PELICULAS DELGADAS DE ZA :Y Y BAZRO, POR SPRAY PIROLISIS A.conde’, c.Falcony”, A-Ortiz” y J.M.Dominguez* scrnvESTav-1PH, Postal 14-740 México, D.F. ‘tInstituto de Investigacién de Materiales, UNAK & ‘Instituto Mexicano del Petroleo (IMP) El método de spray pirolisis es utilizado para el crecimiento @e peliculas de 2r0,:¥ "y ZrBa0,. condicgones de siesosee crecimiento para el ‘e10-minutos, f,=6.0 mhl/min. y Fyl0.1-lt/min; mientras ‘se determina qu las mejores primer compuesto es que para el segundo compuesto las mejores condiciones de crecimiento stan en vias de desarrollo. INTRODUCCTON geogatae semrpeemors de a oe Se seiielen, on para orep a es eerie ce pean om ee att Sims sce: mee grotusnne, doce ou oe Jn, ineerasols Pivereos estudios ~ han que para los superconductores “YBa,cu,0,, cristales de Zr0,:y Bazro, son idoneos para servir como substrates debido a que Feducen la interaccién del substrate con la pelicula. Adicionalment ha @enogtrado que por sus propiedades Fefractarias cristales de éxido de zirconio-itridizadas, 2r0,:¥, resultan buenos substrates para las peliculas superconductoras. mencionadas.. En el presente trabajo se presentan los Fesultados preliminares del crecimiento de peliculas delgadas de 2r0,, Zro,-Itridizadas y peliculas de un compuesto de bario, crecidas mediante el nétodo de spray pirolisis. Estas, Peliculas pueden ser utilizadas como barreras de difusi6n para un depésito posterior de peliculas delgadas, 60 superconductoras de YBa,cu,0,. EL trabajo presenta las condiciones éptimas de crecimiento, asi como su caracterizacién estructural mediante rayos-x y s0 composicién estequionétrica mediante microscopia de barrido. 2k Fig. Diogoma esquemstice del oporato de ESPRAY PIROLISIS. DETALLES EXPERIMENTALES El crecimiento de las peliculas se realiz6 pediante el método de spray pirolisis’. ta figura 1 muestra. un diagrana ‘esquendtico del dispositivo utilizado. Como puede observarse el método congiete ‘bisicamente en el rociado de una solucién sobre un substrato caliente. La nube formada por la valvula atomizadora esta formada por particulas del orden de 1 sm que,Toristalizan al al__substrato en La cristalizacién depende de una serie de parSmetros entre los que dostacan: ‘la. temperatura del Substrato,T,, la velocidad del flujo del gas que produce la atomizacién de la Solucién,f,,, 1a velocidad de la solucién, f,, y del tiempo de depésito. Todos los pardmetros anteriores son controlables 'y pueden ser variados para determinar las mejores condiciones ae crecimiento. La catacterizacién cristalina se realizé con un difractémetro con blanco de cu, cuya linea es la 1.5406 andlisis de composicién se realizaron mediante un microscopic electrénico de barrio con aditanentos para espectroscopia de dispersién de energia (EDS) « RESULTADOS Y DISCUSTON Se crecieron tres tipos de pelfculas Zro,, 2r0,:Y y peliculas de compuesto de bario. La solucién para las peliculas de Zro, fué a razén 0.05 molar de Zroci,-8H,0 en agua, 1a solucién para las peliculas de 2ro,:y fué preparada con la misma raz6n molar anterior, pero introduciendo diverses porcentajes. en peso de YCl,.6H,0 con el fin de obtener @iferentes concentraciones de itrio. La solucién para las peliculas de bario fué proparada a raz6n 0.025 molar con los Sonpuestos iniciales de Zr0Cl,.8H,0 ¥ Ba(NO,), Para las peliculas de 2r0, se variaron los diversos parfnetros de crecimiento observandose que los mejores resultados se obtienen para una temperatura de substrato Te=500'C, flujo de solucién 6 mnl/seg, flujo del gas de 10.1 1t/min y un tiempo de depésito de 10° min. La figura 2 muestra los Gspectrds de rayos x tomados bajo las nisnas condiciones del difracténetro; y, ono puede observarse dan cuenta de 103, Gatos, mencionados en el parrafo anterior. La tabla 1 resume los datos mostrados en la figura 2 y en donde se han tabulado las intensidades relativas del pico mayor para determinar que muestra tiene ~ mejor cristalina. zn la figura 3 se muestran los espectros tipicos de 2r0,~itridizadas. Este tipo de pelfculas fueron crecidas sin variar | las condiciones de crecimiento manteniendo éstas fijas de acuerdo a los. mejores resultados obtenidos en las peliculas de 2r0,, sin itrio y que ya fueron descritos on el pérrafo anterior. Lo anterior es con la idea de que la estructura cristalina X-ray Intensity (arb. units) le" a . ae| a a a rr) 28 lwerOWES PCLTSNS. SLO SE MAESTIAN TRS PTIEES| weagee original del zro, no se destruya cuando 1s incorporada una cantidad baja de itrio. Cone puede observarse de las figuras 3-a y 3-b, la estructura cristalina ‘queda practicanente inalterada respecto a 1a estructura del Zr0, puro cuando 1a cantidad de itrio dopositada en la solucién es entre 20 y 25%; sin embargo cuando se incrementa 1a cantidad de itrio podenos observar que la estructura policristalina empieza a desaparecer, figura 3-c, — quedando Prdcticamente solo el pico principal Situado en 0-38. Sin embargo, tomando en cuenta las condiciones de los difractogramas y observando que el pico 61principal tiene un crecimiento en intensidaa, podenos concluir que la introduccién de un porcentaje mayor de itrio estimula. un crecimiento preferencial del Zro, en la direccién (212); 10 cus1 puede ser positivo en el Proceso de depésito de ‘las peliculas Superconductoras. En la tabla IT se muestran los anglisis de composicién deterninados Rediante nicroscopia. electrénica de barrido. Cono se observa en esta tabla, adn cuando en la solucién del sistema de crecimiento se introduce cierta cantidad en peso de itrio, en la pelicula se incerpora siempre’ una cantidad menor, aproximadamente el 50t de la cantidad ¥:20% X-ray Intensity (arb, units) 20 30) 40 50 60 26 PORK 3 UrAcTomNIS O€ LAS PRELAS OC hoy RSE COA que originaimente contiene 1a solucién. Una ‘observacién importante que debe marcarse de 1a table II es 1a cantidad de cloro, proveniente de los compuestos Aniciales " Zrocl,.8#,0 e ¥Cl,.6H,0, incorporada a la pelicula y que en la mayoria de los casos es précticanente el doble en porcentaje atémico que el itric. Esto es algo imprevisto pues, es de esperarse que a las tenperaturas de crecimiento de las presentes peliculas 62 1 cloro deberia evaporarse. sin enbargo de los difractogranas podemos concluir que en la estructura cristalina la incorporacién del cloro tiene poca importancia. ata ‘20% 4 PESO DE MRO EN LA SLI BBeMT PEAK FACTOR 8S, CLARE ATOM LTH ve 2 10001000 too ogee ax az 287 mst 80 781 ek sass eae 7178 a7 {252 OU FESO OE IMO LA SOLE ee ok as om 2mm” mes a mK sD eam Go 770 {02 NPS 0 TRO BLA LUE Ye 2053 1000 1000 ton eee ax 2S 02 288 OM me BK okt gm ka meee. 9 5 0 CONCETRACON EL ATAPARA LAS PELOA AE OXDDE _ERcqUO TREADAS PARADES PORCENTES OC YENLASLUCONE cscomero En la figura 4 se muestran los @ifractogranas de las peliculas de compuesto de bario. Se muestran tres graficos tipicos. para. diversos Parémetros de crecimiento. como puede observarse, existe estructura cristalina para. depositos a una temperatura de Substrato menor a los 450" a tenperaturas mayores los difractogramas empiezan a perder rastro. de la estructura cristalina. Inicialmente se esperaba obtener el compuesto de bario Bazro,. sin embargo las peliculas crecidas, que tienen la estructura cristalina de la fig. 4, no corresponde a este tipo de compuesto, por lo que para dichas peliculas hay que seguir “variando las" condiciones de crecimiento para obtener}. Desafortunadamente 1a estructura de 1a fig. 4 a la fecha no ha podido ser identificada debido a que no es ningtn compuesto directo de bario 6 zirconio que se encuentre on los catélogos de Fayos-x; no obstante debido a este hecho yal gran namero de picos que se observan, ce puede adelantar que posiblenente se tenga una mezcla d Varias fases.Una posible explicacién al hecho de que no puede identiticarse un compuesto comin de bario en los difractogramas de la fig. 4 es que probablemente la cantidad de cloro incorporada en estas peliculas sea suficiente para. formar structuras de cloro. en’ lugar de estructuras de bario. = T,=400°C T.#550°C X-ray Intensity (arb. units) 25°30 38 40 45 50 65 60 65 ; 26 foe ono or tt yt oO coctustones Se han __crecido _pelfoulas eristalinas de Zr0, y de 72r0,:¥ por spray pirolisis obteniéndose las condiciones éptimas de crecimiento. Se observa que el pardmetro de crecimiento que més influye en la eristalinidad la temperatura’ del substrato, = pues a Felativamente “altas todo cristalinidad se pierde. ‘Se observa que para las peliculs itridizadas, aa estructura policristalina caracteristica del Zr0, no cambia si la cantidad en peso del itrio introducida en la solucién es menor al 25%. Una cantidad mayor no destruye la cristalinidad, sino por el contrario estima un’ crecimiento preferencial en la direccién (111)- Una cantidad importante de cloro es incorporada a las peliculas. Sin embargo no se aprecia influencia alguna en 1a estructura cristalina, por lo que es probable que el cloro’ sea segregado las fronteras de grano. de lo: policristales. se. erecieron peliculas policristalinas de un compuesto de bario Guya base cristalina no ha sido adn identifica: temperaturas astro de REFERENCIAS M. Gurvitch and A. T. Fiory Appl. Phys. Lett. 51\(1987), 51 ©. Moreau, L. Parent, B. Champagne, and 8. Dallaire. 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