Principios de anlisis por EDX

En un Microscopio Electrnico de Barrido el haz de electrones que incide sobre la muestra

causa ionizaciones en niveles internos de los tomos constituyentes de la misma. A medida
que el haz va causando ionizaciones, va perdiendo energa por lo que slo penetra hasta
unos cuantos micrmetros de profundidad. Los tomos ionizados en esta zona emiten
Rayos-X de energas caractersticas. Los fotones de Rayos-X emitidos por la muestra
pueden alcanzar la entrada del detector del espectrmetro EDX incorporado al
microscopio.

Un detector EDX contiene un cristal de Si que absorbe la energa de los Rayos X que
penetran en l, generando pares electrn-hueco al promover electrones desde la banda de
valencia hasta la banda de conduccin. Cada par e-h es separado por un voltaje de
polarizacin para evitar su recombinacin. El nmero de pares electrn-hueco creados
depende de la energa del fotn absorbido, generndose un pulso de carga cuya intensidad
es proporcional a la energa de dicho fotn. Cada pulso de carga es convertido en un pulso
de voltaje amplificado, tambin proporcional a la energa del fotn absorbido, de tamao
y forma adecuado para su conteo y ubicacin en un analizador multicanal, en el que se
coloca como una cuenta en el canal que le corresponda, de acuerdo a su altura. Tras
acumular cuentas durante un tiempo de adquisicin predeterminado, que puede ir desde
varios segundos hasta varios minutos, se genera un histograma del nmero de cuentas
obtenidas en cada uno de los diferentes canales, el cual constituye el espectro de Rayos-X,
separados o dispersados de acuerdo a su energa.