0.900 mm.
Dos interconexiones son para combustible y no se utilizan para pruebas en frío. Todas
las interconexiones están separadas 3.75 mm en un cuadrado de 15 mm. Para lograr el
espacio cercano, todas las interconexiones están selladas con juntas tóricas especiales
de BunaNitrile (BN) (0.035 pulg. X 0.016 pulg. Y 0.078 pulg. X 0.016 pulg.) De Apple
Rubber Products Inc.

El paquete está diseñado actualmente para extraer el aire principal del compresor de la
atmósfera y extraer el aire principal de la turbina a la atmósfera. Sin embargo, tanto las
rutas de flujo de entrada como de escape tienen disposiciones para juntas tóricas y
pueden modificarse fácilmente para la presurización o la medición de flujo másico.
Consulte los apéndices para obtener dibujos detallados del paquete frío.
EMBALAJE EN CALIENTE

El paquete frío descrito anteriormente es adecuado para pruebas de temperatura


ambiente. Las pruebas extendidas de los dispositivos de motor de demostración a la
temperatura de funcionamiento de diseño requieren un esquema de empaquetado
alternativo.

Aunque no se usó para las pruebas actuales, se desarrolló un paquete de alta


temperatura como parte del esfuerzo de desarrollo del motor de demostración. Los
detalles del paquete activo se describen a continuación.

La cámara de combustión del motor de demostración está diseñada para funcionar con
temperaturas de gas de hasta 1600 K, lo que proporciona temperaturas de estructura
estática de 800 K y 1000 K en la parte delantera y trasera de la matriz, respectivamente.
Las juntas tóricas de elastómero no pueden funcionar durante períodos prolongados a
estas temperaturas. Las juntas tóricas convencionales de Buna-Nitrilo (BN) son buenas
para 400 K (250 F). Las juntas tóricas de fluorocarbono y silicona de "alta temperatura"
pueden sobrevivir hasta 500 K (450 F). Como resultado, las pruebas extendidas del
motor de demostración requieren un esquema de empaquetado alternativo. El esquema
elegido utiliza conexiones de soldadura de cuentas de vidrio a micro tubos Kovar. La
combinación Kovar / vidrio fue desarrollada originalmente para el microrocket. La
'plataforma caliente' de la cámara de combustión también utilizó este enfoque de Kovar
/ vidrio.

La Figura 5-3 muestra un dispositivo de microingeniería simulado empaquetado en


caliente. El dispositivo tiene 16 interconexiones fluídicas. Las 16 conexiones están en
la parte frontal para simplificar el proceso de empaque. Los tubos Kovar con diámetros
exteriores de 2 mm y 0.900 mm conectan la matriz a una "placa de soldadura" de metal
intermedia. Los tubos se sellan al troquel con cuentas de vidrio. Los tubos se sellan a
la placa de metal con soldadura de cobre y plata. Las conexiones de vidrio y soldadura
se forman en un solo paso a través de un horno de atmósfera controlada a 1300K. El
embalaje fue realizado por Thunderline-Z. Consulte para detalles específicos del
proceso. La placa de soldadura se atornilla a un bloque de acero inoxidable con
disposiciones para conexiones macrofluídicas idénticas a las utilizadas para el paquete
frío. Las juntas tóricas de elastómero forman un sello entre la placa de soldadura y la
placa de macroconexión. El paquete actual está diseñado para operación atmosférica.
Se está desarrollando un paquete extendido con la capacidad de presurizar el flujo de
entrada.

Las pruebas iniciales de Londres muestran que el esquema de empaque de vidrio /


Kovar puede funcionar a presiones superiores a 2000 psi a temperatura ambiente.
Mehra funcionó hasta 50 psi con temperaturas de troquel superiores a 800K. Harrison
ha realizado amplias caracterizaciones del proceso y las propiedades del sello de vidrio
/ Kovar.

SISTEMA DE MANEJO E INSTRUMENTACIÓN DE GAS

El sistema integrado de manejo de gas y el sistema de instrumentación suministra


nitrógeno o aire al dispositivo de prueba, mide las presiones y los flujos de masa dentro
y fuera del dispositivo, y la velocidad del rotor de los sensores.

La Figura 5-4 muestra un diagrama esquemático del sistema de instrumentación y


manejo de gas del motor de demostración. La Figura 5-5 muestra una fotografía del
sistema de manejo de gas.
Figura 5-4: Esquema del sistema de manejo de gas.

El sistema de manejo de gas tiene tres ramas principales que corresponden a los
sistemas de flujo principal de cojinete de empuje, cojinete diario y turbina. El cojinete
de empuje y las ramas de flujo principal se suministran a través de un regulador de
presión primario que regula el nitrógeno embotellado de 160 psi o el aire seco
embotellado. La rama del cojinete del diario se extrae de la rama del flujo principal de
la turbina.

La primera rama del sistema de manejo de gas suministra los cojinetes de empuje hacia
adelante y hacia atrás a través de un par de reguladores de presión. Todos los flujos de
masa de los cojinetes de empuje se miden con un medidor electrónico de flujo de masa
MKS 179A de 0-500 sccm. Todas las presiones se miden con transductores de presión
de calibre Omega 242PClOOG de 0-100 psi.

La segunda rama suministra aire principal a la turbina para pruebas de turbocompresor


o arranque de motor de demostración. La presión en esta rama está controlada por un
segundo regulador de presión y un conjunto de válvulas manuales de aguja. El flujo
másico de la turbina se mide con un medidor electrónico de flujo másico MKS 179A
de 0-20,000 sccm. La presión de suministro de la turbina se mide con un transductor
de presión de calibre Omega 242PC100G de 0-100 psi.

La tercera rama suministra el aire al cojinete del diario para la presurización


hidrostática del diario. Esta rama se extrae justo aguas abajo del regulador de presión
de flujo principal de la turbina. El flujo a través de esta rama está controlado por un
conjunto de válvulas manuales de aguja. El flujo de masa del suministro del cojinete
del diario se mide con un transductor de presión de calibre IOOG Omega 242PC de 0-
100 psi. Las presiones diferenciales entre el suministro del cojinete del muñón y las
tomas de presión entre hileras del compresor y la turbina se miden mediante un par de
transductores de presión diferencial Omega PX 139-015D4V de 0-15 psi.

Los grifos restantes del motor de demostración de presión están conectados a


transductores de presión de calibre IOOG Omega 242PC de 0-100 psi. Todos los
transductores de presión son alimentados por una fuente de alimentación IOV común.
Todos los medidores electrónicos de flujo másico son accionados por un banco de
módulos de lectura de flujo másico MKS Tipo 247 de 4 canales.

El sistema de manejo de gas también tiene provisiones para suministrar combustible al


motor de demostración para pruebas integradas de combustión. Los combustibles de
hidrógeno o hidrocarburos están en una línea de flujo separada.
La velocidad de rotación del motor de demostración se midió con un sensor de posición
de fibra óptica de alta frecuencia Philtec D6-H2TV. El sensor mide el paso de tres
pestañas integradas en el compresor y los cubos de la turbina (consulte la Figura 5-6).
La salida del sensor de velocidad se convierte en una frecuencia de rotación pasándola
a través de un analizador de espectro DC-IOMHz HP87410A y midiendo la frecuencia
de amplitud máxima. El sensor Philtec tiene un ancho de banda específico de 300 MHz,
lo que lo hace útil para velocidades de motor de hasta 1.7 millones de RPM. Se
posiciona en la entrada del motor con una etapa XYZ de alta precisión Newport 461.

SISTEMA DE ADQUISICIÓN DE DATOS

La configuración experimental del motor de demostración compartió su sistema de


adquisición de datos con la configuración de. La configuración se ilustra en la Figura
5-5. Una PC Dell Optiplex GXI de 300 MHz adquirió y registró la salida de los
transductores de presión, sensores de flujo másico y sensor de velocidad. Las presiones
y los flujos de masa se muestrearon a 1,2 MHz en una placa A / D PCI-6071E de
National Instruments multiplexada a 64 canales. El motor de demostración utilizó los
canales 33-64. Se registraron cinco puntos de datos por segundo, cada punto de datos
representa el promedio de 250,000 muestras. Todos los transductores a presión se
conectaron a la placa A / D como entradas diferenciales. Todos los medidores de flujo
másico se conectaron como entradas de un solo extremo con una tierra común. El
sistema A / D se programó en el entorno de programación LabVŒW. Los datos de
velocidad del analizador de espectro se descargaron a través de una conexión GPIB.

RESULTADOS EXPERIMENTALES

El esfuerzo de prueba indica que los dispositivos actuales están limitados a bajas
velocidades (30,000 RPM o 2% de la velocidad de diseño) por desequilibrio.
Aquí se consideran cuatro tipos de pruebas: caracterización de flujo estático con
rodamiento de empuje, caracterización de flujo estático con rodamiento de empuje y
pruebas de rotación del rotor. Las pruebas de flujo estático caracterizaron el
comportamiento funcional de los rodamientos axiales y el sistema de presurización de
rodamientos y validaron ese comportamiento frente a las predicciones teóricas. Las
pruebas dinámicas del rotor liberadas caracterizaron el comportamiento de los
dispositivos de hilatura.

EXPERIMENTOS DE RODAMIENTO DE EMPUJE

Las pruebas de flujo estático con cojinete de empuje identificaron la geometría tal
como fue fabricada de las matrices de prueba. Se utilizaron dos pruebas de empuje. Los
primeros caudales de empuje validados con predicciones teóricas. El segundo
identificó el punto de operación apropiado para posteriores pruebas de centrifugado.

La primera prueba de flujo del cojinete de empuje midió indirectamente la geometría


de los cojinetes de empuje. Se probaron dos casos. Primero, los troqueles inéditos
fueron presurizados. En este caso, el cojinete de empuje de popa tiene un espacio fijo,
completamente abierto de 7 um. En el segundo caso, los troqueles liberados se prueban
ventilando un cojinete de empuje y presurizando el otro. Esto cierra la brecha del
rodamiento ventilado, lo que nuevamente resulta en una brecha conocida de 7 um
completamente abierta. La medición del flujo es, por lo tanto, una medición indirecta
de la geometría del cojinete de empuje posterior. La Figura 6-1 ilustra las propiedades
de flujo medidas para los cojinetes de empuje de varios troqueles diferentes de las
versiones 6 y 7 del turbocompresor y de la versión 8, la primera versión de
demostración del motor.
El gráfico también muestra las propiedades teóricas de flujo del rodamiento de empuje
basadas en un rodamiento con un espacio total de 7 um (3.5 um para cada rodamiento
de empuje cuando está centrado) y veinte restrictores de 100 um de largo. Las
predicciones teóricas se trazan para los restrictores de 12 um de diámetro y 10 um de
diámetro. El diámetro del restrictor diseñado es Il um y las mediciones en fab mostraron
una variación entre 10 um y 12 um. Los resultados teóricos fueron generados por
Jacobson y suponen un flujo compresible.

La comparación de los resultados experimentales y teóricos muestra que los cojinetes


de empuje del turbocompresor poseen de hecho la geometría de diseño y, por lo tanto,
deben proporcionar la rigidez necesaria. Lin ya ha demostrado que los resultados
satisfactorios de flujo estático también predicen una rigidez satisfactoria del
rodamiento para este tipo de rodamiento de empuje hidrostático.

El segundo conjunto de experimentos con cojinetes de empuje identificó el punto


operativo del cojinete de empuje para las pruebas de giro. En estos experimentos, un
rodamiento se presuriza a una presión moderada (30-50 psi) mientras que el otro varía
en presión de baja (O psi) a alta presión (100 psi). Al observar el cambio en el flujo de
masa a través del rodamiento con presión fija, se puede identificar cuándo el
rodamiento está centrado. Durante las pruebas de centrifugado posteriores, el rotor se
mantiene centrado axialmente al variar la presión en un rodamiento para mantener el
flujo de masa en el segundo rodamiento de presión fija. Los experimentos mostraron
una transición suave de flujo alto a flujo bajo, lo que indica un rodamiento rígido.
EXPERIMENTOS CON COJINETAS

El cojinete del diario se caracterizó con dos pruebas de flujo estático diferentes. La
primera prueba midió el comportamiento de las líneas de suministro de cojinetes del
diario hidrostático. El segundo midió y comparó los cálculos y las predicciones teóricas
de las propiedades de flujo de los cojinetes y el sello de la llanta del compresor con
CFI). Las pruebas identificaron dos inconvenientes de la geometría actual que deberían
corregirse en futuras compilaciones.

Pruebas de línea de suministro de diario

En la primera prueba, la matriz estaba completamente ventilada, la cámara de


suministro del cojinete del diario (cámara del lado posterior del compresor) se presurizó
y se midió el flujo de masa suministrado. Esta prueba mide el flujo de masa acumulado
a través del cojinete del diario en función de la presión de suministro. La Figura 6-3
ilustra los resultados de la prueba para varios troqueles liberados y no lanzados. Los
resultados muestran una velocidad de flujo inferior a la esperada. A una presión de
suministro de 10 psi, el flujo acumulado anticipado a través del espacio del compresor
y el cojinete del muñón es de 8000 sccm. El flujo medido es inferior a 1000 sccm.

La discrepancia entre la teoría y las mediciones es aparentemente el resultado de la


asfixia en las líneas de suministro internas que conducen a la carga del diario. Todas
las pruebas muestran que el flujo másico es lineal con la presión de suministro. Esto
sugiere un flujo ahogado. La línea de suministro interno es un paso de sección cuadrada
de un centímetro de largo, 350 um x 400 um. El gráfico compara los datos con el flujo
teórico a través de un paso de 350 um x 400 um con un coeficiente de descarga de 0,75.
La pendiente medida y pronosticada está de acuerdo con +/- 10%. La asfixia se
confirmó tapando la entrada y descarga del compresor. Esto obliga a que todo el flujo
se mueva a través del cojinete del diario. Un aumento de la velocidad de flujo fuera de
la turbina era claramente audible, sin embargo, la medición del flujo másico
suministrado no cambió, lo que indica asfixia aguas arriba de la cámara del cojinete del
diario.

El pleno y las líneas de suministro que se usan actualmente para presurizar el


rodamiento se diseñaron originalmente para usarse como un sistema de equilibrio de
empuje y de presurización lateral para un rodamiento hidrodinámico. Bajo este
esquema, el pleno proporcionaría pequeñas fuerzas de presión. El rodamiento
hidrodinámico no requiere caída de presión a través del rodamiento y habría muy poco
flujo; menos del 2% del flujo másico del motor central. La decisión de utilizar estas
líneas de flujo como rodamiento hidrostático se produjo después de que las plataformas
de micro rodamientos de y dejaran en claro que un sistema hidrostático permitía la
operación a alta velocidad. Con la hidrostática, el rodamiento requiere flujos que son
30% o más del flujo central del motor. Se habrían preferido líneas más grandes, pero
en esta etapa, los dispositivos ya estaban en proceso.

La asfixia aumenta la presión de suministro externo requerida para lograr un flujo de


masa de diario dado. Aunque la presión es el pleno del cojinete del diario puede ser
solo de unos pocos psi, la línea de suministro requerirá decenas de psi. Las pruebas
actuales se han limitado a presiones de suministro de 20 psi. Para la geometría actual,
esto corresponde a una frecuencia natural de rodamiento teórica de 30,000 RPM.

La presión de suministro máxima posible con el equipo actual es de 120 psi, que
corresponde a una frecuencia natural de 80,000 RPM.
Se sugieren dos cambios para resolver este problema. El primero es aumentar el tamaño
de las líneas de suministro. Esto requiere una nueva máscara para el aguafuerte de la
oblea del cojinete de empuje de popa (el aguafuerte también define interconexiones
fluídicas) y puede requerir líneas de suministro de GNV pasantes más grandes (las
líneas de GNV se ahogarán a continuación si la línea de suministro se agranda). Estos
cambios solo pueden implementarse en nuevas compilaciones de dispositivos.
También se debe incluir un sello de la llanta del compresor para eliminar la fuga del
espacio del compresor

El segundo enfoque es suministrar el cojinete del diario presurizando la región del


compresor e impulsando el flujo hacia el cojinete del diario a través del espacio del
compresor. Este enfoque aprovecha la falta de un sello de la llanta del compresor y no
requiere cambios en las máscaras del dispositivo. La desventaja de este enfoque es que
requiere la separación de la descarga del compresor y la presión de suministro de la
turbina. Esto hace que sea difícil de implementar en el motor de demostración donde
el compresor y la turbina están unidos a través del combustor.

Propiedades del flujo de diario

Se realizó un segundo conjunto de experimentos de diario para identificar las


propiedades de flujo del diario. En estos experimentos, el flujo fue conducido
independientemente a través del compresor y los huecos del diario. El flujo a través del
espacio del compresor se logró al conectar el escape y el suministro de la turbina y
presurizar el grifo del diario. Esto fuerza el flujo del suministro del diario a través del
espacio del compresor. Debido a que la turbina está tapada, actúa como un grifo de
presión para el suministro de aire. El flujo a través del diario se logró conectando la
entrada de la turbina y ventilando la entrada del compresor mientras presurizaba la
turbina a través del escape de la turbina. Todas las demás conexiones fueron
conectadas. Esto fuerza el flujo secuencialmente a través de los huecos del diario y del
compresor. Sin embargo, debido a que el diario es mucho más pequeño, la mayor parte
de la caída de presión ocurrirá aquí.

La Figura 6-2 compara los resultados medidos y teóricos de este experimento para dos
troqueles diferentes. Se consideran los resultados teóricos analíticos y CFI). La
predicción analítica está parametrizada por un coeficiente de descarga desconocido. Un
coeficiente de 0,40 conduce a un buen acuerdo con las mediciones experimentales. Los
resultados muestran que la teoría analítica está de acuerdo con los experimentos dentro
de los límites de error de las mediciones. El CFI) sobrepredice ligeramente (10%) la
velocidad de flujo del espacio del compresor, pero los experimentos y las predicciones
muestran que el espacio del compresor tiene tres o cuatro veces la velocidad de flujo a
través del espacio del cojinete del diario para la misma caída de presión.

10

Figura 6-2: Comparación de la tasa de flujo del diario con modelos analíticos y CFD.
La gran tasa de flujo del hueco del compresor resulta de la falta de un 'sello de llanta'
en el disco del compresor. El diseño del motor de demostración de la línea de base
requería un sello de llanta para separar el pleno de la parte trasera del compresor del
espacio del compresor. Como se mencionó en capítulos anteriores, este sello se retiró
para simplificar el proceso de fabricación y aliviar una preocupación estructural
asociada con la desviación de la punta del rotor a altas velocidades. Al quitar el sello,
se abre un camino de fuga entre el compresor y el pleno del compresor. Si se opera
hidrodinámicamente o desde presiones internas, esta ruta de fuga causaría poca
preocupación. Sin embargo, cuando el diario se presuriza externamente a presiones
mucho más altas que la presión de descarga del compresor, hay una fuga sustancial a
través de este espacio. Los resultados experimentales y teóricos muestran que esta fuga
es de 3 a 4 veces la velocidad de flujo del cojinete del diario. Esta gran tasa de flujo del
hueco del compresor se evidencia experimentalmente por el hecho de que el compresor
se acciona en reversa cuando el diario está presurizado y el suministro de la turbina
está enchufado. El flujo inverso del compresor sustancial domina el flujo directo de la
turbina.

El flujo de fuga del compresor tiene poco impacto en el rendimiento del rodamiento.
Los cálculos de Jacobson muestran que la presencia del flujo de separación del
compresor aumenta la frecuencia natural del cojinete del diario en menos del 10%. Sin
embargo, el flujo de fuga adicional impacta las líneas de suministro. Las líneas de
suministro estranguladas no solo deben suministrar el flujo de masa del cojinete del
muñón, sino que también deben suministrar el flujo de fuga del hueco del compresor.
Esto aumenta la presión de suministro requerida para obtener un flujo de masa de
cojinete de diario dado y, por lo tanto, la frecuencia natural.
Las predicciones se basan en la línea de suministro de entrada estrangulada descrita
anteriormente y en el modelo de Jacobson del comportamiento del cojinete del muñón
y el comportamiento del espacio del compresor i5 muestran que se requiere un flujo de
masa considerable para lograr la rigidez del cojinete. Incluso sin el espacio del
compresor, la relación entre la presión de suministro y la presión del cojinete del
cojinete es 3: l. Con el espacio del compresor, esta relación va a 12: l. A estas
proporciones, no es práctico suministrar al cojinete del diario el flujo de masa necesario
para lograr frecuencias naturales altas (orden de 250,000 RPM).

Este problema puede resolverse incluyendo un sello de la llanta del compresor para
reducir las fugas. La inclusión de un sello requiere cambios de máscara y una nueva
construcción de dispositivo. Alternativamente, si el diario se presuriza presurizando el
compresor como se recomienda anteriormente, el flujo de fuga del hueco del compresor
es la línea de suministro del diario y, de hecho, se desean bajas caídas de presión
(grandes flujos de 'fuga').

PRUEBAS DE GIRO DE ROTOR

La primera y segunda compilación exitosa (compilación 6 y compilación 7) del


turbocompresor dieron como resultado siete dispositivos comprobables. Los siete de
estos dispositivos fueron probados por rotación. Al escribir estas líneas, la velocidad
de rotación máxima alcanzada por el turbocompresor es de 20,000 RPM. Esto está
considerablemente por debajo de la velocidad de diseño de 1.2 millones de RPM.
También está por debajo de la velocidad de 1.5 millones de RPM (750,000 RPM
ajustada al motor de demostración) alcanzada por los equipos de micro rodamientos y
micro motores de y La evidencia experimental sugiere que la velocidad de
funcionamiento de los dispositivos de turbocompresor fabricados está limitada por la
combinación de tres factores: (l) flujo estrangulado en el sistema de suministro del
cojinete del muñón, (2) flujo de fuga desde la cámara impelente del cojinete del muñón
al compresor y (3) desequilibrio. Los dos primeros factores son cuestiones de
conveniencia operativa y no representan un límite genuino en el diseño actual del motor
de demostración. El tercer factor limita fundamentalmente la velocidad del rotor y, por
lo tanto, el funcionamiento del motor. Este factor debe resolverse antes de que el
dispositivo pueda conducir a velocidades de diseño.

Se intentaron dos métodos principales de operación. El primero se basó en la


presurización del cojinete del cojinete a través del grifo de presión del cojinete del
cojinete que atraviesa los NGV. El segundo logró la presurización del diario
presurizando la ruta de flujo del compresor, suministrando el diario a través de una
fuga a través del espacio de funcionamiento del compresor. Cada método tenía varias
variantes, dependiendo de qué interconexiones fluídicas estuvieran conectadas o
ventiladas

La presurización del diario a través del grifo de presión del diario permite la medición
directa del espacio total del compresor y el flujo másico del cojinete del diario. Sin
embargo, debido a que la toma de presión se usa como la línea de suministro, se
desconoce la presión del cojinete del diario. En esta variación, el diario se presurizó
mientras se ventilaban la entrada y la descarga del compresor, se ventilaba la descarga
de la turbina y la entrada de la turbina recibía aire principal del sistema de manejo de
gas. Este es el esquema de presurización originalmente previsto para el
turbocompresor. Una segunda variación fue similar, excepto que la descarga y la
entrada del compresor se taparon, forzando la mayor parte del flujo del diario en la ruta
del flujo de la turbina (el sello de entrada del compresor tiene fugas, permitiendo que
salga algo de la entrada del compresor). Esta configuración minimiza la velocidad de
flujo de suministro del diario para una rigidez dada y reduce el efecto del flujo a través
del compresor. Ambas variaciones sufren de flujo inverso en el compresor. Una tercera
variación utilizaba una entrada de compresor obstruida y una descarga de compresor
ventilada. Esto reintroduce una gran fuga a través del espacio de funcionamiento del
compresor, pero elimina el flujo inverso en el compresor.

El segundo método de presurización del cojinete del diario funciona presurizando la


región del compresor e impulsando el flujo hacia el cojinete del cojinete a través del
espacio del compresor. Este enfoque aprovecha la falta de un sello de la llanta del
compresor. La ventaja de este enfoque es que permite utilizar la toma de presión del
diario como una medida directa de la presión del cojinete del diario. La desventaja es
que el caudal a través del diario no se puede medir. Una segunda desventaja de este
enfoque es que requiere la separación de la descarga del compresor y la presión de
suministro de la turbina. Esto hace que sea difícil de implementar en el motor de
demostración donde el compresor y la turbina están unidos a través del combustor.

Los micro turbocompresores fueron probados experimentalmente. Independientemente


del enfoque de presurización, el micro turbocompresor exhibió cualitativamente el
mismo comportamiento de giro que las primeras construcciones de la plataforma de
prueba de micro rodamiento, lo que sugiere que el dispositivo turbocompresor no está
sujeto a ningún efecto físico adicional. La Figura 6-4 ilustra un espectrograma de un
dispositivo turbocompresor que acelera de 3000 RPM a 4000 RPM. El espectrograma
muestra una serie de picos sincrónicos con la frecuencia del rotor. La respuesta de
velocidad es de primer orden. El espectrograma no muestra ningún pico asociado con
una frecuencia fija. Tal pico indicaría la frecuencia hidrostática natural. Según los
modelos de rodamientos, se cree que el turbocompresor funciona de manera
subcrítica. La ausencia de un pico de frecuencia fija respalda esta hipótesis, ya que los
experimentos de Jacobson et, con la plataforma de micro rodamientos solo mostraron
un pico de frecuencia fija cuando se opera de manera supercrítica.

Impacto del desequilibrio


Las observaciones anteriores explican un diario bajo (orden de 10,000 RPM) con
frecuencia natural. Solo, no explican una baja velocidad máxima de funcionamiento.
Los dispositivos de Lin y Frechette demostraron su funcionamiento a velocidades de
hasta 1,5 millones de RPM, lo que proporciona velocidades de punta superiores a 250
m / seg. A estas velocidades, los dispositivos estaban funcionando a más de 5 veces la
frecuencia natural medida de su rodamiento. Por extensión, el turbocompresor en
funcionamiento debería haber alcanzado velocidades en el rango de RPM.

La explicación radica en el desequilibrio del rotor. El nivel de desequilibrio del


turbocompresor es mucho más sensible a los parámetros del proceso que el nivel de
desequilibrio de las plataformas de microcojinetes. Las dos únicas fuentes de
desequilibrio en la plataforma de microcojinete son la falta de uniformidad del grabado
de la pala de la turbina y la desalineación de la máscara de adelante hacia atrás entre el
cojinete del muñón y las palas. El turbocompresor debe enfrentar estos desafíos tanto
para el compresor como para la turbina. Además, el nivel de desequilibrio del
turbocompresor es sensible a la alineación de enlace entre las dos obleas. Finalmente,
debido al diseño de los troqueles en la oblea, los grabados de las cuchillas del
turbocompresor muestran mucha más falta de uniformidad (15 um frente a 5 um para
el molde exterior) que los micrograbados.
El resultado general es que el turbocompresor tiene un desequilibrio considerablemente
mayor. Según la metrología, el motor de demostración tiene un nivel de desequilibrio
del 70-120% frente a menos del 10% para los troqueles de micro turbinas de alta
velocidad.

El efecto del desequilibrio es reducir la velocidad a la que el rotor se volverá inestable


para una frecuencia natural dada. A medida que la velocidad del rotor se acerca a la
frecuencia natural, el rodamiento se excita fácilmente al forzar. El nivel de forzamiento
es proporcional al cuadrado de la velocidad del rotor y al nivel de desequilibrio. Cuanto
mayor es el desequilibrio, menor es la velocidad requerida para lograr un determinado
nivel de forzamiento. El desplazamiento del rotor asociado con el forzamiento excitará
modos hidrodinámicos potencialmente desestabilizadores, lo que conducirá a un golpe
de pared. Además, más allá de la frecuencia natural, el movimiento del rotor se invierte
y el rotor gira alrededor de su centro de masa en lugar de su centro geométrico.
Claramente, si el nivel de desequilibrio supera el 100%, esto conducirá a un golpe de
pared inmediato. De esta manera, el nivel de desequilibrio del turbocompresor debería
provocar choques a múltiplos mucho más pequeños de la frecuencia natural que las
experiencias de plataformas de micro-cojinetes más equilibradas.

Si el turbocompresor y el motor de demostración pudieran equilibrarse, deberían


alcanzar velocidades de funcionamiento más altas independientemente de las
limitaciones descritas anteriormente en la frecuencia natural que resultan de la
geometría interna del dispositivo.
Evaluación de geometría actual

La velocidad de funcionamiento de los dispositivos de turbocompresor fabricados está


limitada por la combinación de tres factores:

(l) Líneas de suministro de cojinete de diario estrangulado: las líneas fluídicas internas
del troquel que suministran el cojinete de diario hidrostático son demasiado pequeñas
para manejar el flujo sin atragantarse. La asfixia aumenta la presión de suministro
requerida para lograr un flujo de masa de diario dado.

(2) Flujo de fuga a través del compresor: cuando el cojinete del diario está presurizado,
el flujo se escapa desde la cámara del cojinete del diario hacia el compresor a través
del espacio de funcionamiento del compresor. Este flujo tiene un impacto limitado
(menos del 10%) en el comportamiento del cojinete del muñón, pero aumenta
sustancialmente el flujo de masa de suministro total para una rigidez específica. El flujo
adicional exacerba el problema de asfixia.

Este problema puede resolverse incluyendo un sello de la llanta del compresor para
reducir las fugas. La inclusión de un sello requiere cambios de máscara y una nueva
construcción de dispositivo. Alternativamente, si el diario se presuriza presurizando el
compresor como se recomienda anteriormente, el flujo de fuga del hueco del compresor
es la línea de suministro del diario y, de hecho, se desean bajas caídas de presión
(grandes flujos de 'fuga').
(3) Desequilibrio El desequilibrio es el límite fundamental de la velocidad de
funcionamiento del turbocompresor.El desequilibrio se debe a la desalineación de
enlaces y grabados.

RECOMENDACIONES PARA TRABAJOS FUTUROS

Los resultados experimentales observados sugieren los siguientes cambios en el diseño


y el funcionamiento del micro turbocompresor y el motor de demostración:

(l) Mejore el equilibrio del rotor mediante un equilibrio dinámico o mediante procesos
de fabricación mejorados. Los altos niveles de desequilibrio del rotor medidos por el
turbocompresor combinado con las demostraciones experimentales de otros
investigadores de que el desequilibrio limita la velocidad del rotor [6] indican que el
turbocompresor y el motor de demostración no pueden alcanzar la velocidad de diseño
en los niveles actuales de desequilibrio.

(2) Amplíe los pasos de flujo aguas arriba de la cámara del cojinete del diario para
aceptar los altos flujos de masa esperados del cojinete del diario (30% del flujo de masa
del núcleo de la turbina). Este cambio mejora la operatividad del dispositivo. Si se
conserva la geometría de la cámara de combustión aislada tortuosa, esta recomendación
puede implicar la reducción del aislamiento de la cámara de combustión o la adición
de interconexiones fluídicas traseras. También puede implicar NGV más grandes para
acomodar interconexiones más grandes a través de NGV.

(3) Implemente un sello del borde del disco del compresor para aislar el pleno del
compresor del flujo del núcleo del compresor. Esto reduce los niveles de flujo
requeridos para la presurización del diario externo y permite un control independiente
del diario y las presiones del compresor. Una configuración análoga a la operación de
'derivación del compresor' descrita anteriormente aún podría implementarse acortando
externamente la derivación entre filas del compresor en el segundo nivel de oblea a la
línea de suministro del diario.

Con estas recomendaciones implementadas, el motor de demostración y el


turbocompresor deberían poder alcanzar la velocidad máxima. A altas velocidades, la
turbomáquina debe producir cambios medibles en la presión. También debería ser
posible implementar hilatura y combustión simultáneas con combustible de hidrógeno
inyectado o premezclado. Dada la operación a toda velocidad, se pueden realizar los
siguientes experimentos para estimar las referencias generales del motor:

CONTRIBUCIONES

La contribución significativa de este trabajo es un diseño para un motor de turbina de


gas que cumple simultáneamente las restricciones aerodinámicas, termodinámicas y
estructurales del diseño de la turbina de gas y las restricciones de fabricación impuestas
por el estado actual de la técnica en

Esta contribución implica los siguientes pasos:

(l) Diseño de un dispositivo.


(2) Diseño de un proceso de fabricación (El proceso fue implementado por expertos en
microfab del MIT).

(3) Prueba inicial de un turbocompresor fabricado.

Esta contribución incluye los siguientes logros:

(l) Se diseñó una microingeniería de demostración integrada totalmente de silicio


utilizando el mejor conocimiento disponible de turbomaquinaria, cojinetes,
combustión, estructuras, materiales y micro fabricación a escala micro. Este diseño
incluye un rotor de dos obleas diseñado para implementar un innovador esquema de
enfriamiento de la turbina y un microcombustor con aislamiento térmico envolvente.

(2) Se desarrolló un conjunto de modelos de identificación simple para el rendimiento


térmico y aerodinámico y se utilizó para evaluar ampliamente el comportamiento
general del sistema del diseño. Estos modelos se incorporaron a los estudios de ciclo
del rendimiento general del motor.

(3) El proceso de fabricación de turbomaquinaria 'grabar y unir' fue rediseñado para


incluir máscaras anidadas, permitiendo características más grandes y una geometría de
rotor de dos obleas más compleja. El proceso rediseñado también incluye un nuevo
esquema de retención de rotor basado en película delgada y liberación paralela.
(4) La operación de un dispositivo fabricado se demostró en una prueba en frío a baja
velocidad. Los dispositivos se limitaban a funcionar a velocidades inferiores a 30,000
RPM. Los experimentos de metrología y flujo estático muestran que el desequilibrio
es el probable factor limitante. Las caracterizaciones de flujo estático también
identificaron varias áreas recomendadas de mejora para el diseño.

LECCIONES APRENDIDAS

Se aprendieron varias lecciones importantes a lo largo de este trabajo. Las lecciones


de los esfuerzos de desarrollo de la microingeniería de demostración llevados a cabo
hasta la fecha se pueden dividir en dos categorías generales. El primer conjunto de
lecciones se basa en las experiencias obtenidas durante los esfuerzos de fabricación del
turbocompresor y el motor de demostración. El segundo conjunto de lecciones se basa
en los análisis computacionales cada vez más sofisticados de la dinámica de fluidos del
motor y la termodinámica. Estas lecciones conducen a rediseños sugeridos para las
geometrías del compresor, la turbina y la cámara de combustión. Ambos conjuntos de
lecciones se resumen a continuación.

Lecciones de fabricación

La lección más importante aprendida es la apreciación de las poderosas restricciones


de diseño impuestas al motor de demostración por la fabricación. Las capacidades de
microfabricación impusieron el silicio como material estructural y pusieron
restricciones en el tamaño y la geometría de la cámara de combustión y la
turbomáquina. Sin embargo, aún más importante, fue el principal impulsor del
cronograma de desarrollo. A diferencia del compresor de motor, que fue una evolución
del equipo de micro rodamientos, el motor de demostración era un diseño
completamente nuevo que requería muchas características nuevas que no estaban
presentes en las micro turbomáquinas MEMS anteriores. Además, se propusieron
muchas características pero no se implementaron. Aunque muchas de las características
de diseño propuestas son técnicamente factibles (p. Ej., Cuchillas de 400 um y revistas
de 500 um), el esfuerzo de desarrollo requerido para estas características avanzadas es
sustancial. Esto obstaculiza severamente el progreso hacia las pruebas operativas. En
el caso de un vehículo de investigación, donde el objetivo final es un experimento, no
el desarrollo de procesos, el diseñador debe hacer todo lo posible para evitar
modificaciones en los procesos existentes. El diseñador debería centrarse en la
construcción de dispositivos comprobables que se ajusten a las limitaciones de los
procesos alcanzables, incluso si esto conduce a un menor rendimiento.

La especificación geométrica es una segunda lección importante. Lin señaló la


importancia de garantizar que el dispositivo fabricado cumpla con las especificaciones
de diseño. Esa lección se usó aquí para características como el cojinete diario, el
cojinete de empuje y las cuchillas. Como mostraron las pruebas experimentales, los
resultados fueron muy positivos. Las geometrías fabricadas coinciden estrechamente
con las predicciones teóricas. Sin embargo, la lección inversa, asegurando que el diseño
tenga en cuenta las capacidades de fabricación, es igualmente importante. Por ejemplo,
el desequilibrio es un tema clave para la operación. El desequilibrio depende de la
uniformidad de grabado. El diseño original no consideró adecuadamente la
uniformidad de grabado existente y alcanzable. Si este problema se hubiera
considerado con más detalle durante la etapa de diseño inicial, podría haber llevado a
centrar los recursos de fabricación en la uniformidad de grabado en lugar de en la
profundidad del cojinete o el procesamiento de obleas paralelas.

La geometría simple es una tercera lección importante. El esfuerzo de desarrollo dio


lecciones positivas y negativas aquí. Las lecciones negativas incluyen el concepto de
ficha de diario cruzado de oblea paralela sin éxito discutido en el Capítulo 4,
Fabricación, y la ruta de flujo de presurización de diario a través de NGV complicado
y cruzado discutido en el Capítulo 6, Resultados experimentales. La geometría de
interconexión, en particular, hizo que las revisiones de máscara fueran tediosas y
difíciles. Las lecciones positivas incluyen el esquema de retención de rotor de película
de óxido simple y exitoso y el diseño simple de rotor de dos obleas. Los futuros
investigadores deberían trabajar para evitar conceptos estructurales no probados,
geometrías de obleas cruzadas complicadas y rutas de flujo inusuales.

Lecciones de análisis
Una lección importante del esfuerzo de diseño es el acoplamiento entre los
termofluidos y el diseño estructural del motor. A diferencia de los motores de turbina
de gas convencionales, existe una transferencia de calor sustancial en el compresor del
motor de demostración. Esta transferencia de calor se utiliza para enfriar la estructura
de la turbina.

Sin embargo, también degrada sustancialmente el rendimiento del compresor y provoca


un acoplamiento estrecho entre el rendimiento del ciclo y el diseño estructural. Incluso
con materiales avanzados y esquemas de enfriamiento, este acoplamiento no se puede
eliminar por completo debido a la pequeña escala del dispositivo. La investigación
futura debería centrarse en reducir la transferencia de calor a la turbina mediante el uso
de enfriamiento de película, materiales avanzados, etc. El trabajo también debería
centrarse en diseños de compresores que sean robustos a altas temperaturas de pared.
Una lección relacionada es la importancia del modelado de alta fidelidad de la
turbomáquina. Desde el principio, el motor de demostración fue diseñado para utilizar
la transferencia de calor de turbina a compresor como mecanismo de enfriamiento. Los
principios de identificación cualitativa se entendieron bien como lo fueron las
interacciones fluídicas / estructurales. Sin embargo, el impacto teórico en el
rendimiento que esto tendría en el ciclo no se entendió completamente porque no había
cálculos en 3D. El motor de demostración fue diseñado en torno a un análisis de 21) de
la turbomáquina. Las herramientas 3D necesarias simplemente no estaban disponibles
en el momento del diseño. Resultados posteriores Los resultados del compresor 3D
mostraron un impacto mucho mayor de lo esperado originalmente y una vez que estos
resultados estuvieron disponibles, la calibración de los modelos ID fue sencilla. En
ausencia de una base experimental sólida, se debe utilizar un análisis de ID acoplado y
CFI 3D como herramienta principal para el diseño de micro turbomaquinaria.

REDISEÑO

Esta sección describe un rediseño propuesto del motor de demostración que explica las
lecciones de fabricación y diseño aprendidas como parte de este trabajo. El rediseño es
un proceso algo intuitivo y son posibles varios escenarios. El diseño presentado aquí
busca maximizar la practicidad del diseño. Esto conduce al uso máximo de las
tecnologías de proceso existentes a expensas de otras propiedades deseables, como la
alta potencia de salida del dispositivo. Este resultado es un motor más pequeño que
debe verse principalmente como un vehículo experimental en lugar de un dispositivo
de producción prototipo. Este nuevo diseño también retiene los rodamientos
presurizados externamente, evitando así el problema del arranque.

Las lecciones descritas anteriormente indican que el diseño actual del motor de
demostración no se puede construir y operar como un motor a reacción de ciclo cerrado.
Aunque el diseño inicial presentado en el capítulo 2 debería funcionar en teoría, este
diseño no podría fabricarse utilizando la tecnología existente. En particular, el diseño
requiere cojinetes hidrodinámicos y aspas de turbomaquinaria altas (400 um). Ninguna
de las características se puede implementar utilizando las tecnologías de
microfabricación más modernas. Los dispositivos fabricados introdujeron cuchillas
más cortas y un rodamiento hidrostático para simplificar la fabricación. Sin embargo,
el análisis de esta geometría indica que dicho motor no puede cerrar un ciclo. Además,
los resultados del equipo de estructura estática en caliente MIT, muestran que el diseño
actual de la cámara de combustión no puede funcionar con el flujo másico de diseño y
la relación de baja presión esperada de 1.8. Finalmente, los análisis tridimensionales
de CFI) de la paleta del compresor actual muestran una eficiencia menor a la esperada,
lo que sugiere la necesidad de un rediseño de turbomaquinaria.

Geometría rediseñada
En base a las lecciones aprendidas, se intentó rediseñar el diseño del motor de
demostración. El nuevo diseño mantiene el proceso de fabricación existente, pero
requiere un cojinete hidrostático de 300 um y un flujo másico más bajo del motor. El
flujo más bajo del motor aumenta el tiempo de residencia de la cámara de combustión.
El cojinete diario está soportado por el aire de purga de la descarga del compresor.
Usando las mediciones experimentales del flujo del diario del Capítulo 6, resultados
experimentales, el diario hidrostático sangrará el 20% del flujo másico del compresor
a una relación de presión de

1.8. La eficiencia de la turbina de diseño se redujo a 0,60 para representar mejor los
cálculos preliminares de la turbina 3D. La temperatura de escape de la cámara de
combustión se incrementó a 1750 K para mantener la misma temperatura promedio de
entrada de la turbina de 1600 K (el sangrado del muñón será de 950 K
comparativamente frío). Este nuevo diseño alcanza un punto de equilibrio marginal. El
ciclo y los parámetros se resumen en la Tabla 7-1.

También se consideraron otras variaciones, incluidos motores con rotores más


pequeños y palas más cortas. En general, el motor está muy limitado por las bajas
eficiencias de turbomaquinaria asociadas con la transferencia de calor de la turbina al
compresor. La adición de grandes hemorragias para los cojinetes hidrostáticos exacerba
el problema. Si los rodamientos se suministran externamente o si se puede reducir la
transferencia de calor, el ciclo debería cerrarse. Finalmente, los motores mejorados
requerirán un esquema de enfriamiento de turbina diferente o materiales de turbina
mejorados.

Trabajo futuro

El trabajo presentado aquí representa los que fueran los primero primeros pasos hacia
un micro motor integrado exitoso. Sin embargo, se requieren varios pasos adicionales
para alcanzar ese objetivo. Estos incluyen pasos en la fabricación, diseño y pruebas.

Los esfuerzos de fabricación deberían centrarse en mejorar la coincidencia entre la


geometría especificada y la geometría fabricada. A corto plazo, las áreas de fabricación
más importantes son la uniformidad del rotor y la alineación para la reducción del
desequilibrio. Una vez que se demuestre que un rotor equilibrado funciona a altas
velocidades, el enfoque debe cambiar para lograr las palas más altas, el diario más
profundo y la cámara de combustión más profunda originalmente solicitada en el
diseño del motor de demostración 'de referencia'.
Los esfuerzos de diseño deben centrarse en dos áreas. La primera área es la
simplificación y modificación del diseño existente basado en los resultados
experimentales observados. Las futuras construcciones del turbocompresor y el motor
de demostración deben incluir un sello de la llanta del compresor y un esquema
mejorado de presurización de cojinete de diario. Esto puede requerir la eliminación de
las interconexiones a través de NGV. La segunda área de enfoque debería estar en los
nuevos diseños de turbomaquinaria. Los resultados preliminares en 3D indican que la
turbina del motor de demostración tiene una eficiencia baja y no coincide con el
compresor. La turbina debe ser rediseñada para lograr una coincidencia y una mayor
eficiencia. Los análisis CFL) muestran que el diseño actual del compresor de barrido
alto es sensible a la adición de calor y tiene una eficiencia baja (0.30.4). El compresor
debe ser rediseñado para reducir el barrido hacia atrás, mejorando la relación de presión
y el flujo de masa frente a la adición de calor mientras se preserva o mejora la
eficiencia. También se debe diseñar una estructura de turbina más avanzada y un
esquema de enfriamiento para reducir la transferencia de calor al flujo del compresor
y aumentar la eficiencia general.

Los esfuerzos de prueba deben centrarse primero en lograr altas velocidades. La


adición de un sello de la llanta del compresor debería permitir la presurización directa
del cojinete del muñón. El desequilibrio reducido debería permitir la operación del
dado a velocidades más altas. Una vez que se alcanzan velocidades más altas, la
eficiencia general directa de la bobina debe medirse utilizando el esquema descrito en
el Capítulo 6, Resultados experimentales. Luego, el troquel debe probarse con una
cámara de combustión en funcionamiento, lo que demuestra la primera operación
exitosa de un micro motor con cámara de combustión integrada y turbomáquina.

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