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PTICA PURA Y APLICADA Vol.

34 - 2001

Tcnicas espectroscpicas para la diagnosis de plasmas


de microondas a alta presin
Spectroscopic techniques for high-pressure microwave plasma diagnostics
A. Sola.
Departamento de Fsica. Facultad de Ciencias. Universidad de Crdoba (UCO) Campus Universitario
de Rabanales, edificio C-2. 14071 CRDOBA (ESPAA). E-mail: fa1sodia@uco.es

RESUMEN:
Los plasmas producidos por microondas a alta presin se caracterizan por tener unas
densidades de especies relativamente altas al tiempo que poseen unas temperaturas caractersticas
significativamente ms bajas. Adems, poseen un grado de ionizacin que los incluye en la
categora de los plasmas cuya cintica de excitacin est principalmente dominada por colisiones
electrnicas (EEK plasmas). Con frecuencia, stos se encuentran en Equilibrio Termodinmico
Local parcial (ETLp), en el que slo las poblaciones de los niveles energticamente ms bajos se
escapan de la distribucin de Saha-Boltzmann. Esto determina que distintas tcnicas
espectroscpicas que se basan en la posible existencia de tal equilibrio puedan ser usadas para la
diagnosis de estos plasmas. Frente a stas, otras que no hacen ningn tipo de hiptesis acerca del
tipo de equilibrio existente en el plasma se manifiestan ms poderosas aunque no siempre
susceptibles de ser usadas en dicha diagnosis. Algunos ejemplos de estas tcnicas son ilustrados
con resultados experimentales recientemente obtenidos.
Palabras clave: descargas de microondas, plasma producidos por microondas, tcnicas
de diagnosis espectroscpica, espectroscopa de plasmas, plasmas de alta presin.
ABSTRACT:
Species densities relatively higher characterize high-pressure laboratory (cool) plasmas. They
also have characteristic temperatures that are significantly lower. Furthermore, microwaveinduced plasmas (MIPs) at atmospheric pressure have such a degree of ionization that makes
them be include in the electron-excitation kinetic category or plasmas which kinetics of atomic
excitation is mainly ruled by electron collisions (EEK plasmas). Frequently, these plasmas are in
partial Local Thermodynamic Equilibrium (pLTE), in which only the lower exited level
populations escape from the Saha-Boltzmann distribution. Thus, different spectroscopic
techniques of plasma diagnosis based on the possible existence of such equilibrium can be used.
Against these former ones, other techniques not assuming any particular situation in the plasma
appears to be stronger (more powerful) diagnostic techniques although not always likely to be
used. Some examples of these techniques are illustrated by experimental results recently obtained.
Key words: microwave discharges, microwave-induced-plasmas (MIPs), spectroscopic
diagnostic techniques, plasma spectroscopy, high-pressure plasmas.

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Recibido: 19-1-2001

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Opt. Pur. y Apl., Vol. 34, 2001

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Autor: Sola

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[62]

P. van Eck. Spectrochemical plasmas, a diagnostic study. Proyecto de graduacin, Universidad Tcnica
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1.- Introduccin.

Distintas tcnicas experimentales han sido


usadas histricamente para obtener informacin
tanto del estado en que se encuentra el plasma en su
conjunto como de las partculas que los constituyen.
Entre estas tcnicas experimentales, las espectroscpicas han ocupado un papel destacado dado
que el anlisis de la radiacin emitida por el plasma
permite inferir con gran fiabilidad las caractersticas
buscadas al tiempo que no perturba el sistema
apreciablemente [4]. En este trabajo se pretende dar
una visin resumida pero clara del uso de estas
tcnicas espectroscpicas en la caracterizacin
experimental, o diagnosis espectroscpica, de plasmas producidos por microondas a alta presin,
trabajo que se organiza como sigue. El prrafo 2 est
dedicado a dar una breve visin de este sistema tanto
desde una perspectiva microscpica - al analizar
algunos de los procesos microscpicos o
mecanismos que tienen lugar en su seno - como
macroscpica, en la que se discute el Equilibrio
Termodinmico Local y sus sucesivas separaciones.
En el prrafo 3 se presentan los aspectos ms
relevantes de los plasmas producidos por
microondas como la condicin de mantenimiento de
las descargas producidas por microondas, su
clasificacin y dispositivos de produccin, y sus
aplicaciones cientficas y tcnicas, para en el prrafo
4 abordar el estudio comparativo de algunas de las
tcnicas de diagnosis ms usadas. En el prrafo 5 se
presentan a modo de ejemplo algunos resultados
experimentales obtenidos en nuestra investigacin
con algunas de estas tcnicas y, finalmente, se
destacan algunas conclusiones relevantes.

El estudio de los plasmas en descargas en


gases producidas por microondas, un tipo particular
de plasmas de laboratorio, ha crecido en inters en
las ltimas dcadas debido fundamentalmente a las
nuevas posibilidades que stos han abierto desde el
punto de vista de las aplicaciones industriales y en
otros campos de la Ciencia y la Tecnologa. Estos
plasma compiten en dichas aplicaciones con los
producidos en otros tipos de descargas elctricas en
gases ms convencionales, como son las bien
conocidas descargas en corriente continua o
descargas en DC, o las descargas creadas por
campos elctricos que varan lentamente en el
tiempo o descargas de RF. En las descargas
producidas por microondas, el margen de
frecuencias usadas va desde 100 MHz hasta unas
decenas de GHz, por lo que a veces se usa tambin
la
denominacin
de
plasmas
de
HF
(hiperfrecuencias) para nombrarlos [1], [2], [3].
Una caracterstica esencial de los plasmas de
microondas a la presin atmosfrica es su
relativamente alta densidad de especies, tanto de
especies neutras como elctricamente cargadas.
Entre las primeras, debemos considerar los tomos y
molculas distribuidas en los diferentes estados
excitados atmicos y moleculares, cada una de ellas
caracterizada por su densidad numrica de partculas
o poblacin (nmero medio de partculas por unidad
de volumen). Entre las segundas, los electrones
libres y los iones atmicos y moleculares
caracterizados por sus respectivas densidades y
poblaciones. Estos ltimos, a su vez, pueden
encontrarse distribuidos en sus distintos estados
excitados aunque en plasmas fros habitualmente se
encuentran de forma mayoritaria en el estado inico
fundamental. De entre ellas, son los electrones o
partculas ligeras los llamados a jugar el papel
determinante en el plasma por cuanto que son los
responsables del mantenimiento de la descarga de
microondas absorbiendo energa del campo elctrico
que mantiene la descarga, as como del reparto de
esta energa por todo el resto del sistema, esto es a
las partculas pesadas y finalmente al exterior.

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2.- Procesos microscpicos y equilibrios


en el plasma.
Cuando el grado de ionizacin de la
descarga supera el valor umbral de 10-4-10-3, las
colisiones electrnicas dominan los principales
canales de intercambio energtico en el plasma.
En general, diferentes mecanismos y procesos
microscpicos de todo tipo pueden tener lugar en el
seno de un plasma, involucrando sus partculas
constituyentes. Ejemplos de estos procesos son la
excitacin - desexcitacin colisional por electrones
para tomos (Mp+e- Mq+e-) y para iones (M+p+e-

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Autor: Sola

M+q+e-) en ambos casos con p<q, la ionizacin recombinacin colisional por electrones (Mp+e-
M++e-+e-), la fotoionizacin - recombinacin
radiativa (Mp+hcont M++e-), la fotoexcitacin desexcitacin radiativa para tomos (Mp+hlnea
Mq) e iones (M+p+ hlnea M+q), la ionizacin y
excitacin Penning con el concurso de tomos
metaestables, el intercambio de carga, el intercambio
de excitacin, ... entre los ms importantes. De estos,
algunos hacen intervenir slo colisiones con
electrones: son los procesos colisionales; otros,
hacen intervenir fotones: son los procesos
radiativos. Cuando el nmero de colisiones
electrnicas con las restantes partculas del sistema
sobrepasa cierto valor, los procesos colisionales
toman la delantera respecto a otros que no lo son.
As, por ejemplo, la recombinacin colisional de tres
cuerpos predomina sobre la recombinacin radiativa;
la excitacin - desexcitacin colisional predomina
sobre la fotoexcitacin desexcitacin radiativa, etc.
En estas circunstancias, la cintica de excitacin de
estados atmicos est dominada por colisiones
electrn-neutro (e-n), hecho que se reconoce como
plasma de cintica de excitacin por colisiones
electrnicas (Electron Excitation Kinetic (EEK)
plasmas) [5]. Los plasmas producidos por
microondas a presin atmosfrica estn en esta
categora.

directo e inverso, son ilustrativos de esto.


Macroscpicamente, el plasma puede ser descrito en
el equilibrio por una sola temperatura, Tplasma, y unas
cuantas funciones de distribucin de equilibrio de la
Mecnica Estadstica: la distribucin de Maxwell
para las velocidades de las partculas, cualesquiera
que stas sean, la de Boltzmann para las poblaciones
de los estados electrnicos excitados de tomos y
molculas, la de Saha para el equilibrio de
ionizacin-recombinacin, la de Planck para la
emisin-absorcin de fotones, la de cualquier
equilibrio qumico de disociacin-asociacin de
agregados atmicos o especies moleculares (AB
A+B o de Guldberg-Waage), etc. En plasmas
atmicos, las de Maxwell, Boltzmann, Saha y
Planck con una nica temperatura implican el
equilibrio termodinmico completo, en el que nada
se pierde de energa que es reabsorbida en su seno
[5], [6].
En la prctica, los plasma de laboratorio
rara vez satisfacen la condicin de equilibrio
termodinmico completo, existiendo al menos
prdidas o escapes de energa del plasma en forma
de radiacin no autoabsorbida [5], [7]. De hecho, la
espectroscopa de plasma utiliza esta prdida para la
diagnosis del mismo ya que el anlisis de las
caractersticas de este escape de radiacin permite
inferir el estado del plasma. En la medida en que
estas prdidas de radiacin son pequeas en
comparacin con la energa interna del plasma,
aunque no se cumpla ya la ley de distribucin de
Planck, podemos seguir hablando de un equilibrio
termodinmico que ahora es local. El denominado
Equilibrio Termodinmico Local (ETL) implica la
existencia de al menos las distribuciones de
Maxwell, Boltzmann y Saha con una nica
temperatura definida localmente en el plasma.
Microscpicamente, la restitucin de las poblaciones
se realiza no por el proceso inverso de uno dado sino
que puede involucrar otro proceso distinto. Como
ejemplo citemos la restitucin de las poblaciones
mediante procesos colisionales electrnicos y no con
la reabsorcin de los fotones emitidos.

En plasmas EEK, a menudo sucede que las


colisiones electrnicas con los neutros no son
capaces de imponer de forma eficaz un equilibrio
traslacional, es decir imponer una temperatura
cintica del gas a dichas partculas pesadas por
colisiones elsticas, pero s son capaces imponer de
una forma eficaz un equilibrio de excitacin
(imponer una temperatura de excitacin) a los
estados excitados electrnicos internos por
colisiones inelsticas, al menos a una parte
considerable de dichos estados, los niveles de
energa superiores. De esta forma, la funcin de
distribucin de estados atmicos (FDEA) es fiel
reflejo de la funcin de distribucin de energa de
los electrones libres en el plasma (FDEE),
circunstancia de enorme inters que intentaremos
explotar para la diagnosis espectroscpica de
plasmas [4], [5].

A veces, sin embargo, ni siquiera este tipo


de equilibrio local se consigue en los plasmas de
laboratorio [5], [7]. Una primera separacin de ETL
viene identificada por la existencia de al menos dos
temperaturas en el plasma (2T-plasmas), una para
electrones, Te, y otra inferior para partculas pesadas
(neutros, iones y especies moleculares) que
identificamos con la temperatura del gas
plasmgeno, Tgas. La explicacin de la existencia de
este plasma de dos temperatura es intuitiva y fcil de
entender si recordamos que la energa llega del
campo de HF al plasma a travs del gas de
electrones colisionantes. stos, mediante las
colisiones precisamente, distribuyen parte de esta
energa a las partculas pesadas (colisiones

En efecto, las descargas producidas por


microondas a presin atmosfrica con frecuencia se
encuentran prximas al tipo de equilibrio de
referencia denominado Equilibrio Termodinmico
Local (ETL). Los plasmas se encuentran en
equilibrio termodinmico completo cuando todos los
procesos microscpicos que tienen lugar en ellos
cumplen el principio de reversibilidad microscpica
mediante el balance detallado: cada proceso
microscpico tiene definido su inverso que restituye
o equilibra las poblaciones [6]. Los ejemplos
anteriores, que sucesivamente emparejan proceso

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Autor: Sola

situacin se denomina Equilibrio Termodinmico


Local parcial (ETLp) y en ella la separacin de los
valores de equilibrio de las poblaciones sigue una
dependencia particular con la energa del nivel en
trminos de su nmero cuntico efectivo, la
denominada ley p-6 que es prueba elocuente de la
cercana de ETLp [5]. Al pasar las descargas del
rgimen de alta presin al de presiones intermedias,
ms y ms niveles excitados satisfacen
progresivamente esta ley, separndose el plasma ms
y ms del ETL de referencia, para finalmente
desaparecer por completo al pasar al rgimen de
bajas presiones (entorno al Torr). Para el estudio de
los plasmas en situacin an ms alejada del ETLp,
se hace necesario el uso de los modelos colisionalradiativos (MCR) [5], [7]. Han sido las colisiones
electrnicas con las restantes partculas del sistema,
de forma muy eficaz a alta presin, y
progresivamente menos eficaz conforme la presin
disminuye, las responsables del restablecimiento del
tipo de equilibrio existente en la descarga;
alternativamente, del tipo de separacin respecto al
ETL.

elsticas). Pero la gran diferencia de masa entre


electrones, me, y partculas pesadas, M, hace que
dicha transferencia sea relativamente pobre incluso a
las densidades de especies existentes a la presin
atmosfrica. Es la frecuencia de colisin electrnneutro para la transferencia de cantidad de
movimiento, c, y el cociente entre las masas de las
partculas que colisionan, me/M, las que determinan
la transferencia de energa entre electrones y
partculas pesadas y, finalmente, la temperatura de
equilibrio en el gas, a una potencia de microondas
dada. En tal circunstancia, la termalizacin entre
electrones y partculas pesadas resulta imposible.
Para ambos tipos de partculas, aceptaremos sin
embargo que se sigue cumpliendo la distribucin de
Maxwell a Tgas y Te respectivamente.
Una segunda separacin de ETL tiene su
origen en la existencia de gradientes espaciales
estacionarios en la descarga, provocando la
aparicin de transportes de especies en su seno que
distorsionan el equilibrio local [5], [7]. Es el caso de
la difusin ambipolar, por ejemplo, debido a la
existencia de inhomogeneidades en las densidades
electrnicas e inicas, iguales entre ellas al objeto de
mantener la neutralidad elctrica que caracteriza a
los plasmas, ne n+. Cuando afectan a las especies
cargadas elctricamente del plasma, el equilibrio de
ionizacin-recombinacin que describe la ley de
Saha queda desplazado en algn sentido en aquellos
puntos de la descarga a los que llegan partculas
cargadas arrastradas por los flujos que describen ese
transporte, ocurriendo lo contrario en aquellos
puntos de los que emigran dichas partculas. En el
primer caso, el desplazamiento produce una
subpoblacin de especies excitadas respecto a la
correspondiente al equilibrio Saha-Boltzmann,
mientras que en el segundo se produce la
correspondiente sobrepoblacin. Estas nuevas
separaciones del ETL, distintas de la descrita en
primer lugar, se conocen respectivamente por
plasma de recombinacin (recombinig plasma) y
plasma de ionizacin (ionizing plasma), y
aparecen simultneamente en puntos distintos del
plasma inhomogneo.

3.- Principales aspectos de los plasmas


producidos por microondas.
Pero las colisiones electrnicas juegan
tambin un papel decisivo en la propia existencia del
plasma producido por microondas, aspecto ste del
problema que veremos a continuacin con cierto
detalle.
3.a.- Principios fsicos de generacin de plasmas
por microondas.
El modelo ms simple de descarga
producida por microondas proviene de la
descripcin ms simple de interaccin de un campo
electromagntico de HF con partculas cargadas (e-)
(los iones se consideran inmviles por su gran masa)
[1], [8]. A partir de las ecuaciones de Maxwell en
presencia
de
cargas
libres,
considerando
dependencia temporal armnica a la frecuencia , la
conductividad y la permitividad elctricas del
plasma vienen relacionadas por

El efecto de subpoblacin o superpoblacin


de especies atmicas excitadas es, no obstante,
fuertemente dependiente del nivel excitado
considerado, siendo ms ostensible cuanto menor es
la energa de excitacin del nivel. Los plasmas de
microondas a presin atmosfrica se encuentran con
frecuencia en una situacin en la que los estados
excitados ms prximos al nivel de ionizacin (o
nivel de continuo) retienen el equilibrio de los
balances Saha de ionizacin-recombinacin en
trminos de sus poblaciones mientras que este
equilibrio queda distorsionado para los estados
excitados ms cercanos al nivel fundamental, para
los que existe subpoblacin o sobrepoblacin. Dicha

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= r + j i = {-i +j(r -1)} 0,


para las partes reales e imaginarias de las mismas
(descripcin de cargas en el espacio libre), estando
los electrones del plasma incluidos en las ecuaciones
(modelo dielctrico de plasma). Si introducimos
fasores para el campo electromagntico E y H, tales
que E(t) = Re (E ejt) y H(t) = Re (H ejt) son sus
componentes elctricas y magnticas reales, las
ecuaciones de Maxwell se escriben como
x E = -j0 H

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x H = jp0 E

Autor: Sola

(p0 E) = 0

(0 H) = 0

circunstancia, en promedio temporal NO se


transfiere energa del campo de HF al gas de
electrones y la descarga no puede automantenerse.
ii) En presencia de colisiones e-n, 0, la
conductividad tiene parte real tambin, y la
permitividad p parte imaginaria, siendo ambos
complejos en general. Como consecuencia de las
colisiones con los neutros, se rompe la oscilacin
ordenada de los electrones con el campo de HF (el
desfase /2). Esta circunstancia constituye el
mecanismo por el que fluye energa del campo de
HF al gas de electrones, y de ste al resto del plasma
por distintos medios que comentaremos a
continuacin.

Bajo la accin de la componente elctrica


del campo electromagntico y teniendo en cuenta
sus colisiones con el resto de las partculas del
plasma, la ecuacin de movimiento de un electrn
promedio en un punto de la descarga de HF puede
escribirse en este modelo simple como (la
componente magntica no cuenta)
me dv/dt = - e E(t) - me v,
donde el primer trmino del segundo miembro es la
fuerza debida al campo electromagntico que hace
oscilar forzadamente el electrn a la frecuencia ,
mientras que el segundo trmino es una fuerza de
rozamiento debida a la friccin colisional con el
resto de las partculas tipo fuerza de Langevin,
siendo la frecuencia de colisin electrn-neutro (en) para la transferencia de cantidad de movimiento.
Las caractersticas del movimiento oscilante forzado
de los electrones bajo la accin de la componente
elctrica del campo de HF en presencia de colisiones
pueden obtenerse resolviendo la ecuacin anterior en
forma fasorial, jme v = -e E - me v, de donde los
fasores velocidad y desplazamiento del electrn, y
sus correspondientes magnitudes vectoriales reales,
son:
v = - e E /me (+j)-1

v(t) = Re (v)

r = e E /me (-j)-1

r(t) = Re (r)

En efecto, la energa ganada al campo de


HF por unidad de tiempo, o potencia absorbida por
electrn, es:
A = -e E(t) v(t) = -e Re(v.E*)/2 =
(e2/me) E2rms (2+2)-1/2 = 2 u,
donde u es la energa cintica media temporal sobre
un periodo por electrn igual a me v(t) v(t) = me
v. v*. En el estado estacionario de la descarga de
HF, esta energa es transferida por los electrones
mediante distintos canales al resto del sistema, en
particular al resto de las partculas del sistema por
colisiones elsticas con las partculas pesadas
(tomos, iones y molculas) a los que calienta por
encima de su temperatura en ausencia de descarga, a
veces slo ligeramente cuando hay pocas colisiones,
y por colisiones inelsticas con las partculas
pesadas para producir excitaciones atmicas y
moleculares, ionizaciones, etc. Finalmente, esta
energa llega al exterior del sistema mediante
radiacin no autoabsorbida (desexcitacin y
radiacin de frenado) o conduccin trmica hacia las
paredes. En consecuencia, la prdida de energa
sufrida por los electrones en estas colisiones puede
escribirse como

Para sus valores medios temporales durante


la oscilacin, definidos por A2rms = A2(t) =
(AA*)/2), es para el desplazamiento rrms =
(eErms/me){2+2}-1/2. Para la densidad de corriente
(fasor) es J = - enev por definicin, y su relacin con
el campo elctrico es la bien conocida ley de Ohm, J
= E. A partir de estas equivalencias, usando v, se
obtiene
= (nee2/me) (+j)-1
(resistividad)

p = 1-(pe/)2 (1-j/)-1
(permitividad)

L = (2me/M) c(u) u + k k(u)eVk +i (u)eVi

con pe = (nee2/me0)1/2 conocida como frecuencia de


plasma para electrones. Esta frecuencia es la de
oscilacin propia que los electrones realizan entorno
a los iones positivos inmviles como consecuencia
de la separacin espacial de carga. Dicha oscilacin
produce desviaciones respecto a la neutralidad
elctrica a escala microscpica sobre distancias del
orden de la longitud de Debye, definida como D =
(0kBTe/nee2)1/2.

donde c, k, i son las frecuencias de colisin e-n


para la transferencia de cantidad de movimiento, de
excitacin al nivel k y de ionizacin
respectivamente, todas dependientes de la energa
cintica u de los electrones (el promedio ... se
efecta ahora sobre la FDEE). La condicin de
estado estacionario de la descarga de HF implica
que A = L. A alta presin, los electrones del
plasma tambin pueden perder energa por otros
procesos no colisionales como son la difusin
ambipolar, que tambin implica prdida de
partculas cargadas, y difusin trmica hacia las
paredes, lo que da lugar a nuevos trminos de
prdidas de energa en la anterior expresin de L.

Distintas situaciones pueden ser consideradas:


i) En ausencia de colisiones e-n, = 0, = ji es
imaginario puro y p = r es real puro. El plasma se
comporta como un medio sin prdidas, siendo el
nico movimiento electrnico posible una oscilacin
ordenada desfasada /2 con el campo externo. En tal

Opt. Pur. y Apl., Vol. 34, 2001

- 49 -

Autor: Sola

se utilizan tcnicas de circuito equivalente mediante


las correspondientes impedancias [8], [12].

3.b.- Clasificacin de las descargas de microondas.


Distintas clasificaciones han aparecido en la
bibliografa en los ltimos aos, aunque dos de ellas
aparecen como las ms claras:
A) La debida a Leprince et al. [9], [10], segn la
cual las descargas de HF se dividen en:

3.c.- Dispositivos de produccin de descargas de


microondas.
Algunos ejemplos de dispositivos de
produccin
de
descargas
de
microondas
pertenecientes a la segunda clasificacin son:

Resonantes, cuando son producidas en el interior de


cavidades resonantes sobre los modos de la cavidad
o cuando son producidas sobre las resonancias
propias de la descarga, es decir, sobre los llamados
modos plasmas. En el primer caso, el plasma no es
mas que una perturbacin para la estructura de
excitacin de la descarga mientras que en el segundo
caso el plasma es la propia estructura de excitacin.
Absorbentes, como las producidas en el interior de
guas de onda que propagan modos gua o al final de
lneas de transmisin como cargas acopladas. En el
primer caso, eliminan parte del flujo de energa
electromagntica que transporta el circuito de
microondas, funcionando de nuevo como una
perturbacin resistiva; en el segundo caso, eliminan
la totalidad de la energa transportada.
Propagativas, en las que la propagacin de una onda
electromagntica crea su propio medio de
propagacin al disipar la energa que transporta en
crear la descarga. Sin stas, la onda no puede
propagarse, existiendo habitualmente una frecuencia
de corte a dicha propagacin determinada por un
cierto valor crtico de la densidad electrnica. A esta
categora pertenecen las descargas producidas por
onda de superficie.

A) de zona activa localizada: cavidad de Beenakker


[13], cavidad de Broida y cavidad rectangular con
estrechamiento [14], y antorcha en gua coaxial-gua
rectangular [15].
B) de onda progresiva (producida por onda de
superficie): familia de acopladores del modo
azimutal o de simetra cilndrica (m = 0): surfatrn
[16], surfagua y gua-surfatrn [17], Ro-box (LC y
stubs) [18], acoplador de estructura peridica de
onda lenta a 2.45 GHz junto con un acoplador de RF
a 13.56 MHz constituyendo un reactor integradodual MW-RF [19]. En general, el rango dinmico de
estos dispositivos de produccin de descargas por
campos de alta frecuencia es 106-1010 Hz.
De una forma u otra, todos estos
dispositivos permiten ms o menos eficazmente la
imposicin del campo elctrico de HF a la descarga
y transferir su energa a los electrones de la misma,
consiguiendo
la
condicin
de
descarga
automantenida. Desde el punto de vista
electrodinmico, forman parte del circuito de
microondas equivalente estando caracterizados por
una impedancia neta hacia el generador. Son
sintonizables mediante los elementos necesarios de
manera que en la prctica funcionan como
acopladores de impedancia entre el generador y la
descarga: la mxima transferencia de energa del
generador al plasma formado se obtiene para el
ptimo acoplo, que minimiza la potencia reflejada
por el circuito hacia el generador de microondas [8],
[12].

B) La debida a Moisan et al. [1], [8], que


contempla simplemente las descargas:
de zona activa localizada, integradas por aquellas
que forman parte de circuitos de HF para las que
(longitud de onda en el vaco) es mucho mayor que l
(dimensin caracterstica del plasma). En la mayora
de los casos, las dimensiones del plasma se limitan a
las de las estructuras o acopladores de campo
elctrico en que se producen. Aproximadamente, se
corresponden con las resonantes y absorbentes de la
clasificacin anterior.

3.d.- Aplicaciones de las descargas de microondas.


Las descarga de microondas, como ya se ha
comentado, compiten es estas aplicaciones con otros
tipos de descargas en algunos casos de forma
ventajosa. Pueden destacarse de una forma no
exhaustiva las siguientes:

de onda progresiva, para las que l es mayor que .


Correspondientemente, la descarga se extiende
bastante fuera de los acopladores de campo. Se
corresponde en la prctica con las propagativas de la
clasificacin anterior.

- Deposicin sobre substratos slidos, metlicos o


no, de pelculas delgadas; es el dry etching en
microelectrnica para la fabricacin de transistores y
microchips (se realiza a baja presin en atmsfera
de gran pureza) [20].
- Cleaning o limpieza de superficies contaminadas
mediante tratamiento por plasma [21].

En ambas clasificaciones, para las


descargas propagativas y de onda progresiva, los
modelos hacen hiptesis acerca de la naturaleza del
medio de propagacin (plasma) que se crea, y de
cmo estn relacionados plasma y onda [11]. En
general, para la modelacin de las descargas de
microondas desde el punto de vista electrodinmico

Opt. Pur. y Apl., Vol. 34, 2001

- 50 -

Autor: Sola

que implica la fotoexcitacin a niveles superiores de


las partculas que absorben los fotones. La poblacin
de los niveles absorbentes es proporcional a la
intensidad absorbida. Desde otro punto de vista,
estos mtodos son pasivos, en los que la emisin es
espontnea, o activos, existiendo algn tipo de
actuacin estmulo externo sobre el mismo,
irradiacin por ejemplo (Tabla I).

- Tratamiento de superficies mediante distintas


sustancias al objeto de conferirle unas propiedades
determinadas: nitruracin, oxidacin, pasivacin,
etc. (a baja presin) [21].
- Excitacin de analitos para anlisis elemental en
Qumica Analtica (a alta presin, normalmente
presin atmosfrica, con gases plasmgenos como
argn o helio). Los MIPs para esta aplicacin han
mejorado algunos resultados obtenidos con el ICP
convencional [22], [23]. Actualmente, el integrado
ICP + MIP + MS (plasma acoplado inductivamente
+ plasma producido por microondas +
espectroscopa de masas) constituye la alternativa
comercial ms poderosa desde el punto de vista
analtico.
- Lmparas de alumbrado por microondas, lmparas
espectrales y fuentes de lser (presiones bajas e
intermedias) [24], [25].
- Destruccin de residuos txicos (gases
contaminantes) asistida por plasma en la que se
utilizan distintos tipos de gases plasmgenos [26] (se
investiga en el rango de presiones ptimo).
- Fuentes de haces de iones, con la ayuda de la
espectrometra de masas (MS) [27], [28].
- Sntesis qumica de distintas sustancias (NH4, por
ejemplo) en reactores de plasma [29], [30], algunos
de los cuales funcionan de forma combinada; etc.,
entre otras aplicaciones.

4.a.- Determinacin de la densidad electrnica


por ensanchamiento Stark.
La existencia de una nube de electrones
libres rodeando los tomos y molculas existentes en
el seno de un plasma hace que sus niveles internos
de energa queden desplazados debido al campo de
interaccin elctrica entre el nivel y las cargas libres
externas, electrones e iones (efecto Stark).
Promediado sobre el conjunto de los electrones e
iones que constituyen el plasma, este desplazamiento
de niveles internos se traduce en un ensanchamiento
en el valor de la energa permitida para dicho nivel.
Cuando desde ese nivel se emiten fotones por
desexcitacin, el espectro de emisin de la lnea
correspondiente a la transicin refleja esta situacin
mediante el ensanchamiento espectral de la misma,
lo que se conoce como ensanchamiento Stark.
Distintas aproximaciones, dependiendo de que sean
los electrones (de impacto) o los iones (cuasiesttica) los responsables del efecto, se han
propuesto para el estudio terico de este
ensanchamiento, que ha sido analizado con cierto
detalle por Griem [33], [34], entre otros.
Especial inters ha recibido el estudio de las
lneas de emisin de la serie Balmer del hidrgeno,
en particular H (486.1 nm), aunque tambin se han
realizado estudios tericos de este ensanchamiento
en lneas aisladas emitidas por especies atmicas.
Distintas expresiones numricas que permiten
determinar el ensanchamiento terico producido por
una densidad dada de perturbadores han sido
obtenidas bajo la forma genrica Stark(S) = C(ne,Te)
nea, donde la potencia vale a = 2/3 para el efecto
Stark lineal y a = 1 para el cuadrtico [7].

4.- Tcnicas espectroscpicas de diagnosis de plasmas.


La
espectroscopa
representa
una
herramienta de gran potencia y versatilidad en la
diagnosis de plasmas y el estudio de las tcnicas
espectroscpicas utilizadas en dicha diagnosis es el
objeto fundamental de este trabajo. Tanto en sus
vertientes de emisin o absorcin, como en sus
variantes de atmica o molecular, pasando por la
espectroscopa activa o pasiva, este campo de la
ptica cuntica ha sido usado desde los comienzos
de la fsica de plasmas como forma de obtener
informacin valiosa desde el punto de vista
experimental de algunas de las magnitudes ms
importantes en estos singulares sistemas.
Actualmente, el grado de sofisticacin alcanzado en
las mismas es considerable, existiendo todo un
campo especfico de aplicacin y una considerable
bibliografa [31], [32], [33].

El efecto lineal se aplica a las lneas de hidrgeno


mientras que el cuadrtico se aplica a las de argn.
Para las lneas de hidrgeno se han propuesto varias
expresiones que relacionan el ensanchamiento Stark
con la densidad electrnica: desde las primeras
expresiones de Griem, ne = C(ne, Te) (S)3/2 1013
[33], [35], hasta las ms sofisticadas de
Czernichowski y Chapelle, log ne = C0 + C1 log S
+ C2 log (S)2 + C3 log Te, donde los coeficientes
de ajuste son C0 = 22.578, C1 = 1.478, C2 = -0.144;
C3 = -0.1265, para H dentro de la teora VCS [36].
El ensanchamiento Stark, cuya medida es S, debe
ser
previamente
deconvolucionado
del
ensanchamiento total de la lnea medido
experimentalmente, cuya medida es exp, con el en-

Algunos de estos mtodos espectroscpicos


son de emisin - tanto atmica como molecular - de
lneas espectrales correspondientes a desexcitaciones
de niveles superiores cuyas poblaciones se pretende
determinar. Estas poblaciones son proporcionales a
la intensidad absoluta de lnea emitida. Mtodos
espectroscpicos para intensidades relativas de lnea
tambin han sido desarrollados. Por contra, otros son
de absorcin de radiacin por parte del plasma, lo

Opt. Pur. y Apl., Vol. 34, 2001

- 51 -

Autor: Sola

TABLA I

Tcnicas espectroscpicas de diagnosis de plasmas.


MAGNITUD
1)

ne

MTODO

COMENTARIO

Ensanchamiento Stark de
Lneas de emisin (H, H, ...
ArI, HeI,......)

Scattering Thomson
2)

Te

3)

Tgas

4)

n(p)

Boltzmann-plot
Salto de Saha
Cociente lnea-continuo
Continuo puro
Scattering Thomson

No implica equilibrio alguno


Obtiene tambin ne
Bandas rotacionales de especies
Equilibrio entre niveles excitados
moleculares
electrnicos moleculares por
colisiones con neutros
Medidas absolutas de intensidad de No autoabsorcin de lneas en el
plasma (pticamente delgadas)
emisin para la obtencin
para espectroscopa de emisin.
de la FDEA
Lo contrario, para absorcin

Stark de la lnea considerada. Por su parte, exp es


el correspondiente a su perfil total, producto de
convolucin
de
todos
los
perfiles
de
ensanchamiento de dicha lnea: instrumental,
Doppler, Stark, natural, de presin... En la mayora
de las situaciones, los perfiles instrumental,
Doppler y Stark son los dominantes, los dos
primeros Gaussianos en muy buena aproximacin,
y el Stark de tipo Lorentziano. La convolucin de
ambos es un perfil tipo Voigt, fcilmente analizable
por la mayora de los programas comerciales de
tratamiento de datos espectrales (i.e. PeakFit,
SigmaPlot, etc.). No se necesita calibracin en
intensidad ya que es la anchura total a altura mitad
del perfil la que contiene la informacin de ne. Esta
informacin es independiente del valor absoluto de
la intensidad y una caracterstica de la lnea.

sanchamiento Doppler que tiene su origen en la


agitacin trmica de los emisores y el
ensanchamiento instrumental del monocromador.
Otras lneas de la serie Balmer como H (656.8 nm)
y H (434.0 nm) han sido tambin usadas con este
fin. En general, el ensanchamiento Stark depende
poco de la temperatura electrnica.
Para las lneas de argn, como la ArI 565.0
nm y la ArI 548.5 nm, hay otras expresiones
propuestas por Griem para el ensanchamiento Stark
de estas lneas de argn: S = 2 [1+ 1.74 (10.75r)]t, donde para cada lnea estn estimados los
valores del ensanchamiento Stark de la misma en
funcin de t, o semiensanchamiento Stark debido
slo a impactos electrnicos que es proporcional a
ne (efecto Stark cuadrtico), mientras que el trmino
que contiene representa una correccin que tiene
en cuenta el ensanchamiento debido a los iones,
proporcional a ne1/4. En la expresin anterior, r es el
cociente entre la distancia media entre iones y el
radio de Debye. Para helio, distintas lneas atmicas
pueden ser igualmente usadas con una expresin
para su ensanchamiento Stark similar a la usada con
las lneas de argn [33], [34].

4.b.- Scattering Thomson para la determinacin simultnea de la densidad y la temperatura electrnicas.


En este caso, una fuente luminosa externa
intensa como un lser se usa para hacer dispersar su
radiacin por los electrones libres de la descarga.
La tcnica espectroscpica se encuadra, por tanto,
entre las activas, y la densidad de dispersores, en
este caso los electrones, debe ser suficientemente

En todas las expresiones anteriores, S es


el ensanchamiento total a altura mitad del perfil

Opt. Pur. y Apl., Vol. 34, 2001

No implica equilibrio. Permite


resolucin espacio-temporal.
Coincidente con otros
mtodos (interferometra).
Es barato frente a los mtodos
interferomtricos
Mejores prestaciones an pero
ms caro. Obtiene tambin Te
Implican algn tipo de
equilibrio (ETLp al menos)
que no siempre existe

- 52 -

Autor: Sola

elevada, lo que se cumple a presin atmosfrica. El


mtodo es sofisticado y presenta numerosos
problemas tcnicos aunque su resolucin espacial y
temporal es ptima. Al objeto de eliminar la mayor
parte de la llamada radiacin straight light y usar
la mxima intensidad de radiacin incidente, la
descarga debe estar al aire libre. Se determina la
temperatura electrnica de forma simultnea a la
densidad electrnica [37].
El fundamento fsico de la tcnica, que en
absoluto contempla ningn tipo de equilibrio
existente en la descarga, descansa en la dispersin
elstica de fotones por electrones libres. Dicha
dispersin se realiza en el plano ptico
perpendicular a la direccin de polarizacin de los
fotones y tiene un lbulo de mxima intensidad de
radiacin dispersada a 90 de la direccin de los
fotones incidentes en ese plano. La observacin de
la dbil radiacin dispersada se realiza en una de
esas dos direcciones. Pero debido a la distribucin
de velocidades electrnica, que supondremos en
principio Maxwelliana, algunos electrones se
desplazan respecto de los fotones incidentes en el
mismo sentido que stos mientras que otros lo
hacen en sentido contrario. Como resultado, la
radiacin dispersada por el gas de electrones libres
sufre un corrimiento Doppler y, consecuentemente,
un ensanchamiento espectral Gaussiano respecto a
la radiacin lser incidente que aceptamos
monocromtica (scattering incoherente). As, el
perfil espectral de la radiacin dispersada estar
ms o menos ensanchado dependiendo de que la
temperatura Te de los centros dispersores en
movimiento, o sea los electrones, sea mayor o
menor. Al mismo tiempo, la intensidad de radiacin
ser mayor o menor dependiendo de la abundancia
en el medio de centros dispersores, esto es de la
densidad electrnica. El perfil de radiacin
dispersada contiene, por tanto, la doble informacin
de la densidad y la temperatura electrnicas en cada
punto de la descarga. La temperatura electrnica se
determina por la relacin Te = 1312 (T1/e)2, donde
T1/e es el ensanchamiento espectral del perfil
Thomson dispersado a altura 1/e. Por su parte, la
determinacin de la densidad electrnica a partir de
la intensidad integrada en longitud de onda de dicho
perfil necesita de una calibracin absoluta previa
que suele hacerse mediante dispersin Rayleigh o
dispersin producida por los electrones ligados a
los tomos en ausencia de plasma. Esta radiacin
dispersada tiene una intensidad integrada
proporcional a la densidad de tomos, que es una
cantidad conocida. Los perfiles Rayleigh y
Thomson se solapan, consiguindose separarlos (es
posible al ser el ensanchamiento Rayleigh mucho
menor que el Thomson) cegando los pixeles
centrales de la CCD de deteccin, por ejemplo [38].

Opt. Pur. y Apl., Vol. 34, 2001

4.c.- Mtodo del diagrama de Boltzmann para la


determinacin de la temperatura electrnica de excitacin (Boltzmann-plot).
Es un mtodo que usa la intensidad relativa
de emisin de lneas como consecuencia de la
desexcitacin de los niveles de partida de las
transiciones. Si sus poblaciones siguen la
distribucin de Boltzmann (suponemos al menos
ETL), el logaritmo neperiano de las poblaciones por
grado de degeneracin es una funcin lineal
decreciente con la energa de excitacin del nivel,
cuya pendiente es el inverso de la energa
caracterstica de equilibrio de excitacin entre
niveles, kBTexc [39]. Pero dado que dicho equilibrio
en poblaciones lo consiguen los tomos excitados
mediante procesos colisionales de excitacindesexcitacin con los electrones libre en el plasma
(plasma EEK) y que stos imponen muy
eficazmente su energa caracterstica de equilibrio
cintico o energa trmica, kBTe, a los electrones
ligados de los niveles excitados, se cumple que Texc
Te. La medida de Texc por el inverso de la
pendiente de la representacin de Boltzmann (o
Boltzmann-plot), se convierte en una estimacin
indirecta de Te que implica la existencia de al
menos ETL. Cuantas ms poblaciones de niveles
excitados se usen, menos error se comete en la
determinacin del valor de la pendiente en la
regresin lineal y ms adecuadamente se obtiene la
temperatura de excitacin, y por tanto la estimacin
de la temperatura electrnica. El mtodo necesita
una correccin del valor de las intensidades
medidas debido a la respuesta global del
monocromador, que depende de la red de
difraccin, los detectores usados, etc., funcin de la
longitud de onda de la lnea.
Una variante simplificada de este mtodo
consistente en usar solamente un par de lneas del
diagrama anterior de Boltzmann, lo que simplifica y
agiliza notablemente el mtodo pero a costa de
perder precisin. Slo permite una estimacin
grosera de la temperatura electrnica, siendo
imprescindible que la energa de excitacin de los
niveles de partida de las transiciones
correspondientes al par de lneas usadas sean
suficientemente diferentes [40]. Ms interesante
an resulta el mtodo del diagrama de Boltzmann
eligiendo slo aquellas transiciones que provengan
de niveles excitados suficientemente altos, es decir
con energa de excitacin elevada que retienen el
equilibrio Saha-Boltzmann en ETLp [41]. En
efecto, aquellos niveles excitados que por
encontrarse el plasma localmente en situacin
recombinante o ionizante estn subpoblados o
sobrepoblados respecto a los valores de equilibrio
no harn sino distorsionar la linealidad del
Boltzmann-plot, por lo que no deben ser incluidos
en la regresin. Es claro que la existencia de ETLp

- 53 -

Autor: Sola

en el plasma divide al diagrama energtico atmico


en dos zonas: una superior (top) donde las
poblaciones de los niveles retienen la distribucin
de equilibrio de Saha-Boltzmann - y donde se
realiza realmente la determinacin de Texc que sirve
de estimacin de Te - y otra inferior (bottom)
donde las poblaciones de dichos niveles escapan a
dicho control, siendo mayores o menores que las de
equilibrio segn sea el plasma de ionizacin o de
recombinacin respectivamente.

continuo, n, se determina por extrapolacin a la


energa de ionizacin de las poblaciones de los
niveles excitados ms altos que estn en ETLp,
siguiendo una distribucin Boltzmann. El salto en
poblaciones absolutas en el lmite de la energa de
ionizacin Ei entre n y n1+= ne, con n < ne,
determina el valor de Tion Te. El mtodo, por
tanto, necesita el conocimiento previo de la
densidad electrnica local y de los valores de las
poblaciones absolutas de los niveles atmicos
excitados prximos al nivel de continuo.

4.d.- Mtodo del salto de Saha para la


determinacin de la temperatura electrnica
de ionizacin.

4.e.- Mtodos que implican a la radiacin de


continuo para la diagnosis de la densidad y
temperatura electrnicas.

En un plasma en equilibrio, las


poblaciones de los niveles atmicos excitados no
slo estn en equilibrio de excitacin/desexcitacin
Boltzmann entre ellos con los electrones
colisionantes como intermediarios. Tambin estn
en equilibrio de ionizacin/recombinacin Saha las
poblaciones de los niveles excitados de la especie
ionizada en estado de ionizacin contiguo, esto es
en el primer estado ionizado si partimos de especies
excitadas neutras, siendo igualmente los electrones
colisionantes los intermediarios. En plasma fros,
slo el nivel fundamental de los iones atmicos del
gas plasmgeno (helio o argn) tiene una poblacin
apreciable, siendo en general la poblacin del
primer nivel inico excitado despreciable respecto a
la anterior. No es as cuando consideramos especies
metlicas en el interior del plasma (los analitos en
anlisis elemental), que por poseer un potencial de
ionizacin mucho ms bajo, pueden encontrase en
distintos estados de ionizacin, y consecuentemente
distintos niveles excitados en dichos estados de
ionizacin (Li+, Li++, ... para el litio, por ejemplo).
Cabe considerar ahora que dicho equilibrio
de ionizacin/recombinacin se mantiene a la
llamada temperatura de ionizacin, Tion, dominado
por las colisiones electrnicas (plasma EEK) de
manera que los electrones son capaces de imponer
de forma eficaz la temperatura cintica que
caracteriza su funcin de distribucin de energa al
equilibrio de ionizacin/recombinacin. Esto
permite igualar Tion Te y la medida (o estimacin)
de Tion lo es de Te. El mtodo del salto de Saha
consiste en usar la distribucin de equilibrio de
ionizacin/recombinacin para dos niveles
singulares, uno atmico correspondiente al lmite
del continuo, o hipottico nivel excitado con
energa de excitacin igual a la de ionizacin, y otro
inico correspondiente a su nivel fundamental [7].
La poblacin de este ltimo, n1+, coincide con la
densidad electrnica al suponerse que a las bajas
temperaturas electrnicas de nuestras descargas a
presin atmosfrica las poblaciones de los niveles
excitados de los iones son despreciables. Por su
parte, la poblacin del nivel excitado ficticio del

Opt. Pur. y Apl., Vol. 34, 2001

La radiacin de continuo emitida por el


plasma es tambin susceptible de ser usada para la
diagnosis del mismo. Esta radiacin espontnea,
radicalmente distinta de la radiacin de lnea, tiene
su origen en las llamadas transiciones libre-libre y
libre-ligada entre los electrones e iones del plasma.
Lo caracterstico de esta radiacin es que su
espectro es continuo en vez de discreto, de ah su
nombre. Ya sea usada por s sola, o combinada con
la radiacin de lnea emitida en una desexcitacin
(mtodo del cociente de intensidad lnea-continuo)
[42], [43], puede usarse en la diagnosis tanto de la
densidad como de la temperatura electrnicas.
Frente a los mtodos anteriores, son menos fiables
y oscuros en su interpretacin, por lo que se usan
rara vez como mtodos alternativos.
4.f.- Mtodo de las bandas rotacionales para la
medida de la temperatura del gas.
Se trata de la versin molecular del mtodo
del
diagrama
de
Boltzmann
explicado
anteriormente cuando se usa para el equilibrio de
excitacin vibro-rotacional de niveles electrnicos
moleculares por colisiones con los neutros, y
permite medir Tgas. stos son capaces de imponer
de forma muy efectiva mediante estas colisiones su
temperatura
cintica
al
equilibrio
de
excitacin/desexcitacin de los niveles vibrorotacionales internos de las especies moleculares
existentes en la descarga, a veces como impureza
(OH, N2+, ...), y por tanto determinar la llamada
temperatura rotacional, Trot. De esta forma,
asumiendo un equilibrio Boltzmann para las
poblaciones de estos niveles rotacionales excitados
- colisionalmente impuesto por las partculas
neutras - y midiendo Trot, tenemos una buena
estimacin de la temperatura del gas plasmgeno,
Tgas. La determinacin espectroscpica de la
intensidad de estas transiciones o bandas
rotacionales requiere una buena resolucin del
monocromador ya que los niveles rotacionales estn
muy prximos en energa [44], [45].

- 54 -

Autor: Sola

1 m de longitud. En general, cuanto mayor es la


presin en la descarga, ms cortas y delgadas son
dichas columnas por el efecto combinado de la
constriccin del plasma sobre su eje al aumentar la
presin, unido a su carcter progresivamente ms
resistivo a la propagacin de la onda
electromagntica que la crea y que hace que esta
propagacin se atene sobre una distancia menor.
Es caracterstico de estas descargas el hecho de que
la columna de plasma creada es el soporte de
propagacin de la onda de superficie que crea y
mantiene dicha descarga [51].
Previamente diagnosticados con tcnicas
puramente electromagnticas a presiones bajas e
intermedias [52], [53], [54], su estudio
experimental desde la espectroscopa de plasmas a
presiones intermedias y altas nos ha permitido
diagnosticar su densidad electrnica longitudinal,
as como sus temperaturas, Te y Tgas, mediante el
mtodo del ensanchamiento Stark, el mtodo del
diagrama de Boltzmann, el mtodo del par de lneas
y el de las bandas rotacionales de especias
moleculares como OH o N2+, en tubos capilares
(int = 1 mm) a presin atmosfrica [55], [56], y
comparativamente ms gruesos (int = 5 mm) a
presiones intermedias [57]. Tambin se han
determinado poblaciones absolutas de niveles
excitados a presin atmosfrica mediante la medida
de la intensidad absoluta de emisin, lo que nos ha
permitido encontrar buena parte de la funcin de
distribucin de estados atmicos (FDEA) [58], as
como las poblaciones de niveles metaestables y
resonantes mediante tcnicas de autoabsorcin [59].
En tubos capilares, se us el mtodo del cociente
lnea-continuo para la determinacin de las
temperaturas de excitacin Texc y electrnica Te
[43].

4.g.- Medida absoluta de la intensidad de lnea


emitida para la determinacin de la Funcin
de Distribucin de Estados Atmicos
(FDEE).
Por ltimo, cabe hacer una breve
referencia a la medida absoluta de la intensidad de
lnea emitida para la determinacin de las
poblaciones de los estados excitados del sistema
atmico. Como ya se ha comentado, esta medida
necesita de una calibracin previa de intensidad
luminosa con una fuente patrn (lmpara calibrada
de cinta de tungsteno) o el uso de radimetros de
respuesta en el visible. En el esquema atmico del
argn, la mayora de las poblaciones de los distintos
niveles excitados (bloque 4p, 5p, 4d, 6s, ...) puede
ser determinada por espectroscopa de emisin
atmica en el visible. Los niveles 4s de gran
importancia - metaestables y resonantes - se
escapan, sin embargo, al visible por lo que hay que
acudir a la espectroscopa de emisin en el
ultravioleta o bien a tcnicas espectroscpicas de
autoabsorcin. En cualquier caso, el objetivo es la
determinacin experimental de las poblaciones
reales de cuantos ms niveles excitados mejor,
poblaciones que representadas frente a la energa de
excitacin de dichos niveles constituye la funcin
de distribucin de estados atmicos (FDEA). Slo
su conocimiento completo es garanta de una buena
diagnosis espectroscpica del plasma en trminos
de las poblaciones de los estados excitados[46],
[47], [48], [49], [50].

5. Algunos resultados experimentales en


espectroscopa de plasmas de HF y
sus aplicaciones.
En lo que sigue se exponen a modo de
ejemplo algunos resultados experimentales en
plasmas de microondas obtenidos en nuestro grupo
mediante el uso de algunas de las tcnicas
espectroscpicas antes presentadas. Distintos tipos
de estos plasmas se estudiaron en los ltimos aos y
se estudian an en la actualidad, producidos con
distintos dispositivos de excitacin. Entre ellos, los
que brevemente a continuacin se describen.

5.b.- Antorchas de plasma producido por microondas (TIA).


Pertenecientes la categora de descargas
resistivas o de zona activa localizadas, su diagnosis
espectroscpica ha permitido obtener las
poblaciones de los estados excitados y las
temperaturas espectroscpicas, as como la
densidad electrnica mediante ensanchamiento
Stark, en plasmas de argn y helio a alta presin
(atmosfrica). El dispositivo de excitacin ms
usado ha sido la Torche Injection Axiale (TIA),
fabricado en gua de onda rectangular con una
estructura coaxial en su interior, que produce
intensas descargas desnudas de algunas decenas de
milmetros de longitud y tpicamente 1 mm de
dimetro a 2.45 GHz. Mediante medida absoluta de
intensidad de lnea en emisin, o tambin en
absorcin, se han podido determinar las
poblaciones de estados excitados para helio, as
como las temperaturas en la descarga usando los

5.a.- Plasmas producidos por onda de superficie


(POS).
Estos plasmas son ejemplo de descargas
propagativas o de onda progresiva, segn la
clasificacin
usada,
producidos
mediante
acopladores tipo surfatrn y gua-surfatrn en el
rgimen de presiones intermedias y alta
(atmosfrica) a 2.45 GHz. Estas descargas se
producen en el interior de tubos cilndricos de
cuarzo y Pyrex de distintos dimetros (desde 1 a 10
mm de dimetro interior dependiendo de la presin)
sobre argn crendose columnas de plasma de hasta

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bajas que no siempre garantizan la existencia de un


equilibrio termodinmico completo. En particular,
existe una notable diferencia entre la temperatura
electrnica y la del gas. Dichas descargas son
enormemente estables y reproducibles, y los
dispositivos existentes de produccin de las mismas
cubren un amplio margen de frecuencias de
operacin o excitacin que va desde 100 MHz hasta
ms de 10 GHz. Estos dispositivos funcionan
eficazmente sobre diversos gases atmicos y
moleculares (Ar, He, O2, N2,...) y mezclas de ellos,
acoplando la prctica totalidad de la potencia de HF
suministrada por los generadores. Igualmente son
muy ricas en especies excitadas, lo que en particular
hace posible el uso de tcnicas espectroscpicas
tanto activas como pasivas para su diagnosis.
Algunas de dichas tcnicas se basan en la existencia
de algn tipo de equilibrio existente en el plasma, lo
que en algn caso supone una limitacin. A alta
presin, la separacin respecto a las distribuciones
de equilibrio de Maxwell, Boltzmann y Saha es
pequea, por lo que pueden aplicarse con
precaucin. Otras de estas tcnicas no suponen
ningn tipo de equilibrio en el sistema y pueden
usarse con mayor extensin, si bien tienen unas
limitaciones inherentes que hace que no siempre
puedan usarse. La ventaja de los mtodos
espectroscpicos de diagnosis de plasmas a alta
presin descansa en su gran variedad, lo que
permite encontrar el ms adecuado a las
circunstancias en la mayora de los casos. Las
tcnicas espectroscpicas de diagnosis en plasmas
fros se complementan con otras tcnicas de
diagnosis pticas (interferometra, por ejemplo) y
las tcnicas de diagnosis electromagnticas.

mtodos anteriormente expuestos [48], [49], [50].


Igualmente antorchas de argn producidas con este
dispositivo (TIA) se han caracterizado mediante
tcnicas espectroscpicas similares [47].
5.c.- Influencia de las molculas en las descargas
de microondas.
Este aspecto del problema ha sido
estudiado en colaboracin con investigadores de la
Universidad Tcnica de Eindhoven y el resultado de
dicho estudio ha quedado recogido en varios
trabajos comunes [60], [61]. En particular, se
investig el potencial disociador de estos plasmas
respecto de las especies moleculares introducidas
en su interior, comparndose dicho potencial a
presiones altas y reducidas.
5.d.- Medidas en ICP mediante Scattering
Thomson.
Tambin en colaboracin con la Universidad
Tcnica de Eindhoven, se ha realizado en nuestra
Universidad la diagnosis simultnea de la densidad
y la temperatura electrnica en una plasma
acoplado inductivamente (ICP) a la frecuencia de
50 MHz mediante Scattering Thomson. Esta
diagnosis ha sido completada en Eindhoven a 100
MHz as como en TIA a 2.45 GHz [38], [62].
5.e.- Aplicaciones de los plasmas de microondas
a la destruccin de compuestos voltiles.
En la actualidad se trabaja en el uso de
plasmas producidos por microondas para la
destruccin de compuestos voltiles txicos, en
principio compuestos organoclorados (VOCs), en el
contexto de los proyectos de investigacin
REN2000-1089 y PPQ2001-2537 del Ministerio de
Ciencia y Tecnologa, con la puesta en
funcionamiento de un reactor de combustin de
gases txicos mediante plasmas producidos por
microondas.

Agradecimientos.
A los miembros del grupo de Plasmas de
Microondas de la Universidad de Crdoba,
profesores A. Gamero, M.C. Quintero, C. Lao y A.
Rodero con los que comparto la investigacin en
este campo. Igualmente, al Ministerio de Ciencia y
Tecnologa por la ayuda econmica a nuestra
investigacin en el marco de los proyectos de
investigacin PB96-0508 y REN2000-1089, al III
PAI de la Junta de Andaluca y a los Programas
Propios de Ayuda a la Investigacin de la
Universidad de Crdoba en sus distintas ltimas
convocatorias.

Conclusin.
La produccin de descargas a alta presin
mediante disipacin de energa electromagntica de
alta frecuencia (descargas de HF), entre las que se
encuentran las descargas producidas por
microondas, permite la obtencin de plasmas de
altas densidades electrnicas y de especies
excitadas a temperaturas electrnicas relativamente

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