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La tcnica del sputtering

Publicado en 25 mayo, 2009de Csar

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Esta tcnica consiste en arrancar tomos del metal fuente en un medio de vaco y depositarlo sobre cualquier material. Con esta tcnica se pueden espejar trozos plsticos con plata por ejemplo, o hacer un pertinax cobreado como el que se usa para los circuitos impresos. Se requiere de una cmara de vaco, yo la he construido con un viejo filtro de gasoil, estos filtros son muy adecuados para estos usos ya que prcticamente no hay que modificar nada, esta todo hecho, en la base del mismo hay dos orificios que se usaron para la entrada y salida del combustible, a ambos se le puede adaptar alguna canilla del tipo de las usadas en compresores de aire, en la parte inferior tambin hay un tornillo que puede ser removido y en su lugar colocar otra entrada si es necesario.

En la primera foto se puede ver la canilla a la izquierda, el tornillo en el medio de la base y la conexin a la bomba de vaco que esta a la derecha, solo es un cao que est sujeto a la morsa. La segunda imagen se ve desde arriba, la arandela tipo "O" ring que es donde asienta la campana de vidrio. En la parte superior se ve el soporte que sirve para sujetar la base, en este caso sujeta a la morsa.

Esta campana en la parte superior tiene un tornillo que la atraviesa, en la parte interna hay un cao roscado donde ira el vstago del magnetrn. El magnetrn es un imn de un viejo tweeter, son del tipo cermico, los imanes de este tipo presentan el inconveniente que si levantan mucha temperatura pierden su magnetismo, durante el proceso de sputtering se calienta bastante as que habr que tener cuidado de hacerlo por etapas para evitar este sobrecalentamiento.

A la propia cobertura metlica que tena el imn la use para sostenerlo, perfor un orificio en la chapa y ajust la varilla roscada que va en el cao para tal fin de la campana.

Para sujetar contra el imn los metales que se usan de fuente le adapt un soporte de un conector antiguo, al que le puse tres prisioneros para que ajusten. En la primera foto puede verse una chapa de cobre con la parte central oscura resultado de una sesin de sputtering.

Se puede ver el magnetrn armado listo para iniciar el proceso

Este es el dispositivo armado y en funcionamiento Hay una excelente explicacin en http://www.cientificosaficionados.com/tbo/sputering/sputering.htm de donde he sacado estas ideas, tambin en: http://alfon.fansub.org/sputtering/sputtering.htm del amigo Alfon que me ha ayudado permanentemente con estos proyectos y sin su ayuda no hubieran sido posibles.

La fuente: por el momento estoy usando la fuente de HT que en tantos otros proyectos he usado, sin embargo no es lo mas adecuado, se requieren no muchos voltios y si bastante corriente, pero la fuente debe poder variar su tensin y de esa forma controlar la corriente, con la fuente de HT el multmetro me marca 20 mA sin embargo la tensin debe caer muchsimo. En cuanto arme la nueva fuente conmutada para este propsito, pondr detalles. Los resultados: He podido depositar plata y cobre, el espejo de plata sali bastante bien, el de cobre tiene tintes de distintos colores, ya que el cobre se une a los restos de oxgeno de los gases residuales que quedan en la cmara formando xido de cobre de color oscuro. El vaco que se requiere esta comprendido entre las 100 y las 50 micras, con la bomba de refrigeracin funciona muy bien

Las dos primeras son de un plstico de reloj despertador con depsito de plata del lado convexo la tercera y cuarta el mismo plstico del lado cncavo, en la cuarta foto se ve reflejada la canon con que saqu la foto. La ltima foto es una prueba con cobre, puede verse el oxido de cobre color azul en la parte central