IELE4204-Principios Básicos de Nanotecnología 2019-2 Fotolitografía

Principios Básicos de Nanotecnología

Universidad de los Andes

Llene la siguiente tabla indicando los valores usados para el diseño de

su sensor.
Etiqueta Guía Tamaño (µm) Tamaño (pixeles)
a 300 µm 300 µm 20
b 200 µm 210 µm 14
c 400 µm 405 µm 27
d 100 µm 105 µm 7
e 40 µm 45 µm 3
f 25 µm 30 µm 2
g 935 µm 930 µm 62
h 50 µm 45 µm 3
Tabla 1. Medidas diseño sensor inter-digitado

Figura 1. requerimientos sensor inter-digitados

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Figura 2. Diseño sensor inter-digitados