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DISPERSIN ELSTICA
En la dispersin elstica, la colisin de un electrn con un tomo provoca un
cambio en la componente de direccin del electrn pero deja virtualmente intacta la
velocidad del mismo; por tanto la energa cintica del electrn permanece prcticamente
constante. El ngulo de desviacin de una colisin es aleatorio y puede variar desde 0
hasta 180 . Una simulacin obtenida con un ordenador del comportamiento aleatorio de
5 y 100 electrones cuando entran en un slido perpendicularmente a su superficie con
una energa del haz de 20 keV, valor relativamente corriente indica que los electrones
penetran hasta una profundidad de 1.5 m o ms. Algunos de los electrones pierden su
energa; sin embargo, la mayora experimenta numerosas colisiones y como resultado,
acaban saliendo de la superficie como electrones retrodispersados. Es importante
sealar que el haz de electrones retrodispersado tiene un dimetro mucho mayor que el
haz incidente; por ejemplo, para un haz incidente de 5 nm, el haz retrodispersado puede
tener un dimetro de varios micrmetros. El dimetro del haz retrodispersado es uno de
los factores que limitan la resolucin de los microscopios de electrones.