Analiza elemental calitativ i cantitativ cu radiaii X n SEM

La impactul electronilor de energie mare din fasciculul incident cu proba se produce radiaie X. Radiaia X emisa de prob are dou componente: radiaia X de fond (spectrul alb sau spectrul continuu) datorat decelerrii electronilor n prob i radiaia X caracteristic, produs n urma tranziiilor electronice la starea fundamental n atomii excitai ca urmare a ciocnirilor neelasitce ale electronilor incideni cu atomii din prob. Emisia radiaiei X este afectat de numrul atomic Z i de procesele de auto- absorbie n prob, datorate att atomilor emiteni, ct i celorlali atomi din prob. Volumul de excitare (volumul din care se culege semnalul de raze X) este mai mare pentru elemente cu Z mic dect pentru elemente cu Z mare. Creterea tensiunii de accelerare a electronilor incideni mrete att adncimea de penetrare, ct i volumul de excitare. Radiaia emis de ctre atomii din prob poate fi identificat att prin lungimea sa de und , ct i prin energia cuantelor E, ntruct ntre aceste mrimi exist relaia: E= hc/ unde h este constanta lui Planck, iar c este viteza luminii n vid. Aceast relaie st la baza tehnicilor care folosesc radiaia X emis de prob pentru microanaliza elemental. Determinnd distribuia dup energie sau dup lungimea de und a radiaiei X caracteristice emis de prob se poate determina tipul atomilor din volumul de excitare, deci se poate face o analiz elemental calitativ. Intensitatea radiaiei X pentru fiecare lungime de und, deci pentru fiecare specie atomic emitent, este proporional cu concentraia elementului respectiv n prob. Avnd n vedere dimensiunea volumului de excitare din care se culege semnalul de radiaie X, analiza elemetal calitativ i cantitativ efectuat n SEM este o analiz punctual sau pe microarii, spre deosebire de celealta metode de analiz chimic. Analiza calitativ const din obinerea spectrului de radiaii X emise de prob i identificarea maximelor prin comparare cu tabelele standard ele energiilor sau lungimilor de und emise de diferitele elemente chimice. Rezultatul acestei analize apare sub forma unui spectru ale crui maxime sunt nominalizate ca aparinnd unuia sau altuia dintre

elementele din prob. Analiza cantitativ presupune determinarea unui factor k definit prin raportul dintre intensitatea radiaiei X pentru elementul a crui concentraie este necunoscut i intensitatea radiaiei aceluiai element ntr-o prob standard i efectuarea coreciilor de numr atomic, de absorbie i de fluorescen.