Actuadores piezoelctricos

Miguel Cpich Rodrguez*

Fernando J. Elizondo Garza*
I. INTRODUCCIN
La palabra piezo se deriva de la palabra
Griega: que significa estrechar, apretar u
oprimir. En 1880, Jacques y Pierre Curie
descubrieron que al aplicar presin a un cristal de
cuarzo se establecan cargas elctricas en ste; ellos
llamaron a este fenmeno el efecto piezoelctrico.
Mas tarde ellos verificaron que un campo elctrico
aplicado al cristal proporcionaba una deformacin
al material. Este efecto era referido como efecto
piezo inverso. Los materiales piezoelctricos, por
lo tanto, pueden ser utilizados para convertir
energa elctrica en energa mecnica y viceversa.

creando un campo elctrico lo bastante fuerte para

producir una chispa que encienda el gas.
Adems, relojes con alarma utilizan a menudo
elementos piezoelctricos. Cuando un voltaje de
C.A. es aplicado, el material piezoelctrico se
mueve a la frecuencia de dicho voltaje y el sonido
resultante es bastante alto para despertar al ms
reacio dormiln.
En el campo de la ingeniera el uso ms comn
del fenmeno piezoelctrico, actualmente, es en los
actuadores
piezoelctricos.
Un
actuador
piezoelctrico es un dispositivo que produce
movimiento (desplazamiento) aprovechando el
fenmeno fsico de la piezoelectricidad. Los
actuadores que utilizan este efecto estn disponibles
desde hace aproximadamente 20 aos y han
cambiado el mundo del posicionamiento de
presicin. El movimiento preciso que resulta
cuando un campo elctrico es aplicado al material,
es de gran valor para nanoposicionamiento.

Despus de su descubrimiento pasaron varias

dcadas antes de que se utilizara el fenmeno
piezoelctrico. La primera aplicacin comercial fu
en detectores ultrasnicos para submarinos
desarrollados durante la 1 Guerra Mundial y en la
decada de los cuarenta los cientficos descubrieron
que el titanato de bario (cermico) puede
comportarse como material piezoelctrico en
presencia de un campo elctrico.
Actualmente el efecto piezoelctrico es
a
menudo encontrado en la vida diaria. Por ejemplo,
en encendedores de gas para cigarrillos o
encendedores para parrillas en estufas de gas; una
palanca aplica presin a un cristal piezoelctrico

Ingenieras, Enero-Marzo 2000, Vol. III,

No.6

Academia de Dinmica Aplicada del Departamento de

Diseo
Mecnico
de
la
FIME
mcupich@gama.fime.uanl.mx; fjelizon@ccr.dsi.uanl.mx

Miguel Cpich Rodrguez, Fernando J. Garza

Elizondo

II.

LOS MATERIALES PIEZOELECTRICOS

Propiedades
Ya que el efecto piezoelctrico exhibido por
materiales naturales tales como el cuarzo, la
turmalina, la sal de Rochelle, etc., es muy pequeo,
se han desarrollado materiales con propiedades
mejoradas, por ejemplo los materiales cermicos
ferroelctricos policristalinos, como el BaTiO 3 y el
Zirconato Titanato de Plomo (PZT).
Los cermicos PZT, disponibles en muchas
variaciones, son los materiales ms ampliamente
usados hoy para aplicaciones como actuadores o
sensores. La estructura cristalina del PZT es cbica
centrada en las caras (isotrpico) antes de la
polarizacin y despus de la polarizacin exhiben
simetra tetragonal (estructura anisotrpica) por
abajo de la temperatura de Curie, que es aquella en
la cual la estructura cristalina cambia de forma
piezoelctrica (no-simtrica) a no-piezoelctrica. A
esta temperatura los cermicos PZT pierden las
propiedades piezoelctricas.

Fig. 1. Celda elemental piezoelctrica; (1) Antes

de polarizarse (2) Despus de polarizarse.

La razn del comportamiento de dipolo elctrico

es la separacin entre los iones de carga positivo y
negativo. Una regin de dipolos elctricos con
orientacin similar es llamada dominio. A los
grupos de dipolos con orientacin paralela se les
llama dominio de Weiss. El dominio de Weiss est
orientado aleatoriamente en el grueso del material
del PZT, antes de que el tratamiento de polarizacin
sea efectuado. Para este propsito se aplica un
campo elctrico ( 2000 V/mm) al piezo cermico
(calentado). Con el campo aplicado, el material se
expande a lo largo del eje del campo y se contrae
perpendicularmente a este eje. Los dipolos
elctricos se alinean y permanecen rgidamente
alineados hasta su enfriamiento. El material tiene
ahora una polarizacin permanente (la cual puede
ser degradada s se exceden los lmites mecnicos,
trmicos y elctricos del material). Como resultado,
hay una distorsin que causa un aumento en las
dimensiones alineadas con el campo y una
contraccin en los ejes normales al campo.
Cuando un voltaje es aplicado a un material
piezoelctrico polarizado, el dominio de Weiss
aumenta su alineamiento proporcionalmente al
voltaje. El resultado es un cambio
en
las
dimensiones (expansin, contraccin) del PZT.

Fig. 2. Dipolos elctricos en el dominio de

Weiss (1) cermico ferroelctrico sin polarizar (2)
durante y (3) despues de la polarizacin (cermico
piezoelctrico).

Desplazamiento de Piezo Actuadores (Tipo pila

y tipo contraccin)
El desplazamiento de los cermicos PZT es funcin
de la intensidad del campo elctrico aplicado E, del
material utilizado y de la longitud L del cermico
PZT. Las propiedades materiales pueden ser
descritas por los coeficientes piezoelctricos de
deformacin unitaria dij.
Estos
coeficientes
describen la relacin entre el campo elctrico
aplicado y la deformacin mecnica producida.
El desplazamiento DL de un piezo actuador de una
sola capa, sin carga, puede ser estimado por medio
de la ecuacin:

por un PZT de lazo abierto depende del campo

elctrico aplicado y de la piezo ganancia la cual es
relativa a la polarizacin permanente. La histresis
es tpicamente del orden de 10 a 15 % del
movimiento comandado.

DL = E*dij*Lo
Donde:
Lo = longitud del cermico [m]
E = intensidad del campo elctrico [V/m]
dij = coeficientes piezoelctricos de deformacin
unitaria

Fig. 4. Curvas de histresis de un piezo actuador

de lazo abierto para varios voltajes de pico.
III.- VENTAJAS DE LOS SISTEMAS DE
POSICIONAMIENTO PIEZOELECTRICOS
Resolucin
Fig. 3. Elongacin y contraccin de un disco de
PZT cuando se le aplica un voltaje.
Hystresis (PZTs de lazo abierto)
Los piezo actuadores de lazo abierto exhiben
histresis. La histresis se fundamenta en los
efectos de polarizacin cristalina y en la friccin
molecular. El desplazamiento absoluto generado

Un actuador piezoelctrico puede producir

cambios de posicin extremadamente finos por
abajo del rango de subnanmetro. Los pequeos
cambios en el voltaje de operacin son convertidos
en suaves movimientos.
Generacin de grandes fuerzas
Un actuador piezoelctrico puede generar una
fuerza de varios miles de Newtons. Existen

unidades comerciales que pueden sostener cargas de

varias toneladas y posicionarlas dentro del rango de
ms de 100 m con resolucin subnanomtrica.
Expansin rpida
Los piezo actuadores ofrecen el tiempo ms
rpido de respuesta disponible (microsegundos). Se
pueden obtener aceleraciones de ms de 10,000 gs.
Ningn efecto magntico
El efecto piezoelctrico est relacionado a los
campos elctricos. Los actuadores piezo elctricos
no producen campos magnticos ni son afectados
por stos. Son especialmente apropiados para
aplicaciones donde los campos magnticos no
pueden tolerarse.
Baja potencia de consumo
El efecto piezo convierte directamente energa
elctrica en movimiento absorbiendo energa slo
durante ste. La operacin esttica, an sosteniendo
cargas pesadas, no consume potencia.
Libre de desgaste y roturas
Un actuador piezo no tiene engranes ni ejes
rotativos. Su desplazamiento se basa en la dinmica
de estado slido y no muestra desgaste ni rotura. Se
han efectuado pruebas de resistencia en las cuales
no se han observado cambios despus de varios
miles de millones de ciclos.
Compatible con cuartos limpios y Vaco
Los piezo actuadores son elementos que no
necesitan ningn lubricante y no muestran desgaste
y abrasin. Esto los hace compatibles con cuartos
limpios e idealmente apropiado para aplicaciones de
Ultra Alto Vaco.

Operacin a Temperaturas Criognicas

El efecto piezo se basa en campos elctricos y
funciona hasta casi cero grados Kelvin (con
especificaciones reducidas).
IV.APLICACIONES
ACTUADORES

DE

LOS

PIEZO

En Optica, Fotnica y Tecnologa de Medicin:

Estabilizacin
de
imagen,
microscopa
electrnica,
sistemas
de
auto
enfoque,
interferometra, alineacin y conexin de fibra
ptica, scanners de espejo rpido, ptica activa y
adaptable, sintonizacin de lser, posicionadores de
espejos, holografa y estimulacin de vibraciones.
En Unidades de disco:
Para prueba de cabezas y cancelacin de
vibracin.
En Microelectrnica
En nano-metrologa, posicionamiento de obleas
y mscaras, medicin de dimensiones crticas,
microlitografa, sistemas de
inspeccin
y
cancelacin de vibracin.
En Mecnica de Precisin e Ingeniera Mecnica
Cancelacin
de
vibracin,
deformacin
estructural, ajuste de herramienta, correccin de
desgaste, micro bombas, actuadores lineales, piezo
martillos, sistemas de micro grabado y generacin
de ondas de choque.
En Medicina, Biologa y Ciencias de la Vida
Tecnologa de genes, micro manipulacin,
penetracin
de
clulas,
dispositivos
microdispensadores, estimulacin audiofisiolgica
y generacin de ondas de choque.

V.
TIPOS
DE
PIEZOELECTRICOS

ACTUADORES

Actuator tipo pila

ondas de choque y posicionamiento de herramientas

en mquinas para la fabricacin de superficies no
esfricas de lentes de contacto.

La configuracin ms comn en un piezo

actuador es el tipo pila de varias capas de
cermico con dos salidas elctricas. Para proteger el
cermico contra influencias externas, este se ubica
dentro de una carcaza de metal. A esta carcaza se le
pueden incorporar resortes para comprimir el
cermico de tal forma que permita la operacin de
tensin y compresin. La figura 5 muestra un
esquema del diseo elctrico de un piezo actuador
tipo pila.

Fig. 6. Actuador tipo pila.

Fig. 5. Diseo de un actuador piezoelctrico

tipo pila.
La figura 6 muestra un ejemplo de un actuador
de bajo voltaje con resortes internos pre-cargados y
un sensor de alta resolucin integrado.
Este
actuador provee desplazamiento hasta 90 micrones
y rigidez hasta de 400 N/m. Puede manejar cargas
hasta de 300 kilogramos y resistir fuerzas de
estiramiento hasta de 700 N. Las aplicaciones
incluyen cancelacin de vibracin, generacin de

En algunas aplicaciones, las restricciones de

espacio no permiten pilas tan largas. En este caso,
es posible usar los amplificadores mecnicos de
palanca para disminuir la longitud de la pila
cermica. El aumento en el rango de recorrido
ganado con un amplificador mecnico reduce la
rigidez y la mxima frecuencia de operacin del
actuador.
Actuadores flexure
En algunas aplicaciones un solo actuador tipo
pila no es suficiente para desempear tareas
complejas. Por ejemplo, cuando un movimiento
recto es necesario y solo puede ser tolerada una
desviacin nanomtrica desde la trayectoria ideal,
un actuador tipo pila no puede utilizarse porque
puede inclinarse algo as como unos 10
arcosegundos mientras se est expandiendo. Si la
pila y la parte a ser movida estn desacopladas y se

emplea un sistema gua de precisin puede lograrse

un excepcional control de la trayectoria. La mejor
gua de precisin puede lograrse con el
nanoposicionador Flexure el cual cuenta con un
amplificador de movimiento integrado.

Fig. 8. Combinacin de un piezo actuador y un

tornillo motorizado.
V.- OPERACIN
Operacin en lazo abierto y cerrado

Fig. 7. Nanoposicionador tipo Flexure y

scanner con amplificador de movimiento integrado.
Posicionadores Flexure de uno o varios ejes
son utilizados en investigacin, en laboratorios y
aplicaciones industriales tales como verificacin de
unidades de disco, alineadores de pantallas para rayos
X escalonados, ptica adaptativa, maquinado de
precisin, alineadores de fibra, microscopa
electrnica, sistemas de autoenfoque para perfil de
superficies y servo vlvulas hidrulicas.
Piezo actuadores combinados con sistema de
posicionamiento motorizado de amplio rango
Los Piezo actuadores pueden combinarse con
otros actuadores para formar un sistema de alta
resolucin de amplio rango. La figura 8 muestra un
ejemplo que combina un piezo actuador con un
tornillo motorizado. Esta combinacin provee 25
mm de movimiento burdo pero conserva las
caractersticas de alta de resolucin intrnsecas a los
piezoactuadores.

Los actuadores piezoelctricos pueden operar en

lazo abierto y lazo cerrado. En lazo abierto, el
desplazamiento corresponde aproximadamente al
voltaje manejado. Este modo es ideal cuando no es
crtica la precisin de la posicin absoluta o cuando
la posicin es controlada por datos que provee un
sensor externo. Los piezo actuadores de lazo abierto
exhiben histresis y comportamiento creep.
Los actuadores de lazo cerrado son ideales para
aplicaciones que requieren alta linealidad, amplia
estabilidad de posicin, repetibilidad y precisin.
Este tipo de actuadores estn equipados
con
sistemas de medicin de posicin que proveen
resolucin sub-nanomtrica y ancho de banda hasta
10 KHz. Un servo controlador (digital o analgico)
determina el voltaje a enviar al piezo actuador
comparando una seal de referencia con la seal
real proveniente del sensor de posicin.
Existen en el mercado posicionadores multi-eje
de lazo cerrado que ofrecen la posibilidad de situar
repetidamente un punto dentro de un cubo
nanomtrico de 1 x 1 x 1. Es importante recordar que
tal precisin se obtiene solo si el medio ambiente
circundante es controlado, pues cambios

de temperatura y vibraciones pueden

cambios de posicin a nivel nanomtrico.

causar

REFERENCIAS.

1. Piezoelectric
Flexure
Elements,
http://www.sensortech.ca/flexure.html,
Sensor
Technology Ltd., Canada, 1999.
Un piezo actuador puede alcanzar su
desplazamiento nominal en aproximadamente 1/3 2. PZT
&
Piezo
Actuator,
del perodo de su frecuencia de resonancia.
http://www.physikinstrumente.com/produkte.htm
Tiempos del orden de microsegundos y
l, PI, Alemania, 1999.
aceleraciones de mas de 10,000 gs son posibles.
3. K. Kuhnen, H. Janocha, Compesation of Creep
Las frecuencias de resonancia de los piezo
and Hysteresis effects of piezoelectric Actuators,
actuadores industriales confiables estn en funcin
http://www.vdivdeinversa al desplazamiento total del actuador. Esto
it.de/mst/ARCHIVE/9905/MSRART1.html,
es vlido para el piezo actuador sin carga; una carga
Alemania, 1999.
adicional decrece la frecuencia de resonancia en
4. Schfer, J.; Janocha, H., Compesation of
funcin de la raz cuadrada de la masa.
Hysteresis in solid state actuators. Sensors andd
Los piezo actuadores no son diseados para ser
Actuators A49, (1995), 97-102.
manejados a su frecuencia de resonancia, ya que las
Performance of Piezoactuators,
altas fuerzas dinmicas pueden daar la integridad 5. Operating
http://www.dynaoptics.com/ctc-600-1/operatingestructural del material cermico.
perf-piezoactuators.htm,
Dyna Optic Motion,
Canada, 1999.
Comportamiento dinmico