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Revista Colombiana de Fsica, vol.

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de 20

Construccin y calibracin de un equipo para la deposicin de nanopelculas sol-gel por el mtodo de rotacin spin-coating
Construction and calibration of equipment for the sol-gel nanofilms deposition by the method of rotation or spin-coating
Recibido XXXX; Aceptado XXXX; Publicado en lnea XXXX

Resumen
La produccin de pelculas delgadas en la actualidad representa uno de los campos tecnolgicos con mayores aplicaciones. Las tcnicas de deposicin de estas pelculas son variadas, pero las obtenidas por sol-gel proporcionan ventajas respecto a otras por su versatilidad y posibilidad de obtener composiciones singulares. En este trabajo se prepararon pelculas por sol-gel de FeO SiO2 en relacin estequiomtrica 1:3:6 y se depositaron varias capas sobre sustratos de vidrios sdico clcicos, usando la tcnica conocida como spin-coating o de rotacin. El sistema diseado para la deposicin de las pelculas, se control mediante un circuito electrnico y una interface de computador para automatizar el proceso, usando un motor sncrono. El espesor de las capas depositadas se calcul siguiendo la tcnica de la envolvente y sus resultados se correlacionaron con datos tericos que dependen de parmetros como son: velocidad de rotacin, densidad y viscosidad de la solucin. Palabras claves: Metodos de deposicin de pelculas delgadas, 81.15.-z, Procesamiento de materiales Sol-gel, 81.20.Fw.

Abstract
The production of thin films represents one of technological fields with higher applications. The techniques of deposition of these films are varied, but the films obtained by the sol-gel, provide advantages over others techniques for his versatility and ability to obtain unique compositions. In this paper was prepared thin films by sol-gel of FeO - SiO2 in ratios 1:3:6 and several layers were deposited on glass substrates sodium calcium, using the technique known as spin-coating or rotation. The system designed for the deposition, was controlled by an electronic circuit and a computer interface to automate the process, using a synchronous motor. The thickness of the layers deposited was calculated following the technique of the envelope and its results were correlated with theoretical data-dependent parameters such as: speed, density and viscosity of the solution. Keywords: Thin films deposition methods of, 81.15.-z, Sol-gels materials processing, 81.20.Fw. 2009 Revista Colombiana de Fsica. Todos los derechos reservados.

1. Introduccin Una de las ms interesantes aplicaciones del mtodo SolGel es la obtencin de pelculas delgadas sobre un sustrato. Son muchos los escritos que muestran la versatilidad y simplicidad del mtodo [1,9,10]. El estudio de sus propiedades fsicas como el control del espesor, es de mucha importancia especialmente para aplicaciones como sensores pticos y en la actualidad como sensores magnticos. 1

En este trabajo se construy un dispositivo electrnico de deposicin para el mtodo de rotacin o spin-coating con diferentes velocidades de rotacin. Para ello se utiliz una solucin de FeO - SiO2 en relacin estequiomtrica 1:3:6 y se depositaron varias capas sobre sustratos de vidrios sdico clcicos. Cada capa se trat trmicamente a 60C por 12 horas y 500C por 60 minutos.

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Se utilizaron como precursores de partida metiltrietoxilano (ME3S) y cloruro de hierro. El sistema, para la rotacin del sustrato y la deposicin de la solucin, se control mediante un circuito electrnico y una interface de computador para automatizar el proceso. El espesor de las capas as depositadas se calcul siguiendo la tcnica de la envolvente y se correlacionaron sus resultados aplicando la ecuacin reportada por E. Haas, et. al [1] que tiene en cuenta la velocidad de rotacin del sustrato, la densidad y viscosidad de la solucin. 2. Materiales y mtodos El mtodo de deposicin de pelculas delgadas spin-coating o tambin conocido como de rotacin, es una tcnica muy utilizada en microelectrnica para la deposicin de polmeros especiales o fotoresistentes. La tcnica de spin-coating difiere de otras en el sentido de que en esta las pelculas son depositadas por centrifugacin y comprende cuatro etapas de operacin: deposicin, rota-cin acelerada, rotacin desacelerada y evaporacin. Durante la etapa de deposicin, el exceso de lquido es dispersado sobre la superficie del sustrato. En la etapa de aceleracin, el lquido fluye radialmente hacia fuera debido a la aceleracin centrfuga y en la etapa de desaceleracin, el exceso de lquido fluye hacia el permetro de la pelcula formando unas pequeas gotas del compuesto. En la etapa final, tiene lugar la evaporacin, convirtindose en el principal mecanismo de adelgazamiento de la pelcula [11, 12]. Una de las ventajas de las pelculas depositadas con la tcnica de spin-coating es que estas tienen un espesor uniforme y tienden a mantenerse debido a que la viscosidad del lquido, no depende de fuerzas tangenciales y no vara sobre el sustrato. El espesor de las pelculas depositadas fue determinado de dos maneras, la primera es considerando al lquido como Newtoniano, donde el espesor final de la pelcula se puede determinar por la siguiente ecuacin: ( )( ) (1)

En segundo lugar, para determinar el espesor de las pelculas preparadas en el dispositivo de spin-coating se utiliz el mtodo de la envolvente. La figura 1, muestra esquemticamente una pelcula delgada. Si se conoce el espesor y el ndice de refraccin se puede conocer la transmitancia y la reflectancia de la pelcula [9]. El mtodo de la envolvente consiste en determinar el espe-sor de una pelcula delgada a partir de la obtencin del espectro de transmitancia del compuesto en estudio y la longitud de onda del mismo [13]. Para ello el espectro de transmitancia (T()) de la figura 2 puede ser envuelto por dos curvas, Tmax y Tmin, las cuales son obtenidas a travs de los mximos y mnimos de (T()).

Fig 1. Pelcula delgada sobre un sustrato de vidrio sdico clcico.

Fig 2. Curva de transmitancia de una pelcula delgada.

Donde es el espesor de la pelcula, es la densidad del solvente, es la densidad de la solucin, es la viscosidad de la solucin, e es la rata de evaporacin del solvente y es la velocidad angular de rotacin del sistema, segn E. Haas, et. al. [1], considerado en el presente artculo como un dato terico.

Una vez obtenidas las curvas envolventes Tmax y Tmin, se calculan los ndices de refraccin para cada recubrimiento al igual que los espesores usando las siguientes ecuaciones [13]: (2)

Autor principal et al.: Titulo

(3)

Donde, s es el ndice de refraccin del sustrato (vidrio sdico clcico: 1.51).Si se tienen dos mximos adyacentes de interferencia de longitudes de onda 1 y 2 y de ndices de refraccin n1 y n2, a partir de estas condiciones de mximos y mnimos de interferencia puede encontrarse que el espesor (d) de la pelcula es:
[ ( ) ( ) ]

(4)

Con M=1/2 para un mnimo y un mximo adyacente en nuestro caso. Para determinar el espesor a partir de los soles de los recu-brimientos de FeO-SiO2 y SiO2 por separado, se tom como referencia la metodologa reportada por Gugliemi, M., y Zenezini [3]. El sistema construido para la preparacin de pelculas delgadas por la tcnica del spin coating est basado en un motor sncrono, tambin llamados motores DC sin escobillas, que por su construccin ofrecen ventajas frente a otros motores elctricos [4, 5, 6, 7, 8]. El motor sncrono es similar al de corriente continua con escobillas, con las siguientes salvedades: La conmutacin se realiza de forma electrnica en lugar de mecnica. Los imanes permanentes van alojados en el rotor en lugar de en el estator y las bobinas van alojadas en el estator, constitu-yendo un devanado monofsico o polifsico. Su funcionamiento se basa en la alimentacin secuencial de cada una de las fases del estator de forma sincronizada con el movimiento del rotor. De esta forma, los imanes permanentes siguen el movimiento del campo magntico estatrico, cuyo desplazamiento depende a su vez del giro del rotor. El software de control se realiz en LabVIEW versin 7 de National Instruments, un lenguaje de programacin grfico, con el cual se controla la velocidad angular del motor a travs de la tarjeta de sonido de un computador. El programa se dise para obtener alta eficiencia sin aumentar su complejidad. Se encarga de recibir las variables de control presentes en el proceso como: el valor de la velocidad angular del motor en revoluciones por minuto (rpm), el tiempo de funcionamiento del motor, al cabo del cual, el motor se desactiva, la aceleracin angular del motor hasta alcanzar el nivel de frecuencia deseado y la desactivacin del proceso. Adems de las variables de control, existen unos indicado-res visuales que permiten obtener informacin sin poder modificarla. El funcionamiento del dispositivo al preparar una pelcula se muestra en la figura 3.

Posteriormente las pelculas se dejaron secar a temperatura ambiente y luego se llevaron al horno a 500C por 1 hora. Los espectros de transmisin fueron tomados en un espectrofotmetro Perkin Elmer UV/VIS Lamda 11 en el rango de longitudes de onda comprendido entre 400 y 1100 nm. Los datos de viscosidad se tomaron con viscosmetro de esfera tipo Hoopler. La adicin del surfactante tuvo especial importancia para este trabajo puesto que es una sustancia que tiene la pro-piedad de formar micelas hidrfilas e hidrfobas, controlando las velocidades de las reacciones de hidrlisis y condensacin de los precursores. Adems genera una porosidad residual al ser eliminada durante el tratamiento trmico y permite controlar la conectividad de los poros y por tanto, la permeabilidad del material poroso facilitando su posterior depsito.

Fig. 3. Funcionamiento del sistema de rotacin spin coa-ting.

3.

Resultados y discusin.

Las figuras 4 y 5, muestran los espectros de transmisin obtenidos para pelculas de FeO-SiO2 que se depositaron a 3500 y 4000 revoluciones por minuto, sobre lminas de vidrio comn sdico clcico, previamente desengrasados con etanol y agua destilada mediante ultrasonido a 30KHz. En ellas se observan unos mximos y mnimos bien definidos, los cuales se explican debido a la uniformidad de deposicin de las capas. Entre mayor es el nmero de capas, es mejor el efecto de obtener mximos y mnimos, y sugiere que es debido al incrustamiento del xido de hierro en los poros de la matriz vtrea de SiO2, de forma similar a los obtenidos en los dopantes orgnicos en los sensores pticos [9]. Podemos dividir el espectro de transmisin en tres regiones regiones de absorcin: dbil, media y fuerte, de acuerdo a los valores de su transmitancia.

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Tabla 1. Valores obtenidos por el mtodo de la envolvente


3 Capas 893,3 nm 297,7 nm 796.8 nm 265.6 nm 4 Capas 1048.5 nm 262.1 nm 1114.0 nm 278.5 nm 5 Capas 1396.7 nm 279.3 nm 1009.7 nm 201.9 nm 6 Capas 1796.7 nm 299.4 nm 1679.9 nm 279.9 nm

3500 rpm Valor monocapa 4000 rpm Valor monocapa

Tabla 2. Valores tericos de monocapa para 3500 y 4000 rpm


Fig. 4. Espectro de transmitancia para 3500 rpm

1 g/cm3 2 g/cm3 g/cm*s e cm/s Rad/s

3500 rpm 0,878 0,91 0,0250 0,0023 366,5191

4000 rpm 0,878 0,91 0,0250 0,0025 418,8790

Los resultados experimentales demuestran una gran coincidencia con el valor calculado aplicando la ecuacin reportada por E. Haas, et. al [1]. De aqu podemos observar como el espesor de la pelcula depende fuertemente de la velocidad de rotacin del rotor o spinner. Entre mayor es la velocidad de rotacin, menor es el espe-sor de la monocapa obtenida y viceversa. Es muy importante para este tipo de deposicin, que el proceso se lleve a cabo en un tiempo corto, puesto que la rata de evaporacin del solvente viene a ser determinante y depende de la velocidad de rotacin. De otro lado, este tipo de procesos son dependientes de la temperatura [11,12] y el error encontrado puede deberse a este hecho, ya que al depositarse capa por capa y llevarla al proceso de densificacin en el horno ha transcurrido un tiempo considerable, cuando el proceso de gelificacin ya ha comenzado. El error experimental encontrado se desva del valor terico en un 5%, que se encuentra dentro del margen de error aceptado para este tipo de clculos y demuestra la validez de los dos mtodos. 4. Conclusiones. Se construy un sistema de deposicin de nanopelculas por rotacin o spin-coating controlados mediante una interfaz de computador utilizando un motor dc sncrono. El espesor de las capas se determin experimentalmente por el mtodo ptico de la envolvente y los resultados se compararon con el mtodo reportado por E. Haas, et. al, que usa la viscosidad, la densidad del sol y la velocidad de rotacin. 4

Fig. 5. Espectro de transmitancia para 4000 rpm

Utilizando los valores de transmitancia para las muestras desde 3 hasta 6 capas y los valores de la longitud de onda en el rango comprendido entre 350 y 1100 nm, se calcularon los ndices de refraccin tal y como lo propone el mtodo de la envolvente [13] y los resultados obtenidos para el espesor de las misma se indican en la tabla 1. Teniendo en cuenta la relacin terica propuesta por E. Haas, et. al [1], y los valores de 1, densidad del solvente, 2 densidad inicial de la solucin, , viscosidad, e, veloci dad de evaporacin del solvente y la velocidad angular de rotacin del sistema, se procedi a reemplazarlos en la misma y los resultados se muestran en la tabla 2.

Autor principal et al.: Titulo

Las mediciones arrojaron un valor de la monocapa que depende fuertemente de la velocidad de rotacin. El error experimental encontrado depende de varios factores y su valor se encuentra dentro de los mrgenes aceptados. El sistema de spin-coating demostr ser un excelente mtodo para la deposicin de recubrimientos en capas delgadas, con un buen control sobre el espesor de las pelculas durante el depsito. 5. Agradecimientos. Los autores agradecen a la Vicerrectora de Investigaciones y Postgrados de la Universidad de Nario, la financiacin del presente proyecto. 6. Referencias. [1]. E. Haas, et. al. Effect of Solvent Evaporation Rate on Skin Formation During Spin-Coating of Complex Solutions. III SPIE Proc. 3943, Sol-Gel Optics V, B. Dunn, E. Pope, H. K. Schmidt, and M. Yamane, Editors. 2000. p. 280-284. [2] Benavides, E., Caruso, R., De Santis, O., y Pellegri, N. Franttini, A., Trbojevich, R. M. Thin Films. < www. materia.coppe.ufrj.br/artigos/artigo.>[Citado 4 de abril del 2005] [3] Gugliemi, M., y Zenezini, S. J. of Non- Cristalline Solids 121.1990. p. 303-309.

[10] Villegas. M. A.; Pascual, L. J. Mat. Science, 2000, 35, 4615-4619. [11] E. C. Cobb, and O. A. Saunders. Heat Transfer from a Rotating Disk, Proc. R. Soc. 236. 1956. p. 343 -351. [12] F. Kreith, J. H. Taylor and J. P. Chong. Heat and Mass Transfer f rom a Rotating Disk, J. Heat Transfer May, 1959. pp. 95-105, [13] Swanepoel, R., J. Phys. E: Sci.Instrum., 19. 1984 p. 1214.

[4] Duane C.Hanselman; Brushless Permanent-Magnet Motor Design, USA.McGraw-Hill, 1995. [5] A.M.Jungreis, A.W.Kelley, Adjustable Speed Drive for Residential Applications, IEEE Trans. Industry Applications, vol. 31, n6 ISBN:13151322, 1995. [6] Bruno Maurice, ST62 Microcontrollers drive home appliance motor technology, SGS-THOMSON MICROLECTRONICS AN885, 1996. [7] DSP Solutions for BLDC Motors, Application Report, Texas Instruments, 1997. [8] Architecture and Building Blocks for AC and BLDC Motor Drives, I R Power Conversion Processor, 1999. [9] Duran, A., Fernandez Navarro, J. M., Casariego, P. And Joglar, A., 1986, Optical properties of glass coating co ntaining Fe and Co, J. Non-Cryst. Solids 82, p. 391-399.