04/11/2012

Interaccin de los electrones

con la materia:
Haz de electrones
incidente SEM
Anlisis qumico
Electrones retrodispersados
Rayos X

Electrones Auger
Ctodoluminiscencia

Electrones secundarios
SEM

Electrones absorbidos TEM

Electrones transmitidos

SEM: Microscopa electrnica de barrido

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SEM: Microscopa electrnica de barrido

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Construccin del SEM

Haz de e- Can de e-

nodo

Lente
magntica

Al monitor
Bobinas
de barrido

Detector de e-
retrodispersados
Detector de e-
secundarios
Platina
Muestra

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Can de electrones
0,5 30 kV Haz de e- Can de e-

-Termoinico: W o LaB6 nodo

-Emisin de campo (FE):
ctodo fro o Schottky Lente
magntica

Al monitor
Bobinas
nodo de barrido

Atrae y acelera a los

electrones aplicando Detector de e-
un voltaje positivo retrodispersados
Detector de e-
secundarios
Platina
Muestra

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Lentes magnticas
Crean un campo Haz de e- Can de e-
magntico rotacional y
simtrico que acta
nodo
sobre el haz de
electrones.
Lente
magntica
La intensidad de la lente
vara segn la corriente Al monitor
que pasa por ella. Bobinas
de barrido

-Lente condensadora:
Expande o condensa el Detector de e-
haz. retrodispersados
-Lente objetivo: Detector de e-
Enfoca y determina el secundarios
Platina
tamao final del haz. Muestra

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Bobinas de barrido
Mueven el haz sobre la Haz de e- Can de e-
muestra en X e Y.
nodo
Estn sincronizadas con
el monitor en el que se
Lente
registra la imagen. magntica

Al monitor
Bobinas
de barrido

Detector de e-
retrodispersados
Detector de e-
secundarios
Platina
Muestra

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Detectores de electrones
e- secundarios: Haz de e- Can de e-
-Centelleador a 10 kV
que atrae a los e-.
nodo
-Fotomultiplicador.
-Amplificador.
Lente
Imagen de topografa magntica
iluminada desde el
detector. Al monitor
Bobinas
de barrido
e- retrodispersados:
Viajan en lnea recta.
Dipolos o cuadrupolos Detector de e-
simtricos permiten retrodispersados
obtener una imagen Detector de e-
topogrfica adems de secundarios
Platina
composicional Muestra

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin
Haz de electrones
incidente
Electrones retrodispersados

Electrones secundarios

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin
Haz de electrones
incidente
e- e-

e- e-

e-
e-

Volumen de interaccin

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin segn Z

e- e-

Bajo Elevado
nmero atmico nmero atmico
(Z) (Z)

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin segn densidad

e- e-

Baja Elevada
densidad densidad
(d) (d)

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin segn energa del haz

Elevado voltaje del haz Bajo voltaje del haz

(alta E) (baja E)

e- e-

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin

e-
e- e-
e-

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones secundarios y retrodispersados

E haz
e- 50 eV incidente
e- e-
secundarios retrodispersados

e- Auger

Nmero e- emitidos
e- secundarios

e- retrodispersados

R X caractersticos

Energa de los e- emitidos

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones secundarios

Se producen a partir de la emisin de los electrones

de valencia de los tomos de la muestra.

Como son de muy baja energa (< 50 eV) solo

logran salir de la muestra los ms superficiales.

Proporcionan informacin acerca de la topografa de

la superficie.

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones secundarios

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones retrodispersados

A veces llamados e- reflejados.

Poseen mayor E que los secundarios, por tanto

proporcionan informacin de regiones ms
profundas de la muestra.

Son sensibles a la composicin de la muestra:

A mayor Z, mayor emisin de e- retrodispersados.
Por tanto, las reas con elementos pesados
aparecen brillantes en la imagen.

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones retrodispersados

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Preparacin de muestra
Requisito principal: La muestra debe ser conductora
Se monta sobre el porta de modo que est
elctricamente conectada al mismo.

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Preparacin de muestra
Si la muestra NO es conductora
La superficie se recubre con una pelcula de metal:
Sputtering: Au, Au-Pd, Pt, Pt-Pd
Evaporacin en vaco: C, Al

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Preparacin de muestra
Muestras biolgicas
Protocolos habituales:
-Fijacin
-Deshidratacin
-Secado (por punto crtico)
-Montaje y recubrimiento

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