Análisis de proceso de decapado y de

creación de películas delgadas de oro por

medio de evaporación térmica

José M. Taboada
Centro de Nanociencias y Nanotecnología. UNAM
Licenciatura en Nanotecnología. Ensenada, México.

Resumen.
El oro es un elemento químico sumamente utilizado en distintas áreas debido a sus propiedades físicas
que posee. En el área de la electrónica, el oro se utiliza principalmente para la fabricación de cables,
ya que este no se oxida y es un buen conductor. Debido a esta propiedad conductiva, el oro también
se utiliza en el área de la nanofabricación para la creación de películas delgadas. En el presente trabajo
se analizó la taza de depósito de oro por el método de evaporación térmica, además, se midió su taza
de decapado utilizando agua regia, que es una mezcla de ácido nítrico y ácido clorhídrico.
Palabras Clave. Oro, películas delgadas, evaporación térmica, decapado

Introducción comenzarse a dispersar en una cámara de vacío

El oro es un elemento químico altamente
maleable y dúctil. Este además presenta
propiedades físicas interesantes para la
industria de la electrónica debido a su alta
conductividad y resistencia a la corrosión.
También, el oro se utiliza en al área de la
nanotecnología para la creación de películas
delgadas que se pueden utilizar como
conectores en un dispositivo microelectrónico,
o como recubrimiento para poder analizar un
material por medio de un microscopio de
barrido electrónico. Para poder realizar este
recubrimiento se es necesario utilizar un
método de fabricación de películas delgadas.
[1]
Los métodos de fabricación de películas
delgadas son varios, uno de los más comunes
es la evaporación térmica. Este método
consiste en el calentamiento del sustrato hasta
alcanzar su punto de evaporación y así
para finalmente condensarse en la superficie
del material a recubrir. Esta técnica es una de
las más antiguas para la deposición de
películas delgadas. [2]
Para que el material llegue a alcanzar su
temperatura de evaporación se suele calentar
mediante distintos mecanismos como
resistencias o láseres. En el caso de
calentamiento por resistencia, a un alambre se
le hace circular una alta corriente causando
que este llegue a elevar su temperatura. En el
centro de este material se encuentra el sustrato
el cual va a alcanzar su punto de vaporización
y comenzara a dispersarse por toda la cámara.
La cámara debe de encontrarse a una presión
de 10−4 Pa , permitiendo así que las partículas
evaporadas puedan tener un camino libre
medio y así evitar que estas colisionen. Debido
al bajo punto de evaporación que posee el oro,
esta técnica es utilizada para la creación de
películas delgadas de este material. [2]
Por último, debido a las propiedades químicas
que posee el material, el oro presenta una gran
resistencia a la mayoría de los ácidos, las pocas
sustancias que lo disuelven es el agua regia. El
agua regia es una mezcla entre ácido nítrico y
ácido clorhídrico. En el presente trabajo se
presenta la tasa de crecimiento del oro por
medio del método de evaporación térmica y la
taza de decapado utilizando agua regia.
Metodología
Como primer paso se realizaron cuatro
muestras diferentes utilizando distintos
tiempos de crecimiento. Las condiciones de
trabajo fueron idénticas para las muestras
Resultados y discusiones
Crecimiento de película de oro
En la tabla 1 se muestran los resultados obtenidos de la tasa de crecimiento del oro.
Tabla 1: Análisis de crecimiento de oro
Tiempo(s) Tamaño de película(nm)
0 0
30 3.78
60 10.2
66 13.47
90 15.2
Con estos datos se logró realizar una gráfica que presenta la tasa de crecimiento del material. En la
figura 1 se muestran los datos graficados de tamaño contra tiempo.
calentando un filamento de oro de alta pureza
por medio de un filamento de tungsteno al cual
se le hacía incidir una corriente de 16
Amperes. Este proceso se realizó en una
cámara donde su presión de trabajo fue de
10−4 Pa. Cada una de las muestras tuvo un
tiempo de crecimiento diferente, utilizando 4
tiempos distintos que fueron 30, 60 , 66 y 90
segundos .
Una vez creadas las películas delgadas se
midieron por medio de elipsometría y se
obtuvo el tamaño de película de cada muestra.
Finalmente, utilizando una solución de agua
regia diluida al 20 % en agua se realizó el
decapado de la muestra de 66 s y se expuso a
la solución durante 12, 60 y 300 segundos. En
cada intervalo se medía el tamaño de la nueva
capa.
tasa de crecimiento (nm/s)
0
0.126
0.17
0.204090909
0.168888889
 Crecimiento de Oro por evaporacion termica
18
16
Tamaño de pelicula (nm)

14
y = 0.1759x
12
R² = 0.9627
10
8
6
4
2
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
Tiempo (s)

Figura 1: Grafica de tasa de crecimiento del oro

Después de realizar el análisis de datos se obtuvo que la tasa de crecimiento del oro utilizando el
método de evaporación térmica es de 0.1759 nm/s con un error de +- 0.022 nm/s. Al multiplicar estos
valores por 60 s se obtiene como resultado final que la tasa de crecimiento del oro por medio del
método de evaporación térmica es de 10.554 nm por minuto.
Tasa de decapado
En la tabla 2 se presentan los resultados obtenidos de la tasa de decapado del oro utilizando agua
regia.
Tabla 2: Tasa de decapado

Tiempo(s) Tamaño de pelicula(nm) Tamaño de decapado (nm) Tasa de decapado (nm/s)

0 13.47 0 0
12 12.93 0.54 0.045
60 11.71 1.76 0.029333333
300 3.2 10.27 0.034233333

Con estos datos se logró realizar una gráfica que presenta la tasa de decapado del material. En la
figura 2 se muestran los datos graficados de tamaño contra tiempo.
 Decapado de oro utilizando agua regia
12

10
Tamaño de decapdo (nm)

8
y = 0.0341x
R² = 0.9986
6

0
0 50 100 150 200 250 300 350
Tiempo(s)

Figura 2: Grafica de tasa de decapado de oro

Concluido el análisis se logró determinar que la tasa de decapado del oro utilizando la solución de
agua regia diluida al 20% en agua fue de 0.0341 nm/s con un error de +- 0.00395 nm/s . Para este
caso, al multiplicar estos datos por 60, se obtiene que la tasa de decapado del oro es de 2.046 nm por
minuto.
Las tasas de crecimiento por medio de la evaporación térmica suelen ser de 1 A/s hasta 3 μ/s, por lo
que los valores obtenidos entran con los valores esperados de crecimiento. En relación a la tasa de
decapado, al encontrarse diluida su efecto es menor por lo que la tasa de decapado suele ser más lenta
comparada con una solución de agua regia sin diluir. En el caso que se requiera aumentar la velocidad
se puede aumentar la concentración de agua regia en la solución.
Conclusiones
Se realizaron cuatro muestras de láminas de oro las cuales poseían distintos espesores debido a la
diferencia de su tiempo de crecimiento. Se obtuvo que la tasa de crecimiento del oro por medio del
proceso de evaporación térmica es 10.554 nm por minuto. También, se realizó el proceso de decapado
de una muestra utilizando una solución de agua regia diluida al 20 % en agua. Esta solución dio por
resultado un decapado de oro de 2.046 nm por minuto.
Referencias.
1.- AZoM, W. B. (2018, August 22). Gold - Physical, Mechanical, Thermal and Electrical
Properties of Gold - World Gold Council. Obtenido de
https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=5147

2.- Jaeger, Richard C. (2002). "Film Deposition". Introduction to Microelectronic Fabrication

(2nd ed.). Upper Saddle River: Prentice Hall.