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MEMS
Los Sistemas Microelectromecnicos (Micro-ElectroMechanical-Systems) MEMS son la integracin de elementos mecnicos, sensores, actuadores, y la propia electrnica en un substrato de silicio a travs de tecnologa de micro-fabricacin.
MEMS
Los MEMS representan una amplia clase de dispositivos que pueden ser construidos a travs de diferentes procesos tecnolgicos, en diversos materiales y pueden aplicarse en distintas reas de la ciencia.