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MEMS Y NEMS Sensores de fluidos,

flujos de presin y viscosidad


Alvaro Javier Balsero
James Ochoa

Nanotecnologa II

Introduccin
Tecnologas de pelcula delgada permiten la integracin
de circuitos electrnicos y matrices de sensores
multifuncionales fabricados en sustrato de silicio.
Funcionan como sensores mltiples por ejemplo el
sentido del tacto agrupa sensaciones de temperatura,
presin, viscosidad de lquidos, adems de disponer de
un mecanismo de retroalimentacin y de memoria.
Poseen una alta relacin seal ruido en un gran rango
dinmico, tambin presentan buena sensibilidad.
La tcnica como silicon-to-silicon y silicon-to-glass es la
que se suele emplear permitiendo la realizacin de
sensores.

Sensor
Un sensor es un "dispositivo que detecta una
determinada accin externa, temperatura,
presin, etc. Y la transmite adecuadamente".
Existen diversos tipos de sensores, los que nos
interesan son los que permiten medir
cualquier magnitud fsica del mundo real y
transformarla en una magnitud elctrica
(corriente, carga, tensin o impedancia).

Sensores de flujo
Los sensores de flujo tambin son de
caractersticas y fundamentos muy diversos, ya
que varan bastante en funcin del tipo de flujo
que se quiere medir. Un caso muy partculas son
los sensores de flujo basados en presin
diferencial, que miden presin en un orificio.
Existen sensores de flujo basados en sistemas
resonantes. As mismo algunos sensores miden
flujo turbulento, este tipo de sensores estn en
general formados por palancas.

Sensores de flujo basados en


presin diferencial
Un transmisor de presin diferencial es un dispositivo
bsico para medir flujo, nivel y deteccin de fugas.
Es decir, es un dispositivo fundamental en el rea de la
automatizacin.
El sensor de presin diferencial tiene la misma
configuracin que los sensores de presin relativa y
absoluta, donde las presiones de referencia son la
presin atmosfrica y la presin cero absoluto. Para el
caso del sensor de presin diferencial, la presin de
referencia se sustituye por un nuevo valor de presin.

Sensores de flujo basados en


presin diferencial

La figura 1 muestra la configuracin interna de un


sensor de presin diferencial piezo-resistivo. En
esta figura se observan los dos puertos de
entrada de presin P1 y P2, y el elemento sensor
piezo-resistivo fabricado sobre una membrana de
silicio protegido por un gel de silicona.

Tipos de sensores diferenciales


Sensor de presin diferencial unidireccional
El sensor de presin unidireccional mide presiones
diferenciales en un nico sentido. Esto quiere decir que un
puerto de entrada determinado siempre debe estar expuesto
a la mayor presin y por tanto, solo se puede utilizar, cuando
se conoce a priori cual es la presin ms alta a medir. La
presin diferencial para este tipo de sensor est dada por la
ecuacin. La deflexin de la membrana de un sensor de
presin diferencial unidireccional.

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Tipos de sensores diferenciales

Sensor de presin diferencial unidireccional.


Sensor de presin diferencial bidireccional.

Tipos de sensores diferenciales


Sensores de flujo basados en sistemas resonantes

Las estructuras resonantes basadas en mono-cristales


de silicio se prestan bien a la realizacin de circuitos
integrados. En sensores se emplean tanto osciladores
armnicos como de relajacin.
En los armnicos hay una energa almacenada que
cambia de una u otra forma de almacenamiento, por
ejemplo de energa cintica en el movimiento de una
masa a energa potencial en la tensin de un muelle.
En los de relajacin hay una nica forma de
almacenamiento, y la energa almacenada se disipa
peridicamente mediante algn mecanismo de puesta
a cero.

Tipos de sensores diferenciales

Dispositivos resonantes, elaboradas con Tcnica


de mecanizado basada en oblea de silicio SIO y
obleas pegadas.

APLICACIONES

Sensor micro electromecnico para


monitoreo de presin arterial

Sensor micro electromecnico para


monitoreo de presin arterial

El Sensor no es mayor que el tamao de una moneda de


diez centavos, con dos bucles delgados en cada extremo.
Este sensor no tiene ningn batera o cable.
El sensor se coloca en la arteria pulmonar (el vaso
sanguneo que lleva la sangre desde el corazn a los
pulmones).
El sensor est sellado hermticamente, cpsula que
contiene una bobina de inductor y la presin del
condensador sensible.
La bobina de inductor y condensador sensible a la presin
crean un circuito resonante a una frecuencia especfica. La
presin de la sangre afecta a la frecuencia de resonancia,
de modo que cuando hay cambios de la presin arterial hay
cambios de frecuencia de resonancia. El sistema de
medicin externo rastrea de forma inalmbrica la
frecuencia de resonancia y la utiliza para determinar la
presin en la arteria pulmonar.

Conclusiones
Existen diferentes tamaos de empresas con importantes
programas para sensores MEMS. Las empresas ms
grandes se especializan en la fabricacin de componentes
de bajo costo alto volumen o paquetes de soluciones para
los mercados finales como el automotriz, biomedicina, y
electrnica.
Uno de los mayores problemas de los sensores MEMS es la
ausencia de micro fuentes de energa con alta densidad de
corriente, potencia y capacidad elctrica.