FSICA DEL

PLASMA
Mariela Bravo

PLASMA: gas parcialmente ionizado con la misma cantidad

de cargas positivas y negativas y diferente nmero
de molculas no ionizadas.

PROPIEDADES.
7

*Densidad del plasma (nmero de especies por cm3 ): 10 -1020

*Mecanismos esenciales:

excitacin y relajacin,
ionizacin y recombinacin
fuente de energia externa

ionizacin
recombinacin

DC GLOW DISCHARGE
+

Atomo argn

In argn

Blanco (neutral)

Electrn

nodo

E
Ctodo

DC GLOW DISCHARGE
+

Atomo argn

In argn

Blanco (neutral)

Electrn

nodo

+
+

E
Ctodo

DC GLOW DISCHARGE
+

Atomo argn

In argn

Blanco (neutral)

Electrn

nodo

+
+

Ctodo

Energia transferida

Eex ; x=(1/2)at2

aceleracin

Ee=mi a
2
_
___
1
Ee
W= Eex = Ee
t
m
2 i

+
mi me

ci

___
Ee

mi

trabajo

2
_1___
(Eet)
2 mi
aceleracin

___
Ee

mi

trabajo

2
_1___
(Eet)
2 mi

ce
j e =e ne c e
4
<<

j i << j e

Atomo argn

In argn

Blanco (neutral)

Electrn

nodo

+
Ctodo

electrones secundarios

Electrones libres:

Son acelerados por el campo elctrico

continuando con los procesos de ionizacin

* de emisin secundaria

y emisin de electrones secundarios,

obtenindose as una descarga

*de ionizacin

automantenida

nodo

Ctodo

Prdida de electrones por:

*Deriva y difusin con las paredes de la cmara
*Recombinacin con iones positivos
*Unin con molculas neutras para fomar iones negativos
nodo

E
Ctodo

Prdida de electrones por:

*Deriva y difusin con las paredes de la cmara
*Recombinacin con iones positivos
*Unin con molculas neutras para fomar iones negativos
nodo

E
Ctodo

DC GLOW DISCHARGE: regiones

1.Espacio oscuro del ctodo
2.Negative glow
3.Espacio oscuro de Faraday
4.Columna positiva
5.Espacio oscuro del nodo

nodo

Ctodo

DC GLOW DISCHARGE: distribucin de

corriente y potencial

V
0

Caida de voltaje en los espacios oscuros del ctodo y del nodo

PLASMA DC o RF?
Materiales aislantes no pueden mantener un plasma. La corriente de
iones carga el aislante positivamente y el plasma se extingue al no
haber generacin de electrones.
Se utiliza RF para depositar materiales aislantes