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Verano de Investigacin AMC 2016

Cinvestav, Unidad Mrida.


Manuel Xool Herrera
Resultados preliminares
Semana del 25-29 de julio
Las muestras obtenidas de crecimientos de ZnO sobre vidrio Corning por el mtodo de
Sputtering Magnetrn RF cuyos parmetros de crecimiento fueron los siguientes:
I.
II.
III.
IV.
V.

Tiempo de depsito: 50 y 70 minutos.


Distancia blanco-substrato: 7.5 cm.
ngulo de inclinacin del portasubstrato: 86.
Potencia de magnetrn: 80 W.
Presin de argn de crecimiento 10 mTorr.

Todos los sustratos fueron lavados con acetona, etanol y alcohol isoproplico en bao
ultrasnico por 5 minutos.

Los resultados obtenidos por el anlisis de rayos X se muestran a continuacin:

a)

b)

Figura 1.Difractogramas de ZnO sobre vidrio: a) 50 minutos y b) 70 minutos.

Los resultados obtenidos de las caractersticas morfolgicas y cristalinas de las muestras


anteriores son las siguientes:

Tabla 1. Parmetros importantes de las pelculas de ZnO sobre vidrio.

Crecimientos de ZnO sobre vidrio


50
70
Tiempo de
crecimiento (min)
280.7647
262.2833
Tamao de grano
()
2.6047
2.6022
Distancia
interplanar ()
3.20189
3.19335
Parmetro de red
a ()
5.2319
5.2319
Parmetro de red
c ()
46.4528
46.2053
Volumen de celda

unitaria ( )

Referencia
---------------3.24982
5.20661
47.62163

Los resultados anteriores tienen como base estndar la referencia de las medidas de difraccin
de ZnO con estructura zincita, proporcionados por JCDPS hoja 36-1451 para ZnO (2001).
Para la primera muestra de ZnO con tiempo de crecimiento de 50 min y 70 min se obtuvo
una ligera variacin en el parmetro de red a dando como resultado un valor menor a la
muestra estndar as como un aumento en el parmetro de red c con respecto al valor estndar
de ZnO con estructura Zincita.
La disminucin el volumen de la celda unitaria de las muestras de 50 y 70 min en
comparacin con la base estndar de ZnO se debe probablemente a una compresin en la red
cristalina, con la consecuente disminucin del parmetro de red a.

Perfilometra SEM
Los resultados obtenidos en el Microscopio Electrnico de Barrido (SEM) fueron los
siguientes:
Se obtuvieron los espesores de las pelculas de ZnO crecidas sobre substratos de vidrio, con
los parmetros descritos anteriormente, para la muestra con tiempo de crecimiento de 50
min se obtuvo un espesor de 305.625 nm, para 60 minutos un espesor de 326.250 nm y para
70 minutos un espesor de 388.125 nm; dichos espesores son representados en la figura 2.

a)

b)

c)

Figura 2. Perfiles de ZnO sobre vidrio. Tiempos de crecimiento: a) 50 min, b) 60 min y c) 70 min.

Con los espesores obtenidos por SEM, se pueden representar los espesores de las pelculas
dependiendo de su tiempo de crecimiento, como se presenta en la tabla 2:

Tabla 2. Espesor de las pelculas de ZnO sobre vidrio de acuerdo al tiempo de crecimiento.

Tiempo de crecimiento (min) Espesor de la pelcula (nm)


305.625
50
326.250
60
388.125
70
Se puede representar una relacin de proporcin entre el tiempo de crecimiento y el espesor
de la pelcula de ZnO que se desea obtener:
Zn O sob re Vi d ri o
450
400

y = 4.125x + 92.5

Espesor (nm)

350
300
250
200
150
100
50
0
0

10

20

30

40

50

60

70

80

Tiempo de crecimiento (min)

Grfica 1. Tendencia en el crecimiento del espesor de las pelculas de ZnO de acuerdo con el tiempo de depsito.

Pruebas pticas
Las propiedades pticas de las pelculas de ZnO crecidas sobre vidrio son: la transmitancia
ptica cuyas medidas fueron realizadas con el espectrofotmetro Agilent. Los resultados
obtenidos son presentados en la figura 3:

a)

b)

c)

Figura 3. Espectro de transmitancia para las pelculas de ZnO para: a) 50, b) 60 y c) 70 min respectivamente.

Medicin del Band Gap


Para las pelculas de ZnO se aplicaron un anlisis matemtico por medio de software
basndose en las pruebas de transmitancia mencionadas anteriormente y se obtuvieron los
resultados que se reportan en la figura 4:

b)

b)
Figura 4. Band Gap las pelculas de ZnO para: a) 50, b) 60 y c) 70 min respectivamente.

c)

Los resultados obtenidos para el Band Gap estn en concordancia con los valores reportados
en la literatura y son muy prximos entre s, por lo que garantiza un buen depsito de la
pelcula por la tcnica de Sputtering RF magnetrn.

ZnO depositado sobre ITO/PET comercial


Para los depsitos de ZnO sobre este substrato se utilizaron los mismos parmetros de
crecimiento que las pelculas depositadas en el vidrio por medio de la misma tcnica de
sputtering RF magnetrn.

Pruebas pticas
Obtencin del espectro de transmitancia para las pelculas de ZnO sobre ITO/PET cuyos
tiempos de crecimiento fueron de 50 y 60 minutos respectivamente son presentados en la
figura 5:

a)

b)

Figura 5. Espectros de transmitancia para: a) 50 y b) 60 min respectivamente.

Band Gap
De acuerdo a los espectros de transmitancia obtenidos en el laboratorio para las pelculas de
ZnO sobre ITO/PET los valores concuerdan con la literatura revisada, se presentan en la
figura 6:

a)

b)

Figura 6. Band Gap para las pelculas de a) 50 y b) 60 min respectivamente.

Semana del 8-12 de agosto


Se realizaron crecimiento de ZnO sobre el substrato comercial de In2O3/Au/Ag/PET Delta
Technologies con tiempos de crecimiento de 40, 50, 60 y 70 minutos por medio de la tcnica
sputterin RF magnetrn, con los mismos parmetros de crecimiento que las pelculas crecidas
con vidrio Corning y con ITO/PET comercial mencionadas y reportadas anteriormente.
Los resultados obtenidos se limitaron a las pruebas pticas de transmitancia y medicin del
Band Gap debido a que los susbtratos flexibles requieren de cierto mtodo de corte de la
pelcula final que permita la medicin por perfilometra SEM.
Pruebas pticas
Los espectros de transmitancia obtenidos son congruentes con los obtenidos para los otros
susbtratos comparando los mismos tiempos de crecimiento, se reportan en la figura 7:

a)

b)

c)

d)

Figura 7. Espectros de transmitancia para las pelculas de a) 40, b) 50, c) 60 y d) 70 min respectivamente.

Band Gap
Los valores de Band Gap para las pelculas de ZNO sobre In2O3/Au/Ag se calcularon por
medio del espectro de transmitancia para cada uno de los tiempos de crecimientos, se reportan
en la figura 8:

a)

b)

c)

d)
Figura 8. Band Gap para las pelculas de a) 40, b) 50, c) 60 y d) 70 min respectivamente.

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