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[2] Una posibilidad para medir esta cantidad es la aplicación de medidores de tensión.

Como los
medidores de tensión de lámina estándar no se pueden aplicar para mediciones superiores a 200
° C durante un largo período de tiempo, se realiza un elemento miniaturizado que consiste en
una membrana personalizada, una capa dieléctrica y un puente de Wheatstone, basado en una
película delgada de platino medidores debido a las deseables propiedades de alta temperatura [3]
[4] [5]. Un boceto del paquete del sensor se muestra en la figura 1.

Fig.1: Esquemas del paquete de sensores con componentes clave integrados

2. Detalles experimentales

2.1. Membrana

La membrana está fabricada de una superaleación a base de níquel en un procedimiento de


giro. La superficie de la membrana está pulida con cobre Discos antes
de el solicitud de el dieléctrico capa, cual consiste de chisporroteo depositado nitruro de
aluminio (AlN) con un espesor de 2 μ m. Mediante una combinación de simulaciones de
elementos finitos y un guión numérico [6] se encuentran las posiciones ideales en la membrana
para los meandros de platino del puente de Wheatstone.Después de una etapa de litografía, la
capa de platino con un espesor de 800 nm se deposita por pulverización catódica. El proceso de
pulverización catódica se realiza a una presión de 3 μ bar
con un argón fluir tarifa de 60 sccm a un plasma poder de150 W y un objetivo distancia de 75
mm. los el proceso consiste en 27 ciclos con un tiempo de sputter de 30 s cada uno. Después de
la deposición, se usa acetona para el proceso de despegue. Los medidores de tensión están
conectados con alambres de oro con un diámetro de 0,1 mm por soldadura de resistencia, como
se muestra en la figura 2.

Fig. 2: Membrana con calibradores de tensión de platino incluyendo alambres de oro


soldados por resistencia

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2.2. Alojamiento

los membrana es metido en parte


superior de el sensor alojamiento cual consiste de el mismo base material y es ya equi
pado con un conjunto de monocristales piezoeléctricos. Los alambres de oro se colocan
dentro de tubos capilares de cerámica para evitar cualquier
electricidad atajos los membrana es conectado a el alojamiento por electrón haz solda
dura. los piezoeléctrico cristales
son fijo mecánicamente por un precarga y operado en transversal modo. los cargar es
recogido en saburral Discos ese estan
conectados por alambreslíder fuera de el sensor. los resultado es un cerrado y robusto
alojamiento resistente a líquidos, gases y radiación

2.3. Mediciones

Las primeras mediciones de presión se realizan con un probador de peso muerto basado
en aceite. Diferencias de presión en el rango
de 1 a 50 bar son mesurado con ambos transductor principios simultaneamente. los te
nsión medidores son operado con un
QuantumMX440B módulo en resistencia medición modo. los piezoeléctrico cristales
son leer fuera con un Carga CMD600 amplificador. los cosa
análoga salida de el amplificador es conectado a el Cuántico módulo a permitir un dir
ecto comparación de ambas señales de salida del sensor al variar en hora.
Además, el sensor es cargado a habitación temperatura con dinámica presión oscilaci
ones UN hecho a medida Se usa un equipo que genera oscilaciones con aire
comprimido y al mismo tiempo se puede aplicar una presión estática. La frecuencia de
oscilación se controla en paralelo mediante un sensor piezoeléctrico independiente. La
carga estática se establece en
aproximadamente 2 bar, el oscilaciones tener amplitudes de 6 bar. los alto temperatur
a robustez de el todo el montaje
es probado en un común cámara horno a 500 DO para 24horas Además, el dispositivo
es montado en un motor Banco de pruebas, siendo térmicamente (~ 300 °
C) y mecánicamente tensionado para 400 horas radiografía imágenes es usado a comp
robar el estabilidad de los contactos de oro. El tubo de rayos X funciona a 180 kV y se
usa un detector digital GE DXR250RT para la grabación de imágenes.

3. Resultados y Discusión

por preevaluación propósitos, el tensión medidores son leer individualmente tomando


un pérdida de señal a ruido proporción y cualquier
termal compensación dentro cuenta en contraste cuando operado en un Wheatstone pu
ente configuración.
Figura 3 (un) muestra el resultados de el peso
muerto ensayador mediciones. Resistencia cambios son mesurado para el medidores
de
deformación, mientras el salida de el piezoeléctrico elementos es dado por el cantidad
de eléctrico cargar. En el rango de medición de 1 a 50 bar, la linealidad de los
calibradores de tensión está dentro de 3.2% de FSO, mientras que la linealidad de los
elementos piezoeléctricos está dentro de 1.5% de FSO. Además, una ligera
disminución en la sensibilidad de los medidores de tensión con una presión
creciente es observado. Simultaneamente, el opuesto efecto ocurre a el piezoeléctrico
sensor. los razón para esta efecto estará sujeto a futuro investigaciones.

Fig. 3: (a) Curvas de calibración de galga extensométrica y señal piezoeléctrica de hasta

50 bar a temperatura ambiente y (b) comparación de las señales de salida variables en


el tiempo de los medidores de tensión así como de los elementos piezoeléctricos
sensibles a la presión.

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Los resultados de las mediciones dinámicas se muestran en la figura 3 (b). El gráfico representa
la frecuencia de presión más alta de 12 Hz con señales coherentes de ambos sistemas de
sensores. Mientras que el transductor piezoeléctrico muestra una señal coherente
hasta muy alto frecuencias 10 kHz, el tensión calibre señal no
poder resolver el oscilación encima 12 Hz debido a un bajo relación señal / ruido (ver figura 3
(b)). La imagen de rayos X en la figura 4 (b) demuestra la estabilidad a largo plazo de los
contactos bajo carga térmica y mecánica en comparación con el estado original (ver figura

4). (un)).

Fig. 4: Imágenes de rayos X de los seis hilos de oro que conectan la membrana del sensor
antes (a) y después (b) de 400 h en el banco de pruebas del motor

4. Conclusiones y perspectivas

En este estudio, se diseñó, realizó y caracterizó un sensor para mediciones combinadas


de presión altamente dinámica y estática. Para este fin, el sensor está equipado con monocristales
piezoeléctricos, lectura en modo transversal y galgas extensométricas de película fina de
platino. Se ha desarrollado una novedosa membrana de superaleación a base de níquel que se
utiliza para transferir la presión a los cristales piezoeléctricos así como a los medidores de
tensión. Se deposita una capa dieléctrica de AlN entre los medidores de tensión de película
delgada y la membrana. Aunque el cambio en la resistencia de los extensómetros no se leyó en
la configuración de Wheatstone, se determinó una linealidad de 3,2% de FSO a temperatura
ambiente, mientras que para los elementos piezoeléctricos, se midió un valor de 1,5%. El
monitoreo de las oscilaciones de frecuencia se limita a aproximadamente 12 Hz con los
medidores de tensión, debido a la baja relación señal / ruido. La estabilidad térmica de la
configuración se da hasta 500 ° C, como se verifica en un horno de cámara sin ninguna carga
mecánica. A 300 ° C, la estabilidad a largo plazo también se da hasta al menos 400 horas cuando
el sensor está expuesto a un espectro de vibración como ocurre en una prueba de motor banco.
En el futuro cercano, el rendimiento a altas temperaturas del enfoque combinado del sensor debe
ser evaluado en detalle. Esto implica, además, una caracterización en profundidad de la capa
dieléctrica, así como los calibradores de tensión de platino para estimar su robustez de
temperatura. Con todo, sin embargo, creemos que la combinación propuesta de elementos
piezoeléctricos y medidores de tensión de película delgada es muy prometedora para la detección
precisa de la presión incluso en condiciones ambientales adversas.