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: flujo msico
Q: flujo volumtrico
= densidad del gas
Para pasar de flujo volumtrico a flujo msico se necesita entonces la densidad del gas a
las condiciones en las que se reporta el flujo volumtrico, es decir las condiciones
estndar para ellos. La marca Brooks define las condiciones standar asi: Standard
pressure and temperature in accordance with SEMI (Semiconductor Equipment and
Materials Institute) proposed standard: 0C and 101 kPa (760 Torr)
(http://www.brooksinstrument.com/downloads/Product%20Documentation/Thermal%20Mass
%20Flow%20Meters%20Controllers%20Digital%20Gas/Instruction%20Manuals/X-TMF-SLA5800MFC-eng.pdf)

Hay que tener cuidado con estas condiciones por hay veces que se definen a 20 C o 25
C
o
70
F
aunque
todas
o
casi
todas
es
a
1atm.
(http://www.sensortechnics.com/cms/upload/appnotes/AN_Massflow_E_11153.pdf)
=

PM
RT

P: presin en atm
M: peso molecular del compuesto y si es una mezcla seria el peso molecular promedio
T: temperatura en K
Para el etileno M es 28,05g/mol
Tambin podemos usar el software convertidor UCONEER (http://uconeer-unitsconversion-for-engineers.softonic.com/) que tiene en cuenta la desviacin de la linealidad
ya que se escoge el gas a utilizar

Para el etileno a condiciones estndar tenemos que la densidad es

= 0,0012623 g/mL
Por lo que un flujo de 5 SmL/min es en flujo msico
=0,0012623 g/mL*5mL/min
=0,0063115 g/min
=0,00010519 g/s
Esto quiere decir que est pasando un flujo de moles de etileno de 3.75 e-6 moles/s
Lo importante aqu es saber que este es el flujo msico que est pasando en las condiciones
actuales sin importar cuales sean. Pero el flujo volumtrico si cambia es decir los 5mL/min que yo
pongo en el controlador en realidad no son 5ml/min bajo las condiciones que estoy operando en
este caso hay que utilizar esta formula

Vactual= Vestandar*

Pestandar
Pactual

Tactual
Testandar

(http://www.sensortechnics.com/cms/upload/appnotes/AN_Massflow_E_11153.pdf)
Tambin por ah encontr que un controlador de flujo msico sirve para cualquier gas sin importar
para el que fue calibrado de hecho es mejor dejarlo calibrado para solo nitrgeno que se establece
con un factor de respuesta de 1 y los otros solo hay que multiplicar por otro factor de repuesta
(http://www.mksinst.com/docs/UR/MFCGasCorrection.aspx)