Nombre: Diego Santiago Naula

Fecha: 6/11/2019
Materia: Sistemas Digitales 1
Fotolitografía

Es un proceso muy utilizado para la fabricación de dispositivos electrónicos cuyo objetivo

es transferir un patrón en el material base, que queda cubierto en algunas áreas por una
resina sensible a la luz, con el propósito de proteger esas áreas cubiertas durante los
procesos de ataque y grabado del material base, formando estructuras definidas con algún
propósito especifico dentro de la conformación del dispositivo microelectrónico. Es tan
utilizado en la fabricación de dispositivos que consume el 60% del tiempo y el 40% de
costo de fabricación. Además, que para la fabricación de una sola oblea con circuitos
CMOS, se puede repetir hasta 50 veces el proceso.

Se podría decir que el proceso de litografiado consta de los siguientes pasos:

1. Se aplica resina fotosensible en la oblea de silicio, esta sustancia varía químicamente
de acuerdo la manifestación de luz.
2. La resina se acopla a la placa de silicio al estar en el horno durante un breve tiempo.
3. Ahora, se usa una máscara que contiene el diagrama del circuito con áreas obscuras y
cristalinas que es colocada entre la oblea y el lente convergente; de forma que, en el
momento que se proyecte la luz, ciertos sectores se plasmen en la superficie.
4. Puesto el esquema en la placa, se realiza un baño químico para poder revelar el patrón
de la máscara.
5. Por último, se plasman los esquemas como en el paso (2) pero a mayor temperatura y
al final se limpian las placas con ácido nítrico para eliminar residuos.
En conclusión, la litografía permite plasmar un esquema encima de una placa finamente
pulida de silicio; en donde, la resolución del plasmado es inversamente proporcional a la
longitud de onda de la luz empleada en el proceso. También, se busca una longitud de
onda pequeña para que los transistores quepan en un espacio más reducido y de esta
manera la velocidad de procesamiento del circuito sea mayor debido a que el electrón
emplea menos energía en desplazarse de un punto a otro.

Bibliografía
M., H. R. (2008). Tecnologías y Procesos de fabricación de microsistemas . bibing.