Universidad de la Cinega del Estado de Michoacn de Ocampo Ingeniera en Nanotecnologa GUA RPIDA PARA MANEJO DE PVD (RECUBRIMIENTOS DE ORO)

Foto del sputtering (Au)

1.

Asegurarse que el interruptor del equipo

(ubicado en la parte posterior del mismo) y el de la bomba de vaco (imagen) estn encendidos.

INGENIRA EN NANOTECNOLOGA

Universidad de la Cinega del Estado de Michoacn de Ocampo Ingeniera en Nanotecnologa

2. Una vez encendidos, el equipo muestra esta

pantalla, dar click en System Start.

3.

Dar click en Screens.

4.

Dar click en Manual Sputter.

INGENIRA EN NANOTECNOLOGA

Universidad de la Cinega del Estado de Michoacn de Ocampo Ingeniera en Nanotecnologa

5. En esta pantalla aparecen los botones para comenzar la deposicin, rotacin de la platina, la corriente de gas, activar la bomba de vaci, as como para variar el voltaje de la placa para el recubrimiento:

Encender Sputter (ON/OFF)

Vlvula de gas (ON/OFF) Bomba de vaco (ON/OFF)

Rotacin de platina (ON/OFF)

Variacin de voltaje

OPERACIN a. Encender la bomba de vaco. b. Esperar a que la presin este por debajo de los 0.070 Torr. Se deja a criterio. Nota: si el vaco no llega al mnimo de la presin recomendada favor de apagar, acomodar y limpiar el cilindro de vidrio. c. Comprobar que el voltaje es el deseado. En caso de querer cambiar el valor, presione el botn para la variacin del voltaje, y enseguida aparecer la ventana de a continuacin.

INGENIRA EN NANOTECNOLOGA

Universidad de la Cinega del Estado de Michoacn de Ocampo Ingeniera en Nanotecnologa

d. Introducir el valor deseado de mAmps y confirmar en enter. e. Ajustado el amperaje y el vaco, encienda la vlvula de gas y la rotacin. f. Esperar que el vaco llegue nuevamente al valor deseado. g. Una vez estabilizado el vaco, encender el sputtering. Nota: apreciar cuando est trabajando el equipo correctamente el desprendimiento inico dentro de la cmara como un plasma de color violeta de la tarjeta a la muestra.

Sujerencias para manejo de equipo:

Para aplicar los recubrimientos se recomienda que el vaco alcance por lo menos debajo de los 70 mTorr 0.070 Torr. Suele trabajarse normalmente a 30 mApms, 40 segundos y a 0.070 Torr. El voltaje del equipo NUNCA debe superar los 60 mApms. El tiempo de recubrimiento NUNCA debe superar los 10 minutos. En caso de tener alguna duda sobre el funcionamiento del equipo, recurrir al tcnico, abstngase de resolverlo o repararlo por su cuenta.

INGENIRA EN NANOTECNOLOGA